基板收纳容器的制作方法

本发明涉及收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。

背景技术：

作为用于收纳并搬运由半导体晶片构成的基板的基板收纳容器，具备容器主体和盖体的装置已被公众所知(例如参照专利文献1、专利文献2、专利文献3)。

容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围形成，能够收纳多个基板。盖体相对于开口周缘部可装拆，能够封闭容器主体开口部。侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对的方式设置在壁部上。当容器主体开口部未被盖体封闭时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分开排列的状态下支承多个基板的边缘部。

在作为盖体一部分的、当封闭容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分上，设有前部保持构件。前部保持构件具有：盖体侧基板承接部，与基板直接抵接并支承基板；以及盖体侧脚部，支承盖体侧基板承接部，当容器主体开口部被盖体封闭时，前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。此外，后侧基板支承部以与前部保持构件成对的方式设置在壁部上。后侧基板支承部能够支承多个基板的边缘部。当容器主体开口部被盖体封闭时，后侧基板支承部通过与前部保持构件协同动作支承多个基板，由此在使相邻的基板彼此以规定的间隔分开排列的状态下保持多个基板。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2015-135881号

专利文献2：日本专利公表公报特表2013-540372号

专利文献3：日本专利公开公报实开平2-106831号

在所述公报记载的基板收纳容器中，当容器主体开口部被盖体封闭时，在前部保持构件容易发生基板的引导不良，即，容易发生基板进入相邻的多个盖体侧基板承接部之间而成为基板脱落的状态。

技术实现要素：

本发明的目的是提供能够抑制前部保持构件的基板的引导不良的基板收纳容器。

本发明的基板收纳容器，其包括：容器主体，具备筒状的壁部，所述壁部在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部，另一端部封闭，由所述壁部的内表面形成基板收纳空间，所述基板收纳空间能够收纳多个基板并与所述容器主体开口部连通；盖体，相对于所述容器主体开口部可装拆，能够封闭所述容器主体开口部；侧方基板支承部，在所述基板收纳空间内以成对的方式配置，当所述容器主体开口部未被所述盖体封闭时，能够在将所述多个基板中的相邻的基板彼此以规定的间隔分开排列的状态下，支承所述多个基板的边缘部；盖体侧基板支承部，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，配置在与所述基板收纳空间相对的所述盖体部分上，能够支承所述多个基板的边缘部；以及后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内以与所述盖体侧基板支承部成对的方式配置，能够支承所述多个基板的边缘部，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，与所述盖体侧基板支承部协同动作，能够支承所述多个基板，所述盖体侧基板支承部具备：盖体侧基板承接部，与所述基板直接抵接，支承所述基板；以及盖体侧脚部，支承所述盖体侧基板承接部，所述盖体侧基板承接部具有：下侧倾斜面，以从所述基板收纳空间的中心离开的方式倾斜延伸；上侧倾斜面，以接近所述基板收纳空间的中心的方式从所述下侧倾斜面的上端部倾斜延伸；下侧基板引导倾斜面，与所述下侧倾斜面的下端部连接，相比于所述下侧倾斜面的倾斜，以与上下方向所成的角度更小的方式倾斜，所述上下方向与所述多个基板排列的排列方向一致；以及上侧基板引导倾斜面，与所述上侧倾斜面的上端部连接，相比于所述上侧倾斜面的倾斜，以与所述上下方向所成的角度更小的方式倾斜，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，所述下侧倾斜面和所述上侧倾斜面与所述基板抵接，在由所述下侧倾斜面和所述上侧倾斜面形成的槽中支承所述基板，在所述容器主体开口部被所述盖体封闭时的所述槽延伸的方向上，随着接近所述容器主体开口部的中央，所述下侧基板引导倾斜面的所述上下方向上的长度变长。

