本发明涉及柔性显示技术领域，特别涉及一种阵列基板、其制作方法及显示面板。
背景技术：
柔性显示面板是以聚酰亚胺或聚酯薄膜为基材制成的一种具有高度可靠性的挠性印刷电路板，有机发光二极管(organiclightemittingdisplay，oled)显示面板因具有自发光、超轻薄、响应速度快、视角宽、功耗低等优点，被认为是最具有潜力的显示器件。采用柔性基底制成弯曲或者折叠的柔性显示器件，成为显示器件的一个重要的发展方向。
目前，oled柔性显示屏，在具体工艺中，如图1所示，常在柔性基底001上沉积一层阻隔层002，用来提高表面着附力、阻隔水氧、同时起到隔热防静电的作用，但是由于阻隔层002很薄，只有1um左右，所以在成膜及以后的使用过程中很容易产生裂纹，且阻隔层002韧性差，不能有效的缓冲裂纹尖端的横向拉应力，不能防止裂纹的继续扩散，致使裂纹增大和贯穿，从而导致显示器件的寿命大大缩短。
技术实现要素：
本发明实施例提供一种阵列基板、其制作方法及显示面板，用以解决现有技术中位于柔性基底上的阻隔层容易出现裂纹导致显示器件的寿命大大缩短的问题。
因此，本发明实施例提供了一种阵列基板，包括：第一柔性基底，以及位于所述第一柔性基底一侧的第一阻隔层；其中，
所述第一阻隔层包括多个独立设置的沟槽，且各所述沟槽内填充有柔性材料。
较佳地，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述柔性材料为柔性疏水材料。
较佳地，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述沟槽贯穿所述第一阻隔层。
较佳地，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，每相邻两个所述沟槽在所述第一柔性基底上的正投影之间的距离相等。
较佳地，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述第一阻隔层包括层叠设置的第一子阻隔层和第二子阻隔层，所述沟槽包括第一沟槽和第二沟槽；其中，
所述第一沟槽位于所述第一子阻隔层中，所述第二沟槽位于所述第二子阻隔层中。
较佳地，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述第一沟槽贯穿所述第一子阻隔层，所述第二沟槽贯穿所述第二子阻隔层。
较佳地，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述第一沟槽在所述第一柔性基底上的正投影和所述第二沟槽在所述第一柔性基底上的正投影交替排列。
较佳地，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，所述阵列基板还包括：位于所述第一阻隔层背离所述第一柔性基底一侧的第二柔性基底，以及位于所述第二柔性基底背离所述第一柔性基底一侧的第二阻隔层。
相应地，本发明实施例还提供了一种显示面板，包括本发明实施例提供的上述任一项阵列基板。
相应地，本发明实施例还提供了一种阵列基板的制作方法，包括：
在第一柔性基底上形成第一阻隔层的图形；
在所述第一阻隔层中形成多个独立设置的沟槽；
在所述第一阻隔层的沟槽内填充柔性材料。
本发明实施例提供的阵列基板、其制作方法及显示面板，该阵列基板包括：第一柔性基底，以及位于第一柔性基底一侧的第一阻隔层；其中，第一阻隔层包括多个独立设置的沟槽，且各沟槽内填充有柔性材料。本发明通过在第一阻隔层中设置多个独立设置的沟槽结构，并在沟槽内填充柔性材料，这样当第一阻隔层产生裂纹时，沟槽内填充的柔性材料可以有效的缓冲裂纹尖端的横向拉应力，防止裂纹的继续扩散，从而避免裂纹增大和贯穿，并且柔性材料能够保证第一阻隔层填充的完整性，确保器件性能，因此，本发明实施例提供的阵列基板可以提高显示器件的寿命。
附图说明
图1为现有的阵列基板的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的阵列基板的结构示意图之一；
图3为本发明实施例提供的阵列基板的结构示意图之之二；
图4为本发明实施例提供的阵列基板的制作方法的流程图；
图5a至图5c和图2分别为本发明实施例一执行各步骤后的剖面结构示意图；
