p-型氧化物半导体及其制造方法与流程
本发明涉及p-型氧化物半导体。而且，本发明涉及用于制造p-型氧化物半导体的方法。本发明还涉及包括p-型氧化物半导体的半导体装置。此外，本发明涉及包括p-型氧化物半导体的半导体系统。
背景技术：
由于下一代开关装置实现了高耐受电压、低损失且耐高温，利用氧化镓(ga2o3)的具有大带隙导的半导体装置引起了人们的关注并且有望被应用于包括逆变器的电源半导体装置。而且，因为氧化镓具有宽带隙，因而氧化镓有望被应用于发光和接收元件，例如发光二极管(led)和传感器。根据非专利文献1，上述氧化镓具有这样的带隙，其可以通过与铟或铝单独或组合形成混晶来控制，并且这样的混晶作为inalgao-系半导体是非常具有吸引力的材料。此处，inalgao-系半导体是指inxalygazo3(0≤x≤2,0≤y≤2,0≤z≤2,x+y+z＝1.5～2.5)并且能够被视为含有氧化镓的相同材料体系。
近年来，已经对氧化镓系p-型半导体进行了研究。例如，专利文献1描述了利用mgo(p-型掺杂剂源)通过浮区法形成β-ga2o3系晶体而获得的显示出p-型导电性的基材。而且，专利文献2披露了利用分子束外延(mbe)法通过将p-型掺杂剂离子注入到α-(alxga1-x)2o3单晶膜中而形成p-型半导体。然而，非专利文献2披露了不能通过专利文献1和专利文献2中所披露的方法获得p-型半导体(非专利文献2)。事实上，没有任何关于通过利用专利文献1和专利文献2中披露的方法形成p-型半导体获得成功的报道。因此，对可行的p-型氧化物半导体和制造p-型氧化物半导体的方法存在需求。
而且，非专利文献3和非专利文献4公开了例如利用rh2o3或znrh2o4作为p-型半导体。然而，rh2o3具有原料浓度变稀的问题，这影响了成膜。即使使用有机溶剂，也难以产生rh2o3的单晶。而且，当进行霍尔效应测量时，rh2o3和znrh2o4未被确定为p-型或测量本身无法完成。此外，例如，这些半导体的霍尔系数是测量极限(0.2cm3/c)或更小，它们根本没用。至于znrh2o4，其具有低迁移率和窄带隙，并因此不能用作led或电源装置。因此，rh2o3和znrh2o4未必令人满意。
引用文献列表
专利文献
专利文献1：jp2005-340308a
专利文献2：jp2013-58647a
非专利文献
非专利文献1：金子健太郎，"基于氧化镓的刚玉结构合金的制造及物理性能",dissertation,kyotouniv.,2013年3月
非专利文献2：竹本达哉，eetimes,japan“电源装置氧化镓”热导率，p-型……克服问题并投入实际使用。[online],2016年6月21日收入，来自http://eetimes.jp/ee/articles/1402/27/news028_2.html
非专利文献3：f.p.koffyberg等,"opticalbandgapsandelectronaffinitiesofsemiconductingrh2o3(i)andrh2o3(iii)",j.phys.chem.solidsvol.53,no.10,pp.1285-1288,1992
非专利文献4：细野秀雄,“氧化物半导体的功能发展”，物理学研究，电子版,vol.3,no.1,031211(2013年11月和2014年2月合刊)
技术实现要素：
技术问题
本发明主题的目的是提供具有增强的导电性的新型且有用的p-型氧化物半导体。本发明主题的目的还提供用于制造该p-型氧化物半导体的方法。
技术方案
为了实现该目的而进行积极检查，结果本发明的发明人发现了制造p-型氧化物半导体的方法，该方法包括：通过使至少包含周期表中d-区金属和周期表第13族金属的原料溶液雾化产生雾化液滴；利用载气将该雾化液滴运载至基材的表面上；以及在氧气气氛下引发基材的表面附近的雾化液滴发生热反应，以在基材上形成该p-型氧化物半导体，能够形成具有增强的导电性的p-型氧化物半导体。此外，所获得的p-型氧化物半导体用于利用具有宽带隙的ga2o3的半导体装置。他们还发现了这种p-型氧化物半导体和制造该p-型氧化物半导体的方法能够解决前述的常规问题。