此外，优选的是，在从所述容器主体的一端部朝向另一端部的方向上观察时，所述盖体侧基板承接部具有平行四边形的形状。

按照本发明，能够提供能抑制发生前部保持构件的基板引导不良的基板收纳容器。

附图说明

图1是表示本发明实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板w的状态的分解立体图。

图2是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的立体图。

图3是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的盖体3的立体图。

图4是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的立体图。

图5是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的主视图。

图6是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的侧视断面图。

图7是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件基板承接部73的放大断面图。

图8是表示基板w插入本发明实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件基板承接部73的v形槽703中的状态的示意图。

附图标记说明

1基板收纳容器

2容器主体

3盖体

5基板支承板状部(侧方基板支承部)

6后侧基板支承部

7前部保持构件(盖体侧基板支承部)

20壁部

21容器主体开口部

27基板收纳空间

28开口周缘部

72脚部(盖体侧脚部)

73前部保持构件基板承接部(盖体侧基板承接部)

703v形槽

731下侧倾斜面

732上侧倾斜面

733下侧基板引导倾斜面

734上侧基板引导倾斜面

w基板

具体实施方式

以下，参照附图说明本实施方式的基板收纳容器1。

图1是表示本发明实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板w的状态的分解立体图。图2是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的立体图。图3是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的盖体3的立体图。

在此，为了便于说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(从图1中的右上朝向左下的方向)定义为向前方向d11，将向前方向d11相反的方向定义为向后方向d12，将向前方向d11和向后方向d12合起来定义为前后方向d1。此外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的向上方向)定义为向上方向d21，将向上方向d21的相反的方向定义为向下方向d22，将向上方向d21和向下方向d22合起来定义为上下方向d2。此外，将从后述的第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(从图1中的右下朝向左上的方向)定义为向左方向d31，将向左方向d31的相反的方向定义为向右方向d32，将向左方向d31和向右方向d32合起来定义为左右方向d3。在主要的附图中，图示了表示这些方向的箭头。

此外，基板收纳容器1中收纳的基板w(参照图1)是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等，是用于工业的薄晶片。本实施方式中的基板w是直径300mm的硅晶片。

如图1所示，基板收纳容器1收纳由所述的硅晶片构成的基板w，用作通过陆地运输手段、空运手段、海运手段等输送手段输送基板w的发货容器，基板收纳容器1包括容器主体2和盖体3。容器主体2具备作为侧方基板支承部的基板支承板状部5和后侧基板支承部6(参照图2等)，盖体3具备作为盖体侧基板支承部的前部保持构件7(参照图3等)。

容器主体2具有在一端部形成有容器主体开口部21、另一端部封闭的筒状的壁部20。在容器主体2内形成基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围形成。在作为壁部20一部分的、形成基板收纳空间27的部分，配置有基板支承板状部5。如图1所示，基板收纳空间27能够收纳多个基板w。

基板支承板状部5在基板收纳空间27内以成对的方式设置在壁部20上。当容器主体开口部21未被盖体3封闭时，基板支承板状部5通过与多个基板w的边缘部抵接，能够在使相邻的基板w彼此以规定的间隔分开排列的状态下支承多个基板w的边缘部。在基板支承板状部5的后侧，与基板支承板状部5一体成形地设有后侧基板支承部6。

后侧基板支承部6(参照图2等)在基板收纳空间27内以与后述的前部保持构件7(参照图3等)成对的方式设置在壁部20上。当容器主体开口部21被盖体3封闭时，后侧基板支承部6通过与多个基板w的边缘部抵接，能够支承多个基板w的边缘部的后部。

盖体3相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28(图1等)可装拆，能够封闭容器主体开口部21。前部保持构件7设置在作为盖体3一部分的、当容器主体开口部21被盖体3封闭时与基板收纳空间27相对的部分上。前部保持构件7在基板收纳空间27的内部以与后侧基板支承部6成对的方式配置。

当容器主体开口部21被盖体3封闭时，前部保持构件7通过与多个基板w的边缘部抵接，能够支承多个基板w的边缘部的前部。当容器主体开口部21被盖体3封闭时，前部保持构件7通过与后侧基板支承部6协同动作支承多个基板w，在使相邻的基板w彼此以规定的间隔分开排列的状态下保持基板w。

