半导体装置及其制造方法与流程

文档序号:16476831发布日期:2019-01-02 23:41阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供制造容易的半导体装置及其制造方法。实施方式的半导体装置具备:半导体板;第1电极部件,设置在半导体板内;第1绝缘膜,设置在半导体板的第1面上,覆盖第1电极部件;第1焊盘,设置在第1绝缘膜上,连接于第1面;第2焊盘,设置在第1绝缘膜上,与第1焊盘分离;以及接触件,将第2焊盘连接到第1电极部件。第1电极部件具有配置在第1焊盘的正下方区域的第1部分和配置在第2焊盘的正下方区域的第2部分。第1部分中的宽度方向两端部的上表面位于比第1部分中的宽度方向中央部的上表面靠上方的位置。第2部分的上表面中的宽度方向端部与宽度方向中央部的高度差小于第1部分的上表面中的宽度方向端部与宽度方向中央部的高度差。

技术研发人员:小林仁
受保护的技术使用者:株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
技术研发日:2018.01.18
技术公布日:2019.01.01
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