在研究了上述发现之后，本发明的发明人进行了进一步研究并且完成了本发明。因此，本发明涉及以下内容。
[1]一种制造p-型氧化物半导体的方法，包括：通过使至少包含周期表中d-区金属和周期表第13族金属的原料溶液雾化产生雾化液滴；利用载气将所述雾化液滴运载至基材的表面；以及在氧气气氛下引发所述基材的所述表面附近的所述雾化液滴发生热反应，以在所述基材上形成所述p-型氧化物半导体。
[2]如以上第[1]项所述的方法，其中所述d-区金属包括过渡金属。
[3]如以上第[1]项或第[2]项所述的方法，其中所述d-区金属包括周期表第9族金属。
[4]如以上第[3]项所述的方法，其中所述第9族金属包括铑、铱或钴。
[5]如以上第[1]项至第[4]项中任一项所述的方法，其中所述第13族金属包括选自铟、铝和镓中的至少一种金属。
[6]如以上第[1]项至第[5]项中任一项所述的方法，其中所述热反应在750℃或更低的温度下进行。
[7]一种p-型氧化物半导体，包括：作为主要组分的金属氧化物，所述金属氧化物包括周期表中d-区金属和周期表第13族金属。
[8]如以上第[7]项所述的p-型氧化物半导体，其中所述d-区金属包括过渡金属。
[9]如以上第[7]项或第[8]项所述的p-型氧化物半导体，其中所述d-区金属包括周期表第9族金属。
[10]如以上第[9]项所述的p-型氧化物半导体，其中所述第9族金属包括铑、铱或钴。
[11]如以上第[7]项至第[10]项中任一项所述的p-型氧化物半导体，其中所述第13族金属包括选自铟、铝和镓中的至少一种金属。
[12]一种半导体装置，包括：包含以上第[7]项至第[11]项中任一项所述的p-型氧化物半导体的半导体层；和电极。
[13]如以上第[12]项所述的半导体装置，进一步包括：
n-型半导体层，所述n-型半导体层包含作为主要组分的氧化物半导体，所述氧化物半导体包括周期表第13族金属。
[14]如以上第[13]项所述的半导体装置，其中所述第13族金属包括选自铟、铝和镓中的至少一种金属。
[15]一种半导体系统，包括：如以上第[12]项至第[14]项中任一项所述的半导体装置。
本发明的有益效果
本发明主题的p-型氧化物半导体具有充分的导电性和增强的作为p-型半导体的半导体特性。本发明的制造p-型氧化物半导体的方法能够在工业上有利地生产出上述p-型氧化物半导体。
附图说明
图1示出了可以根据本发明主题的一种实施方式使用的喷雾化学气相沉积(cvd)装置的示意图。
图2示出了通过x射线衍射(xrd)测量的实施方式的测量结果。水平轴表示衍射角(deg.)，并且垂直轴表示衍射强度(任意单位)。
图3示出了根据本发明主题的肖特基势垒二极管(sbd)的一种实施方式的示意图。
图4示出了根据本发明主题的高电子迁移率晶体管(hemt)的一种实施方式的示意图。
图5示出了根据本发明主题的金属氧化物半导体场效应晶体管(mosfet)的一种实施方式的示意图。
图6示出了根据本发明主题的结型场效应晶体管(jfet)的一种实施方式的示意图。
图7示出了根据本发明主题的绝缘栅双极晶体管(igbt)的一种实施方式的示意图。
图8示出了根据本发明主题的发光二极管(led)的一种实施方式的示意图。
图9示出了根据本发明主题的发光二极管(led)的一种实施方式的示意图。
图10示出了根据本发明主题的一种实施方式的电源系统的示意图。
图11示出了根据本发明主题的一种实施方式的系统装置的示意图。
图12示出了根据本发明主题的一种实施方式的电源装置的电源电路的电路图的示意图。
具体实施方式
下文中将详细描述本发明主题的实施方式。
