技术特征：
技术总结
此处描述的实施方式大体上关于与热处理腔室中的灯头组件一起使用的柔性支座。在一个实施方式中，所述灯头组件可包括：灯头，具有一个或多个固定的灯头位置；灯泡；灯座，具有支座接触适配器；以及柔性支座，能够附接和定位所述灯组件。所述柔性支座可包括：插座，所述插座配置成接收灯组件的灯座；外罩，配置成将灯组件的灯泡定位成与处理腔室热连接；接触适配器，配置成电连接至电源；以及导电材料，电连接所述插座和所述接触适配器。
技术研发人员：约瑟夫·M·拉内什;欧勒格·塞雷布里安诺夫;姚东明
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2014.02.10
技术公布日：2018.09.04