基板收纳容器1由塑料材质等树脂构成，在没有特别说明的情况下，作为其材料的树脂，例如可以列举聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物等热塑性树脂及它们的合金等。在对所述的成形材料的树脂赋予导电性的情况下，选择性地添加碳纤维、碳粉末、碳纳米管、导电性聚合物等导电性物质。此外，为了提高刚性，还可以添加玻璃纤维和碳纤维等。

以下，具体说明各部分。

图4是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的立体图。图5是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的主视图。图6是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的侧视断面图。图7是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件基板承接部73的放大断面图。

如图1所示，容器主体2的壁部20具有后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25和第二侧壁26。后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25和第二侧壁26由所述的材料构成并一体成形。

第一侧壁25和第二侧壁26相对，上壁23和下壁24相对。上壁23的后端、下壁24的后端、第一侧壁25的后端和第二侧壁26的后端全都与后壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一侧壁25的前端和第二侧壁26的前端构成开口周缘部28，开口周缘部28形成具有与后壁22相对的位置关系且呈大体长方形的容器主体开口部21。

开口周缘部28设置在容器主体2的一端部，后壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱形。壁部20的内表面亦即后壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第一侧壁25的内表面和第二侧壁26的内表面形成被它们包围的基板收纳空间27。由开口周缘部28形成的容器主体开口部21，与由壁部20包围并形成在容器主体2的内部的基板收纳空间27连通。基板收纳空间27中最多能够收纳25个基板w。

如图1所示，在作为上壁23和下壁24一部分的、开口周缘部28附近的部分上形成有朝向基板收纳空间27的外侧凹入的插销卡合凹部231a、231b、241a、241b。插销卡合凹部231a、231b、241a、241b在上壁23和下壁24的左右两端部附近各形成有1个，合计形成有4个。

如图1所示，在上壁23的外表面上，与上壁23一体成形地设置有肋235。肋235提高了容器主体2的刚性。此外，在上壁23的中央部固定有顶部凸缘236。当在amhs(自动晶片输送系统)、pgv(晶片基板输送台车)等中悬挂基板收纳容器1时，顶部凸缘236在基板收纳容器1中成为被悬挂的部分。

基板支承板状部5分别设在第一侧壁25和第二侧壁26上，是在左右方向d3上以成对的方式配置在基板收纳空间27内的内置件。具体地说，如图2所示，基板支承板状部5具有板部51和作为板部支承部的支承壁52。板部51和支承壁52由树脂材料一体成形，板部51被支承壁52支承。

板部51为板状的大体弧形。板部51在第一侧壁25、第二侧壁26上，在上下方向d2上各设置有25个，合计设置有50个。相邻的板部51在上下方向d2上以10mm～12mm间隔彼此分开且以平行的位置关系配置。另外，在位于最上部的板部51的上方还配置有一个与板部51平行的未图示的板状构件，该构件对于位于最上方向基板收纳空间27内插入的基板w而言，发挥插入时的引导作用。

此外，设置在第一侧壁25上的25个板部51以及设置在第二侧壁26上的25个板部51，彼此具有在左右方向d3上相对的位置关系。此外，50个板部51以及与板部51平行的板状的发挥引导作用的未图示的构件，具有与下壁24的内表面平行的位置关系。如图2等所示，在板部51的上表面设有凸部511、512。支承在板部51上的基板w，仅接触凸部511、512的突出端，不与板部51面接触。

支承壁52具有在上下方向d2和大致前后方向d1上延伸的板状。支承壁52在板部51的长边方向上具有规定的长度，与板部51的侧端部边缘连接。板状的支承壁52沿板部51的外侧端部边缘向基板收纳空间27弯曲。

即，设置在第一侧壁25上的25个板部51与设置在第一侧壁25侧上的支承壁52连接。同样地，设置在第二侧壁26上的25个板部51与设置第二侧壁26侧上的支承壁52连接。支承壁52分别固定在第一侧壁25、第二侧壁26上。