本发明主题的p-型氧化物半导体包括含有作为主要组分的金属氧化物的p-型氧化物半导体，并且该金属氧化物包含周期表中d-区金属和周期表第13族金属。术语“p-型氧化物半导体”在本文中意指为p-型半导体的氧化物半导体。该p-型氧化物半导体可以是晶体。而且，该p-型氧化物半导体可以是非晶的。术语“金属氧化物”在本文中意指包括金属元素和氧的材料。术语“主要组分”在本文中意指该p-型氧化物半导体含有在p-型氧化物半导体的全部组分中原子比计为50％或更高的金属氧化物。根据本发明主题的一种实施方式，该p-型氧化物半导体优选地可以含有在p-型氧化物半导体的全部组分中原子比计为70％或更高的金属氧化物。对于本发明主题，该p-型氧化物半导体更优选地可以含有在p-型氧化物半导体的全部组分中原子比计为90％或更高的金属氧化物。该p-型氧化物半导体可以含有在p-型氧化物半导体的全部组分中原子比计为100％的金属氧化物。术语“周期表”在本文中意指由国际纯粹与应用化学联合会(iupac)定义的周期表。术语“d-区金属”在本文中意指具有填充3d、4d、5d和6d轨道的电子的元素。
周期表中d-区金属的实例包括选自钪(sc)、钛(ti)、钒(v)、铬(cr)、锰(mn)、铁(fe)、钴(co)、镍(ni)、铜(cu)、锌(zn)、钇(y)、锆(zr)、铌(nb)、钼(mo)、锝(tc)、钌(ru)、铑(rh)、钯(pd)、银(ag)、镉(cd)、镥(lu)、铪(hf)、钽(ta)、钨(w)、铼(re)、锇(os)、铱(ir)、铂(pt)、金(au)、汞(hg)、铹(lr)、
周期表中第13族金属的实例包括铝(al)、镓(ga)、铟(in)和铊(tl)及其两种或更多种金属的组合。根据本发明主题的一种实施方式，第13族金属可优选地包括选自铟、铝和镓中的至少一种金属。根据本发明主题的一种实施方式，第9族金属可进一步优选地包括镓或铝。根据本发明主题的一种实施方式，如果使用作为周期表第13族金属的镓，则优选更宽的带隙。根据本发明主题的一种实施方式，金属氧化物除了氧之外的主要组分中可包含以原子比计为1％或更多的第13族金属，并且第13族金属在金属氧化物除了氧之外的主要组分中可进一步优选地以原子比计为5％或更多。
并且，根据本发明主题的一种实施方式，在第13族金属为选自铟(in)、铝(al)和镓(ga)中的至少一种金属的情况下，d-区金属优选地为选自第4族金属至第9族金属中的金属，因为p-型氧化物半导体会获得增强的p-型半导体特性。进一步优选第9族金属。
优选地，按以下方式获得p-型氧化物半导体：在如下所述的(形成雾化液滴)中通过使至少包括周期表中d-区金属和周期表第13族金属的原料溶液雾化产生雾化液滴，在如下所述的(运载雾化液滴)中利用载气将该雾化液滴运载到基材的表面上，以及在如下所述的(成膜)中在氧气气氛下在基材的表面附近引发该雾化液滴的热反应以形成p-型氧化物半导体。
(形成雾化液滴)
在形成雾化液滴步骤中，将原料溶液雾化以产生雾化液滴。可通过已知的方法来雾化原料溶液，并且对该方法没有特别的限制，然而，根据本发明主题的一种实施方式，优选地利用超声振动来雾化该原料溶液。利用超声振动获得的雾化液滴具有的初速度为零并且漂浮在空间中。由于漂浮在空间中的雾化液滴可作为气体运载，因而漂浮在空间中的雾化液滴优选地避免了就像在喷射中未被吹出那样由于碰撞能量造成的损失。液滴尺寸不限于特定的尺寸，可以是几mm，然而，雾化液滴的尺寸优选为50μm或更小。雾化液滴的尺寸范围优选为0.1μm至10μm。
(原料溶液)
如果原料溶液含有d-区金属和第13族金属，则对该原料溶液没有特别限制，因此其可以含有无机材料和/或有机材料。然而，根据本发明主题的一种实施方式，可以使用的原料溶液含有配合物或者盐形式的d-区金属和第13族金属，并溶解或分散于有机溶剂或水中。配合物的形式的实例包括乙酰丙酮配合物、羰基配合物、氨络合物、氢化物配合物。而且，盐形式的实例包括有机金属盐(例如，金属醋酸盐、金属草酸盐、金属柠檬酸盐等)、金属硫化物盐、金属硝化物盐、金属磷酸盐、金属卤化物盐(例如，金属氯化物盐、金属溴化物盐、金属碘化物盐等)。根据本发明主题的喷雾cvd法，即使在原料浓度低时，也可以优选地进行成膜。
