本实用新型涉及激光领域，尤其涉及一种气体激光装置。
背景技术：
在以往的技术中，气体激光装置输出的激光可以用于外部设备，例如曝光装置。图1是现有的气体激光装置与外部的曝光装置进行连接的一示意图。如图1所示，气体激光装置1通过外部光路管2与曝光装置3连接，气体激光装置1输出的激光通过外部光路管2中的反射镜4和5输出到曝光装置3中。
应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现要素：
本实用新型的发明人发现，在需要对气体激光装置1输出的激光的特性进行检测时，一般需要在气体激光装置1的输出端口处设置检测装置以进行激光特性的检测，而要想在输出端口处设置检测装置，则需要拆下外部光路管2，但是由于当再次设置外部光路管2时，内部的反射镜4和5会错位，因此需要花费大量的时间进行外部光路管2内的反射镜4和5反射的激光的光轴的调整，另外，在气体激光装置1和曝光装置3之间不存在用于设置检测装置的空间的情况下，有时会发生无法进行输出激光光的检测的情况。
本实用新型实施例提供一种气体激光装置，在气体激光装置的壳体内部靠近输出端口的位置设置能够拆装的内部光路管，且用于安装该内部光路管的空间能够容纳用于检测激光特性的检测装置。这样，在需要对气体激光装置输出的激光的特性进行检测时，不需要拆卸具有反射镜的外部光路管，因此不需要花费时间进行光轴的调整，另外，也不需要在气体激光装置的外部预留设置检测装置的空间。从而，能够方便快速的设置检测装置。
根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种气体激光装置，所述气体激光装置具有：壳体，其具有将激光输出到外部的输出端口；以及内部光路管，其以能够拆装的方式安装在所述壳体内，并且，所述内部光路管从所述气体激光装置的内侧连接到所述输出端口，所述壳体内的用于安装所述内部光路管的空间能够容纳用于检测激光特性的检测装置。
根据本实用新型实施例的第二方面，其中，所述内部光路管的内部不具有反射镜。
根据本实用新型实施例的第三方面，其中，所述内部光路管在所述激光的光轴方向上延伸。
根据本实用新型实施例的第四方面，其中，所述壳体内的用于安装所述内部光路管的空间能够容纳长度为20cm～40cm、宽度为10cm～20cm以及高度为20cm～40cm的长方体。
根据本实用新型实施例的第五方面，其中，所述壳体内的用于安装所述内部光路管的空间能够容纳长度为30cm、宽度为15cm以及高度为30cm的长方体。
根据本实用新型实施例的第六方面，其中，所述气体激光装置还具有：监控装置，其用于监控激光的参数，所述内部光路管以能够拆装的方式安装在所述监控装置和所述输出端口之间。
本实用新型的有益效果在于：通过在气体激光装置的壳体内部靠近输出端口的位置设置能够拆装的内部光路管，且用于安装该内部光路管的空间能够容纳用于检测激光特性的检测装置。这样，在需要对气体激光装置输出的激光的特性进行检测时，不需要拆卸具有反射镜的外部光路管，因此不需要花费时间进行光轴的调整，另外，也不需要在气体激光装置的外部预留设置检测装置的空间。从而，能够方便快速的设置检测装置。
参照后文的说明和附图，详细公开了本实用新型的特定实施方式，指明了本实用新型的原理可以被采用的方式。应该理解，本实用新型的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本实用新型的实施方式包括许多改变、修改和等同。
针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。
应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。
附图说明
所包括的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本实用新型的实施方式，并与文字描述一起来阐释本实用新型的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
图1是现有的气体激光装置与外部的曝光装置进行连接的一示意图；
图2是本实用新型实施例1的气体激光装置的一示意图；
图3是本实用新型实施例1的气体激光装置与外部的曝光装置进行连接的一示意图；
图4是本实用新型实施例1的在气体激光装置中设置检测装置的一示意图。
具体实施方式
参照附图，通过下面的说明书，本实用新型的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本实用新型的特定实施方式，其表明了其中可以采用本实用新型的原则的部分实施方式，应了解的是，本实用新型不限于所描述的实施方式，相反，本实用新型包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。