这样构成的基板支承板状部5能够在将多个基板w中的相邻的基板w彼此以规定的间隔分开的状态下且成为彼此平行的位置关系的状态下，支承多个基板w的边缘部。

如图2所示，后侧基板支承部6具有后侧端部边缘支承部60。后侧端部边缘支承部60在基板支承板状部5的板部51的后端部，与板部51和支承壁52一体成形。因此，作为侧方基板支承部的基板支承板状部5和后侧基板支承部6，在容器主体2的内部构成与容器主体2固定结合的一个内置件。

后侧端部边缘支承部60的个数与基板收纳空间27中能够收纳的每一个基板w对应，具体地说，设有25个后侧端部边缘支承部60。配置在第一侧壁25和第二侧壁26上的后侧端部边缘支承部60，在前后方向d1上具有与后述的前部保持构件7成对的位置关系。

后侧端部边缘支承部60具有下侧倾斜面611和上侧倾斜面612，由此形成大体v形槽。当容器主体开口部21被盖体3封闭时，基板w相对于下侧倾斜面611滑动并逐渐升高，当基板w的边缘部与上侧倾斜面612抵接时，基板w的边缘部被后侧端部边缘支承部60支承。

如图1等所示，盖体3具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大体一致的大体长方形形状。盖体3相对于容器主体2的开口周缘部28可装拆，通过将盖体3安装到开口周缘部28，盖体3能够封闭容器主体开口部21。在作为盖体3的内表面(图1所示的盖体3的里侧的面)的、与形成在盖体3封闭容器主体开口部21时在向后方向d12上紧靠开口周缘部28的位置处的台阶部分的面(密封面281)相对的面上，安装有环状的密封构件4。密封构件4由能够弹性变形的聚酯系、聚烯烃系等各种热塑性弹性体、氟橡胶制品、硅橡胶制品等构成。密封构件4以环绕盖体3的外周缘部一周的方式配置。

当盖体3安装在开口周缘部28时，密封构件4被密封面281和盖体3的内表面夹持而弹性变形，盖体3以密闭的状态封闭容器主体开口部21。通过从开口周缘部28取下盖体3，能够相对于容器主体2内的基板收纳空间27取放基板w。

在盖体3上设有插销机构。如图1所示，插销机构设置在盖体3的左右两端部附近，具备：两个上侧插销部32a，能够从盖体3的上边朝向上方向d21突出；以及两个下侧插销部32b，能够从盖体3的下边朝向下方向d22突出。两个上侧插销部32a配置在盖体3的上边的左右两端附近，两个下侧插销部32b配置在盖体3的下边的左右两端附近。

在盖体3的外表面上设有操作部33。通过从盖体3的前侧操作操作部33，能够使上侧插销部32a、下侧插销部32b分别从盖体3的上边、下边突出，此外可以使上侧插销部32a、下侧插销部32b成为不从上边、下边突出的状态。使上侧插销部32a从盖体3的上边朝向上方向d21突出并与容器主体2的插销卡合凹部231a、231b卡合，并且使下侧插销部32b从盖体3的下边朝向下方向d22突出并与容器主体2的插销卡合凹部241a、241b卡合，由此将盖体3固定在容器主体2的开口周缘部28。

如图3所示，在盖体3的内侧，形成有向基板收纳空间27的外侧凹入的凹部34。在凹部34内侧的盖体3的部分上，固定设有前部保持构件7。

前部保持构件7具有作为盖体侧基板承接部的前部保持构件基板承接部73。前部保持构件基板承接部73在左右方向d3上以按规定的间隔分开成对的方式两个两个地配置。以成对的方式两个两个配置的前部保持构件基板承接部73，在上下方向d2上以排列有25对的状态设置，并分别由能够弹性变形的作为盖体侧脚部的脚部72支承。在脚部72的端部，与脚部72一体成形地设有沿上下方向d2平行延伸的纵框体71。通过在基板收纳空间27内收纳基板w并关闭盖体3，前部保持构件基板承接部73利用脚部72的弹性力，以向基板收纳空间27的中心施加作用力的状态夹持并支承基板w的边缘部的端部边缘。