图6a至图6e和图3分别为本发明实施例二执行各步骤后的剖面结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的，技术方案和优点更加清楚，下面结合附图，对本发明实施例提供的阵列基板、其制作方法、有机发光显示面板及显示面板的具体实施方式进行详细地说明。
附图中各层薄膜厚度和形状不反映阵列基板的真实比例，目的只是示意说明本发明内容。
本发明实施例提供了一种阵列基板，如图2所示，包括：第一柔性基底10以及位于第一柔性基底10一侧的第一阻隔层20；其中，
第一阻隔层20包括多个独立设置的沟槽01，且各沟槽01内填充有柔性疏水材料。
本发明实施例提供的上述阵列基板，通过在第一阻隔层中设置多个独立设置的沟槽结构，并在沟槽内填充柔性材料，这样当第一阻隔层产生裂纹时，沟槽内填充的柔性材料可以有效的缓冲裂纹尖端的横向拉应力，防止裂纹的继续扩散，从而避免裂纹增大和贯穿，并且柔性材料能够保证第一阻隔层填充的完整性，确保器件性能，因此，本发明实施例提供的阵列基板可以提高显示器件的寿命。
需要说明的是，本发明实施例提供的上述阵列基板主要适用于柔性oled显示屏，第一柔性基底的材料为聚酰亚胺，当然也可以为其它柔性材料，只要包括本发明实施例这种结构的，都属于本发明保护的范围内。
具体实施时，第一阻隔层的材料为无机材料。
进一步地，具体实施时，由于第一阻隔层是用来阻隔水氧的，为了能够有效阻碍水汽的渗透，防止器件性能的恶化，延长器件的使用寿命，填充的柔性材料为柔性疏水材料。
具体实施时，由于第一阻隔层的材料为无机材料，由于该层厚度较薄，容易产生裂纹，为了完全阻隔裂纹的横向扩散，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，如图2所示，沟槽01贯穿第一阻隔层20。这样在无机层任一处产生裂纹，都能够有效的缓冲裂纹尖端的横向拉应力，防止裂纹的继续扩散，从而避免裂纹增大和贯穿。
进一步地，具体实施时，为了更好的缓冲裂纹尖端的横向拉应力，防止裂纹的继续扩散，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，如图2所示，每相邻两个沟槽01在第一柔性基底10上的正投影之间的距离相等。
进一步地，具体实施时，由于第一阻隔层20的各个部位都有可能产生裂纹，图2所示的结构已经能够有效地防止裂纹的继续扩散，但是由于图2的结构是沟槽01贯穿第一阻隔层10，虽然填充的是疏水性材料，仍不能保证其完全的致密性，阻隔水汽的效果没有原第一阻隔层10的效果好，虽然图2所示的沟槽01也可以不贯穿第一阻隔层10，但是未贯穿的部分厚度更薄，更容易产生裂纹，因此为了既能够有效的防止裂纹的扩散，又能够有效地阻隔水汽的渗透，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，如图3所示，第一阻隔层20包括层叠设置的第一子阻隔层201和第二子阻隔层202，沟槽01包括第一沟槽011和第二沟槽012；其中，
第一沟槽011位于第一子阻隔层201中，第二沟槽012位于第二子阻隔层202中。
较佳地，具体实施时，第一子阻隔层201的厚度和第二子阻隔层202的厚度相等，均为第一阻隔层20厚度的1/2。
具体实施时，第一阻隔层的材料为无机材料，将第一阻隔层分两次涂覆，为了完全阻隔裂纹的横向扩散，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，如图3所示，第一沟槽011贯穿第一子阻隔层201，第二沟槽012贯穿第二子阻隔层202。
进一步地，具体实施时，为了更加有效的防止裂纹的扩散和阻隔水汽的渗透，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，如图3所示，第一沟槽011在第一柔性基底10上的正投影和第二沟槽012在第一柔性基底10上的正投影交替排列。这样各个沟槽均没有贯穿整个第一阻隔层10，不仅能够有效的防止裂纹的扩散，更能够有效地阻隔水汽的渗透。