对原料溶液的溶剂没有特别限制，因此该溶剂可以是无机溶剂，包括水。该溶剂可以是有机溶剂，包括醇。该溶剂可以是无机溶剂和有机溶剂的混合溶剂。根据本发明主题的一种实施方式，与传统的成膜方法不同，该溶剂优选地可以含有水。而且，根据本发明主题的一种实施方式，溶剂可以是水和酸的混合溶剂。水的实例包括纯净水、超纯水、自来水、井水、矿物水、温泉水、泉水、淡水和海水。酸的实例包括无机酸例如盐酸、硝酸、硫酸或有机酸例如乙酸、丙酸和丁酸。
(基材)
如果基材能够支持p-型氧化物半导体，则对材料没有特别限制。如果不影响本发明主题的目的，则对用于该基材的材料也没有特别限制，并且该基材可以是已知材料的基材。而且，该基材可以含有有机化合物和/或无机化合物。而且，基材可以是任意形状并且可以适用于所有形状。基材形状的实例包括板形、扁平形、盘形、纤维形、棒形、圆柱形、棱柱形、管形、螺旋形、球形和环形。根据本发明主题的一种实施方式，基材优选地可以是基板。而且，根据本发明主题的一种实施方式，对于基板的厚度没有特别限制。
根据本发明主题的一种实施方式，对基板没有特别限制，只要基板能够支撑p-型氧化物半导体并且只要基板为板状即可。基板可以是电绝缘基板、半导体基板或导电基板，并且还可以是包含其表面上金属膜的基板。基板的实例包括含有作为主要组分的刚玉结构的基板材料的基材基板。术语“主要组分”在本文中意指，例如，基板材料中的所有元素中有特定晶体结构的基板材料的原子比可以是50％或更高。根据本发明主题的一种实施方式，基板材料中的所有元素中有特定晶体结构的基板材料的原子比可以优选地为70％或更高。对于本发明主题，基板材料中的所有元素中有特定晶体结构的基板材料的原子比可以进一步优选地为90％或更高，并且可以为100％。
此外，如果不影响本发明主题的目的，对基板的材料没有特别限制，并且该材料可以是已知的材料。具有刚玉结构的基板的优选实例包括蓝宝石基板(优选地，c-平面蓝宝石基板)，或α-ga2o3基板。
(运载雾化液滴)
在运载雾化液滴的步骤中，通过载气将雾化液滴递送至基材。如果不影响本发明主题的目的，对载气没有特别限制，并且因此载气可以是氧气、臭氧、惰性气体例如氮气和氩气。载气也可以是还原性气体例如氢气和/或合成气体。而且，载气可以含有一种或两种或更多种气体。而且，可以进一步以降低流速使用稀释载气(例如，10-倍稀释载气)等作为第二载气。可以从一个位置或多个位置供应载气。尽管对载气的流速没有特别限制，但载气流速的范围可以是0.01至20l/min。根据本发明主题的一种实施方式，优选地载气的流速的范围可以是1至10l/min。当使用稀释载气时，稀释载气的流速范围可以是0.001至2l/min。此外，根据本发明主题的一种实施方式，当使用稀释载气时，优选地稀释载气的流速范围可以是0.1至1l/min。
(成膜)
在成膜步骤中，通过临近基材表面的雾化液滴的热反应在基材的至少一部分上形成p-型氧化物半导体。如果该雾化液滴反应在加热下进行，则对该热反应没有特别限制，并且如果不损害本发明主题的目的，则对反应条件没有特别限制。在成膜中，在蒸发温度或原料溶液的溶剂的蒸发温度的较高温度下进行热反应。在热反应期间，温度不应过高。例如，热反应期间的温度可以是750℃或更低。热反应期间的温度可以优选地为500℃至750℃。该热反应可以在真空、无氧气氛、还原性气体气氛和氧气气氛的任意气氛中进行。而且，该热反应可以在大气压力、在增压以及在减压的任意条件下进行。根据本发明主题的一种实施方式，该热反应优选在氧气气氛中进行。而且，根据本发明主题的一种实施方式，优选地热反应在大气压力下进行。进一步优选地，该热反应在氧气气氛中并且在大气压力下进行。而且，能够通过调节膜形成时间来设定p-型氧化物半导体的膜厚度。该p-型氧化物半导体的膜厚度优选地可以为1μm或更大并且可以为1μm或更小。当该p-型氧化物半导体的膜厚度为1μm或更小时，膜厚度可以为500nm或更小，并且可以优选为100nm或更小，并且进一步优选为50nm至100nm。而且，当膜厚度为1μm或更大时，膜厚度可以为3μm或更大，并且可以优选为3μm至10μm。