具体地说，如图7所示，前部保持构件基板承接部73具有下侧倾斜面731和上侧倾斜面732。

当容器主体开口部21被盖体3封闭时，下侧倾斜面731与基板w的背面的端部边缘抵接。上侧倾斜面732与基板w的表面的端部边缘抵接。具体地说，下侧倾斜面731由以随着朝向上方向d21前进在前后方向d1上远离基板收纳空间27的中心的方式倾斜延伸的倾斜面构成。上侧倾斜面732由以随着朝向上方向d21上前进在前后方向d1上接近基板收纳空间27的中心的方式倾斜延伸的倾斜面构成。下侧倾斜面731和上侧倾斜面732形成v形槽703，v形槽703是以从基板收纳空间27的中心离开的方式凹陷的凹槽，并在左右方向d3上延伸。

此外，前部保持构件基板承接部73具有下侧基板引导倾斜面733和上侧基板引导倾斜面734。下侧基板引导倾斜面733与下侧倾斜面731的下端部连接，朝向大体向下方向倾斜延伸。相比于下侧倾斜面731的倾斜，下侧基板引导倾斜面733以与上下方向d2所成的角度更小的方式倾斜。即，如图7所示，下侧基板引导倾斜面733以随着远离v形槽703的顶点使v形槽703扩展的方式倾斜。

上侧基板引导倾斜面734与上侧倾斜面732的上端部连接，朝向大体向上方向倾斜延伸，相比于上侧倾斜面732的倾斜，上侧基板引导倾斜面734以与上下方向d2所成的角度更小的方式倾斜。即，如图7所示，上侧基板引导倾斜面734以随着远离v形槽703的顶点使v形槽703扩展的方式倾斜。

如图5等所示，当从容器主体2的一端部朝向另一端部的方向观察时亦即当后视观察时，前部保持构件基板承接部73具有平行四边形形状。即，具有一对短边和一对长边。在图5所示的后视图中，一对短边具有与上下方向d2平行的位置关系。此外，在图5所示的后视图中，一对长边具有与左右方向d3成规定的角度的位置关系，在作为容器主体开口部21被盖体3封闭时的v形槽703延伸的方向的左右方向d3上，随着接近容器主体开口部21的中央亦即随着接近图5中的前部保持构件7的中央，下侧基板引导倾斜面733的上下方向d2的长度朝向下方向d22变长。

此外，由于所述的前部保持构件基板承接部73具有平行四边形形状，所以上侧基板引导倾斜面734随着远离前部保持构件7的中央朝向上方向d21延伸，但是左侧(图5所示的右侧)的前部保持构件基板承接部73的上侧基板引导倾斜面734的左端部具有实施有倒角735的形状，所述倒角735随着从规定的位置进一步朝向左方向d31去上下方向d2上的宽度变短。同样地，右侧(图5所示的左侧)的前部保持构件基板承接部73的上侧基板引导倾斜面734的右端部具有实施有倒角735的形状，所述倒角735随着从规定的位置进一步朝向右方向d32去上下方向d2上的宽度变短。

接下来，说明在所述的基板收纳容器1中，向基板收纳空间27收纳基板w，并用盖体3封闭容器主体开口部21时的动作。图8是表示在本发明实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件基板承接部73的v形槽703中插入基板w的状态的示意图。

首先，如图1所示，以使前后方向d1和左右方向d3成为与水平面平行的位置关系的方式配置容器主体2。接着，将多个基板w分别承载在基板支承板状部5的板部51的凸部511、512上。

接下来，使盖体3靠近容器主体开口部21，使基板w与前部保持构件7的前部保持构件基板承接部73抵接。而后，如图8所示，如果使盖体3进一步靠近容器主体开口部21，则由于基板w的边缘部的背面的端部边缘，与在上下方向d2上较长地形成的下侧基板引导倾斜面733相对，所以与下侧基板引导倾斜面733抵接，向图8中用箭头表示的方向滑动并被引导。而后，如果到达下侧倾斜面731，则基板w的边缘部的背面的端部边缘与下侧倾斜面731抵接，相对于下侧倾斜面731滑动并逐渐升高。同样地，在后侧端部边缘支承部60中，如果基板w到达未图示的下侧倾斜面611，则基板w的边缘部的背面的端部边缘与后侧端部边缘支承部60的下侧倾斜面611抵接，并相对于下侧倾斜面611滑动并逐渐升高。