较佳地，具体实施时，为了便于制作，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，如图3所示，第一沟槽011在第一柔性基底10上的正投影和第二沟槽012在第一柔性基底10上的正投影等间距交替排列。这样第一沟槽011和第二沟槽012在第一阻隔层10中分布均匀，方便制作。
进一步地，具体实施时，为了保证膜层的平坦性，以及更好地阻隔水汽的渗透，在本发明实施例提供的上述阵列基板中，如图2和图3所示，阵列基板还包括：位于第一阻隔层20背离第一柔性基底10一侧的第二柔性基底30，以及位于第二柔性基底30背离第一柔性基底10一侧的第二阻隔层40。
具体实施时，第二柔性基底的材料与第一柔性基底的材料相同，如聚酰亚胺，当然也可以为其它柔性材料，在此不做限定。
具体实施时，第二阻隔层的材料与第一阻隔层的材料相同，为无机材料。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种阵列基板的制作方法，如图4所示，包括：
s401、在第一柔性基底上形成第一阻隔层的图形；
s402、在第一阻隔层中形成多个独立设置的沟槽；
s403、在第一阻隔层的沟槽内填充柔性材料。
下面通过两个具体实施例对图2和图3所示的阵列基板的制作方法进行详细阐述。
实施例一：图2所示的阵列基板的制作方法可以包括以下步骤：
(1)在第一柔性基底10上形成第一阻隔层20的图形，如图5a所示；
(2)通过刻蚀工艺在第一阻隔层20中刻蚀多个独立设置且贯穿第一阻隔层20的沟槽01，如图5b所示；
(3)在第一阻隔层20的沟槽01内填充柔性疏水材料；
(4)在第一阻隔层20上形成第二柔性基底30的图形，如图5c所示；
(5)在第二柔性基底30上形成第二阻隔层40的图形，如图2所示。
通过上述实施例一的步骤(1)至步骤(5)后可以得到本发明实施例提供的图2所示的阵列基板。
实施例二：图3所示的阵列基板的制作方法可以包括以下步骤：
(1’)在第一柔性基底10上形成第一子阻隔层201的图形，其中，第一子阻隔层201的厚度为第一阻隔层20的厚度的1/2，如图6a所示；
(2’)通过刻蚀工艺在第一子阻隔层201中刻蚀出多个独立设置且贯穿第一子阻隔层201的第一沟槽011，如图6b所示；
(3’)在第一子阻隔层201的第一沟槽011内填充柔性疏水材料；
(4’)在第一子阻隔层201上形成第二子阻隔层202的图形，其中，第二子阻隔层202的厚度为第一阻隔层20的厚度的1/2，如图6c所示；
(5’)通过刻蚀工艺在第二子阻隔层202中刻蚀出多个独立设置且贯穿第二子阻隔层202的第二沟槽012，且第二沟槽012与第一沟槽011等间距交替排列，如图6d所示。
(6’)在第二子阻隔层202的第二沟槽012内填充柔性疏水材料；
(7’)在第二子阻隔层202上形成第二柔性基底30的图形，如图6e所示。
(8’)在第二柔性基底30上形成第二阻隔层40的图形，如图3所示。
通过上述实施例二的步骤(1’)至步骤(8’)后可以得到本发明实施例提供的图3所示的阵列基板。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种显示面板，包括本发明实施例提供的上述任一种阵列基板。该显示面板解决问题的原理与前述阵列基板相似，因此该显示面板的实施可以参见前述阵列基板的实施，重复之处在此不再赘述。
具体实施时，本发明实施例提供的显示面板还包括位于第二阻隔层上依次层叠设置的ltps(lowtemperaturepoly-silicon。低温多晶硅)背板层、有机发光层、tfe(thinfilmencapsulation，薄膜封装)封装层等，这些膜层与现有技术中一样，在此不做详细赘述。
本发明实施例提供的阵列基板、其制作方法及显示面板，该阵列基板包括：第一柔性基底，以及位于第一柔性基底一侧的第一阻隔层；其中，第一阻隔层包括多个独立设置的沟槽，且各沟槽内填充有柔性材料。本发明通过在第一阻隔层中设置多个独立设置的沟槽结构，并在沟槽内填充柔性材料，这样当第一阻隔层产生裂纹时，沟槽内填充的柔性材料可以有效的缓冲裂纹尖端的横向拉应力，防止裂纹的继续扩散，从而避免裂纹增大和贯穿，并且柔性材料能够保证第一阻隔层填充的完整性，确保器件性能，因此，本发明实施例提供的阵列基板可以提高显示器件的寿命。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。