根据本发明主题的一种实施方式，该p-型氧化物半导体可以是直接在基材上提供或者可以是经由不同于基材上的p-型氧化物半导体的半导体层、绝缘层(包括半绝缘层)或缓冲层的另一层提供，例如半导体层(例如n-型半导体层、n+-型半导体层、n--型半导体层)。半导体层和绝缘层的实例包括半导体层(包括周期表第13族金属)和绝缘层(包括周期表第9族第13族金属)。缓冲层的优选实例包括具有刚玉结构的半导体层、具有刚玉结构的绝缘层和具有刚玉结构的导电层。半导体层的实例可包括α-fe2o3、α-ga2o3或α-al2o3。对在基材上形成缓冲层的方法没有特别限制，并且其可以通过利用类似于如上文所述形成p-型氧化物半导体的方法来形成。
通过上述方法获得的p-型氧化物半导体能够作为p-型半导体层被用于半导体装置。该p-型氧化物半导体特别用于电源装置。半导体装置可分为横向型装置和垂直型装置。在横向型装置中，可以在半导体层的一侧上形成第一电极和第二电极。在垂直型装置中，可以在半导体层的第一侧上形成第一电极，并且在半导体层的第二侧上形成第二电极。该第一侧可以与半导体层的第二侧相对放置。根据本发明主题的一种实施方式，p-型氧化物半导体可以用于横向型装置，也可以用于垂直型装置。根据本发明主题的一种实施方式，p-型氧化物半导体优选地可以用于垂直型装置。半导体装置的实例包括肖特基势垒二极管(sbd)、金属半导体场效应晶体管(mesfet)、高电子迁移率晶体管(hemt)、金属氧化物半导体场效应晶体管(mosfet)、静电感应晶体管(sit)、结型场效应晶体管(jfet)、绝缘栅双极晶体管(igbt)和发光二极管。
图3至图9示出了利用本发明主题的p-型氧化物半导体作为p-型半导体层的实例。根据本发明主题的一种实施方式，n-型半导体可以是含有与p-型半导体层的主要组分相同的主要组分和n-型掺杂剂的半导体。该n-型半导体可以是含有不同于该p-型氧化物半导体的主要组分的不同主要组分的半导体。而且，该n-型半导体可以通过使用已知方法(例如调节n-型掺杂剂在n-型半导体中的浓度)用作n--型半导体层或n+-型半导体层。
图3示出了根据本发明主题的肖特基势垒二极管(sbd)的一种实施方式的示意图，其包括n--型半导体层101a、n+-型半导体层101b、p-型半导体层102、金属层103、绝缘层104、肖特基电极105a和欧姆电极105b。该金属层103由金属(例如铝)组成并且覆盖该肖特基电极105a。图4示出了根据本发明主题的高电子迁移率晶体管(hemt)的一种实施方式的示意图，其包括具有宽带隙121a的n-型半导体层、具有窄带隙121b的n-型半导体层、n+-型半导体层121c、p-型半导体层123、栅极125a、源极125b、漏极125c和基板129。
肖特基电极和欧姆电极的材料可以是已知的电极材料。这种电极材料的实例包括：金属(包括al、mo、co、zr、sn、nb、fe、cr、ta、ti、au、pt、v、mn、ni、cu、hf、w、ir、zn、in、pd、nd、ag和/或其合金)、金属氧化物导电膜(例如氧化锡、氧化锌、氧化铟、氧化铟锡(ito)和氧化铟锌(izo))、有机导电化合物(例如聚苯胺、聚噻吩和聚吡咯)和这些材料的混合物。
而且，肖特基电极和欧姆电极可以通过诸如真空蒸发或溅射的已知方法形成。更具体而言，当形成肖特基电极时，含有mo的第一层形成，并且含有al的第二层形成在第一层上。然后使用例如光刻术可以在第一层和在第二层形成图案。
绝缘层的材料的实例包括gao、algao、inalgao、alinzngao4、aln、hf2o3、sin、sion、al2o3、mgo、gdo、sio2和/或si3n4。根据本发明主题的一种实施方式，绝缘层可以优选地包含刚玉结构。绝缘层可以通过诸如溅射、真空蒸发或cvd法的已知方法形成。