而后，当基板w到达v形槽703的顶点位置时，基板w的背面的端部边缘、表面的端部边缘，分别与下侧倾斜面731、上侧倾斜面732抵接，基板w的边缘部被v形槽703支承。同样地，基板w的背面的端部边缘、表面的端部边缘，分别与后侧端部边缘支承部60的下侧倾斜面611、上侧倾斜面612抵接，由此被后侧端部边缘支承部60支承。

按照所述结构的本实施方式的基板收纳容器1，能够得到下述效果。

如上所述，基板收纳容器1包括：容器主体2，具有筒状的壁部20，所述壁部20在一端部具有形成容器主体开口部21的开口周缘部28，另一端部封闭，由壁部20的内表面形成基板收纳空间27，所述基板收纳空间27能够收纳多个基板w并与容器主体开口部21连通；盖体3，相对于容器主体开口部21可装拆，能够封闭容器主体开口部21；作为侧方基板支承部的基板支承板状部5，在基板收纳空间27内以成对的方式配置，当容器主体开口部21未被盖体3封闭时，能够在将多个基板w中的相邻的基板w彼此以规定的间隔分开排列的状态下，支承多个基板w的边缘部；作为盖体侧基板支承部的前部保持构件7，当容器主体开口部21被盖体3封闭时，配置在与基板收纳空间27相对的盖体3部分上，能够支承多个基板w的边缘部；以及后侧基板支承部6，在基板收纳空间27内以与前部保持构件7成对的方式配置，能够支承多个基板w的边缘部，当容器主体开口部21被盖体3封闭时，与前部保持构件7协同动作，能够支承多个基板w。

前部保持构件7具备：作为盖体侧基板承接部的前部保持构件基板承接部73，与基板w直接抵接并支承基板w；以及作为盖体侧脚部的脚部72，支承前部保持构件基板承接部73。

前部保持构件基板承接部73具有：下侧倾斜面731，以从基板收纳空间27的中心离开的方式倾斜延伸；上侧倾斜面732，以接近基板收纳空间27的中心的方式从下侧倾斜面731的上端部倾斜延伸；下侧基板引导倾斜面733，与下侧倾斜面731的下端部连接，相比于下侧倾斜面731的倾斜，以与上下方向d2所成的角a更小的方式倾斜，所述上下方向d2与多个基板w排列的排列方向一致；以及上侧基板引导倾斜面734，与上侧倾斜面732的上端部连接，相比于上侧倾斜面732的倾斜，以与上下方向d2所成的角b更小的方式倾斜。

当容器主体开口部21被盖体3封闭时，下侧倾斜面731和上侧倾斜面732与基板w抵接，在由下侧倾斜面731和上侧倾斜面732形成的v形槽703中支承基板w。

在容器主体开口部21被盖体3封闭时的v形槽703延伸的方向上，随着接近容器主体开口部21的中央，下侧基板引导倾斜面733的上下方向d2上的长度变长。

按照该结构，下侧基板引导倾斜面733朝向下方向d22扩大。由此，当封闭盖体3时，容易使基板w的边缘部的背面的端部边缘与下侧基板引导倾斜面733抵接。其结果，能够使盖体3通过下侧基板引导倾斜面733容易地成为与下侧倾斜面731抵接的状态，能够可靠地将基板w向v形槽703引导。由此，能够降低在前部保持构件7中基板w的引导不良，即，能够降低基板w进入相邻的多个前部保持构件基板承接部73之间而成为基板脱落的状态。因此，在用手动盖封闭体3时，无需担心基板w的引导不良，能够提高作业性。