在本实用新型实施例中，术语“第一”、“第二”等用于对不同元素从称谓上进行区分，但并不表示这些元素的空间排列或时间顺序等，这些元素不应被这些术语所限制。术语“和/或”包括相关联列出的术语的一种或多个中的任何一个和所有组合。术语“包含”、“包括”、“具有”等是指所陈述的特征、元素、元件或组件的存在，但并不排除存在或添加一个或多个其他特征、元素、元件或组件。“多个”或“多种”指的是至少两个或至少两种。
实施例1
图2是本实用新型实施例1的气体激光装置的一示意图。如图2所示，气体激光装置10具有：
壳体11，其具有将激光输出到外部的输出端口15；以及
内部光路管12，其以能够拆装的方式安装在该壳体11内，并且，该内部光路管12从气体激光装置10的内侧连接到该输出端口15，
该壳体11内的用于安装该内部光路管12的空间能够容纳用于检测激光特性的检测装置。
在本实施例中，“能够拆装”是指能够拆卸和安装，“内侧”是指沿着输出激光的轴向上的气体激光装置10的内部的一侧，“外侧”是指沿着输出激光的轴向上的气体激光装置10的外部的一侧。
在本实施例中，该气体激光装置10还可以具有：
激光腔室13，其内部容纳有激光介质气体，例如，二氧化碳气体或者准分子气体。
在本实施例中，激光腔室13能够输出激光，输出激光的光轴方向为Z方向，激光腔室13的具体结构可以参考现有技术。
在本实施例中，内部光路管12以能够拆装的方式安装在该壳体11内，并且，该内部光路管12从气体激光装置10的内侧连接到该输出端口15。这样，从激光腔室13输出的激光可以通过内部光路管12并从输出端口15输出到气体激光装置10的外部。
例如，内部光路管12以螺栓或者卡扣等能够拆装的方式安装在激光腔室13上。
在本实施例中，内部光路管12的内部不具有反射镜。因此，在拆卸后重新安装内部光路管12的情况下，不需要调整光轴等操作。
在本实施例中，内部光路管12在激光的光轴方向(Z方向)上延伸。
在本实施例中，内部光路管12可以为波纹状的管状部件，例如，内部光路管12由不锈钢制成，在内部光路管12中可以充入惰性气体。
在本实施例中，该壳体11内的用于安装该内部光路管12的空间能够容纳用于检测激光特性的检测装置。
例如，该壳体11内的用于安装该内部光路管12的空间能够容纳长度为20cm～40cm、宽度为10cm～20cm以及高度为20cm～40cm的长方体，例如，长度为30cm、宽度为15cm以及高度为30cm的长方体。
在本实施例中，该长方体的尺寸与检测装置的尺寸相适应。
在本实施例中，该气体激光装置10还可以具有：
监控装置14，其用于监控激光的参数，
该内部光路管12以能够拆装的方式安装在该监控装置14和该输出端口15之间。
在本实施例中，该监控装置14用于监控激光的参数，例如，监控激光的波长。
图3是本实用新型实施例1的气体激光装置与外部的曝光装置进行连接的一示意图。如图3所示，气体激光装置10通过外部光路管20与曝光装置30连接，气体激光装置10输出的激光通过外部光路管20中的反射镜21和22输出到曝光装置30中。
图4是本实用新型实施例1的在气体激光装置中设置检测装置的一示意图。如图4所示，在需要检测气体激光装置的输出激光的特性时，将内部光路管12从壳体11内拆卸并移出，并在用于安装该内部光路管12的空间设置用于检测激光特性的检测装置40。这样，不需要拆卸具有反射镜21和22的外部光路管20，因此不需要花费时间进行光轴的调整，另外，也不需要在气体激光装置10的外部预留设置检测装置40的空间。
在本实施例中，检测装置40用于检测激光的特性，例如，检测激光光束的光斑形状。
在本实施例中，可以沿着X方向或Y方向移出或移入内部光路管12和检测装置40。
在本实施例中，该气体激光装置10还可以具有开口，以用于将内部光路管12从壳体11内移出，并将检测装置40移入壳体11内，另外，在检测装置40使用完成后，将检测装置40从壳体11内移出，并将内部光路官12移入壳体11内。
例如，该开口可以设置于壳体11的上表面或下表面(Y方向上的表面)或侧面(X方向上的表面)，而不设置在端部的表面(Z方向的表面)，从而在移动内部光路管12以及检测装置40时不会影响外部光路管20。
由上述实施例可知，通过在气体激光装置的壳体内部靠近输出端口的位置设置能够拆装的内部光路管，且用于安装该内部光路管的空间能够容纳用于检测激光特性的检测装置。这样，在需要对气体激光装置输出的激光的特性进行检测时，不需要拆卸具有反射镜的外部光路管，因此不需要花费时间进行光轴的调整，另外，也不需要在气体激光装置的外部预留设置检测装置的空间。从而，能够方便快速的设置检测装置。
以上结合具体的实施方式对本实用新型进行了描述，但本领域技术人员应该清楚，这些描述都是示例性的，并不是对本实用新型保护范围的限制。本领域技术人员可以根据本实用新型的精神和原理对本实用新型做出各种变型和修改，这些变型和修改也在本实用新型的范围内。