图5示出了根据本发明主题的金属氧化物半导体场效应晶体管(mosfet)的一种实施方式的示意图。该mosfet包括n--型半导体层131a、第一n+-型半导体层131b、第二n+-型半导体层131c、p-型半导体层132、p+-型半导体层132a、栅极绝缘层134、栅极135a、源极135b和漏极135c。图6示出了根据本发明主题的结型场效应晶体管(jfet)的一种实施方式的示意图，其包括n--型半导体层141a、第一n+-型半导体层141b、第二n+-型半导体层141c、p-型半导体层142、栅极145a、源极145b和漏极145c。图7示出了根据本发明主题的绝缘栅双极晶体管(igbt)的一种实施方式的示意图，其包括n-型半导体层151、n--型半导体层151a、n+-型半导体层151b、p-型半导体层152、栅极绝缘层154、栅极155a、发射极155b和集电极155c。
图8示出了根据本发明主题的发光二极管(led)的一种实施方式的示意图。图8中示出的led包括第二电极165b上的n-型半导体层161，并且发光层163位于该n-型半导体层161上。p-型半导体层162也位于发光层163上。透光电极167透过发光层163中产生的光，其被设置在p-型半导体层上。第一电极位于透光电极167上。用于发光层的发光材料可以是已知材料。除电极部分之外，图8中所示的发光装置可以被保护层覆盖。
透光电极材料的实例可以包括含有铟或钛的氧化物导电材料。关于发光电极的材料，具体而言，该材料可以是in2o3、zno、sno2、ga2o3、tio2、ceo2、其混晶。该材料可以含有掺杂剂。通过利用已知方法(例如溅射)提供这些材料会形成透光电极。而且，可以在形成透光电极之后进行退火，以使得电极更加透明。
根据图8的发光二极管，发光层163被构造为通过以第一电极165a作为正极，第二电极165b作为负极，向p-型半导体层162、发光层163和n-型半导体层施加电流而发光。
第一电极165a和第二电极165b的材料的实例包括al、mo、co、zr、sn、nb、fe、cr、ta、ti、au、pt、v、mn、ni、cu、hf、w、ir、zn、in、pd、nd、ag和/或它们的合金；金属氧化物导电膜例如氧化锡、氧化锌、氧化铟、氧化铟锡(ito)、和氧化铟锌(izo)；有机导电化合物例如聚苯胺、聚噻吩和聚吡咯；以及这些材料的混合物。对第一和第二电极的形成方法没有特别限制。第一和第二电极的形成方法的实例包括湿法例如印刷法、喷雾法、涂覆法，物理方法例如真空沉积法、溅射法、离子镀法，化学方法例如cvd法、等离子体cvd法。考虑到第一电极和第二电极的材料的适用性，该形成方法可以选自上文所述的方法。
图9示出了根据本发明主题的发光二极管(led)的另一种实施方式的示意图。在图9的led中，n-型半导体层161被布置在基板169上，并且第二电极165b被布置在n-型半导体层161的暴露表面的一部分上，其中该暴露表面通过裁切一部分p-型半导体层162、发光层163和n-型半导体层161形成。
另外，根据本发明主题的一种实施方式，该半导体装置可以用于包括电源的半导体系统中。可以利用已知方法通过将半导体装置电连接至布线图来获得该电源。图10示出了根据本发明主题的一种实施方式的电源系统的示意图。图10的半导体系统包括两种或更多种电源装置(电源)和控制电路。该电源系统可以用于与电路组合的系统装置，如在图11中所示的。图12示出了电源装置的电源电路的电路图的示意图，其包括电源电路和控制电路。通过待转化为ac的逆变器(构造为mosfeta至d)以高频来转换dc电压，之后通过变压器来绝缘和转换。通过整流mosfet来整流电压并且通过dcl(平滑线圈l1和l2)和电容器来平滑电压以输出直流电压。这样，通过电压比较器将输出电压与基准电压进行比较以通过pwm控制电路来控制逆变器和整流mosfet，从而具有期望的输出电压。
实施例
1、成膜装置