此外，在作为从容器主体2的一端部朝向另一端部的方向(向前方向d11)的后视观察时，前部保持构件基板承接部73具有平行四边形的形状。按照该结构，能够在不扩展在上下方向d2上相邻的v形槽703与v形槽703的间隔的情况下，朝向下方向d22扩大下侧基板引导倾斜面733。因此，当用盖体3封闭容器主体开口部21时，能够使v形槽703中被支承的基板w的位置成为与未扩大基板引导倾斜面733的以往的结构相同的位置。

本发明不限于所述的实施方式，在权利要求的技术范围内可以进行各种变形。

例如，容器主体和盖体的形状、容器主体中能够收纳的基板w的个数和尺寸，不限于本实施方式中的容器主体2和盖体3的形状、容器主体2中能够收纳的基板w的个数和尺寸。即，侧方基板支承部、盖体侧基板支承部和后侧基板支承部的结构，不限于基板支承板状部5、前部保持构件7和后侧基板支承部6的结构。此外，本实施方式中的基板w为直径300mm的硅晶片，但是不限于该值。

例如，盖体侧基板承接部的结构不限于前部保持构件基板承接部73的结构。因此，左侧(图5所示的右侧)的前部保持构件基板承接部73的上侧基板引导倾斜面734的左端部、以及右侧(图5所示的左侧)的前部保持构件基板承接部73的上侧基板引导倾斜面734的右端部，具有实施了倒角735的形状，但是也可以具有不实施这种倒角的形状。

此外，后侧基板支承部在本实施方式中由后侧基板支承部6构成，但是不限于该结构。例如，可以利用与容器主体一体成形的后部保持构件来构成后侧基板支承部。

权利要求书(按照条约第19条的修改)

1.一种基板收纳容器，其特征在于，

所述基板收纳容器包括：

容器主体，具备筒状的壁部，所述壁部在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部，另一端部封闭，由所述壁部的内表面形成基板收纳空间，所述基板收纳空间能够收纳多个基板并与所述容器主体开口部连通；

盖体，相对于所述容器主体开口部可装拆，能够封闭所述容器主体开口部；

侧方基板支承部，在所述基板收纳空间内以成对的方式配置，当所述容器主体开口部未被所述盖体封闭时，能够在将所述多个基板中的相邻的基板彼此以规定的间隔分开排列的状态下，支承所述多个基板的边缘部；

盖体侧基板支承部，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，配置在与所述基板收纳空间相对的所述盖体部分上，能够支承所述多个基板的边缘部；以及

后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内以与所述盖体侧基板支承部成对的方式配置，能够支承所述多个基板的边缘部，当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，与所述盖体侧基板支承部协同动作，能够支承所述多个基板，

所述盖体侧基板支承部具备：盖体侧基板承接部，与所述基板直接抵接，支承所述基板；以及盖体侧脚部，支承所述盖体侧基板承接部，

所述盖体侧基板承接部具有：

下侧倾斜面，以从所述基板收纳空间的中心离开的方式倾斜延伸；

上侧倾斜面，以接近所述基板收纳空间的中心的方式从所述下侧倾斜面的上端部倾斜延伸；

下侧基板引导倾斜面，与所述下侧倾斜面的下端部连接，相比于所述下侧倾斜面的倾斜，以与上下方向所成的角度更小的方式倾斜，所述上下方向与所述多个基板排列的排列方向一致；以及

上侧基板引导倾斜面，与所述上侧倾斜面的上端部连接，相比于所述上侧倾斜面的倾斜，以与所述上下方向所成的角度更小的方式倾斜，

当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时，所述下侧倾斜面和所述上侧倾斜面与所述基板抵接，在由所述下侧倾斜面和所述上侧倾斜面形成的槽中支承所述基板，

在所述容器主体开口部被所述盖体封闭时的所述槽延伸的方向上，随着接近所述容器主体开口部的中央，所述下侧基板引导倾斜面的所述上下方向上的长度变长，

在从所述容器主体的一端部朝向另一端部的方向上观察时，所述盖体侧基板承接部具有平行四边形的形状。