对于成膜装置，参照图1描述了根据本发明主题的方法的一种实施方式中使用的喷雾cvd装置19。喷雾cvd装置19包括基座21，基板20放置在基座21上。喷雾cvd装置19包括：载气供给装置22a；第一流量控制阀23a，其被配置为控制从载气供给装置22a送出的载气流；稀释载气供给装置22b；第二流量控制阀23b，其被配置为控制从稀释载气供给装置22b送出的载气流；喷雾发生器24，其中容纳原料溶液24a；容器25，其中容纳水25a；超声换能器26，其附接至容器25的底部；供给管27，其为内径可为40mm的石英管；和加热器28，其布置在供给管的外围部分。基座21包括从水平方向倾斜的表面，基板20布置在其上。基座21由石英制成。由于配置为成膜室的基座21和供给管27由石英制成，因此该配置降低了外来物质进入在基板20上形成的膜的可能性。
2、原料溶液的制备
为了制备原料溶液，在原料溶液中将乙酰丙酮铑(铑浓度0.001mol/l)混合为75mol％，并且将乙酰丙酮镓(镓浓度为0.001mol/l)混合为25mol％。
3、成膜制备
在2中获得原料溶液24a。上述原料溶液的制备设置在喷雾发生器4中。然后，将c-平面蓝宝石基板作为基板20放置在基座21上，并且激活加热器28以使成膜室27内的温度升高至500℃。打开第一流量控制阀23a和第二流量控制阀23b以从载气供给装置22a和稀释载气供给装置22b(为载气的来源)将载气供至成膜室27中，从而用载气充分替换成膜室27中的空气。在成膜室27中的空气充分被载气替换后，以5.0l/min调控来自载气供给装置22a的载气的流速，并且以0.5l/min调控来自稀释载气供给装置22b的稀释载气。在本实施方式中，使用氧气作为载气。
4、膜的形成
然后，使超声换能器26以2.4mhz震动，并且通过水25a将该震动传导至原料溶液24a以使原料溶液24a雾化从而形成雾化液滴。利用载气将雾化液滴引入成膜室27中。在大气压力下在500℃使该雾化液滴在成膜室27中发生热反应，以在基板20上形成膜。膜形成时间为2小时，并且膜厚度为100nm。
利用x射线衍射(xrd)装置，在4中获得膜的相。上文中所述的膜的形成被鉴定为(rh0.92ga0.08)2o3膜。图2示出了xrd的结果。而且，测量了所得的(rh0.92ga0.08)2o3膜的霍尔效应并显示出该膜的载流子类型被定义为p-型，该膜的载流子密度为7.6×1017(/cm3)，并且该膜的迁移率为1.01(cm2/vs)。
工业实用性
本发明主题的p-型氧化物半导体可用作半导体装置(例如，化合物半导体装置)以及电子部件和电子装置、光学和电子摄影相关的装置以及工业零件。由于根据本发明主题的p-型氧化物半导体具有增强的p-型半导体特性，因此该p-型氧化物半导体尤其可以应用于半导体装置。
标号说明
19喷雾cvd装置
20基板
21基座
22a载气供给装置
22b稀释载气供给装置
23a流量控制阀
23b流量控制阀
24喷雾发生器
25容器
25a水
26超声换能器
27供给管
28加热器
29排气口
101an--型半导体层
101bn+-型半导体层
102p-型半导体层
103金属层
104绝缘层
105a肖特基电极
105b欧姆电极
121a具有宽带隙的n-型半导体层
121b具有窄带隙的n-型半导体层
121cn+-型半导体层
123p-型半导体层
125a栅极
125b源极
125c漏极
128缓冲层
129基板
131an--型半导体层
131b第一n+-型半导体层
131c第二n+-型半导体层
132p-型半导体层
134栅极绝缘膜
135a栅极
135b源极
135c漏极
138缓冲层
139半绝缘层
141an--型半导体层
141b第一n+-型半导体层
141c第二n+-型半导体层
142p-型半导体层
145a栅极
145b源极
145c漏极
151n-型半导体层
151an--型半导体层
151bn+-型半导体层
152p-型半导体层
154栅极绝缘层
155a栅极
155b发射极
155c集电极
161n-型半导体层
162p-型半导体层
163发光层
165a第一电极
165b第二电极
167透光电极
169基板
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