注入机传片报警装置的制作方法

本实用新型涉及半导体元器件生产领域，具体而言，涉及一种注入机传片报警装置。

背景技术：

半导体元器件离子注入行业中，因工作环境、设备布局等原因，硅片在注入完结或传片报警时，操作人员无法及时发现处理，导致设备产能利用率低。

为了提高设备利用率和生产效率，对员工的数量以及素质需要更高的要求，以应对多台设备的传片报警。若操作人员处理报警速度慢或发现报警不及时，将直接影响注入机的生产效率。

由于350D/CF3000/NH-20S/CF5型注入机生产年代较早，设备没有远程监控的装置或远程监控装置失效，在实际生产活动中，操作人员不易及时发现操作区域较远的设备报警，为提高注入机生产效率以及产品质量，常规方法只能是增加操作人员的数量，虽然生产效率和产品质量得到了一定的保障，但需牺牲较多的人力资源。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现要素：

基于现有技术的不足，本实用新型提供了一种注入机传片报警装置，以便能够在一定程度上减少由于人员不充足而导致的人工操作报警处理慢、发现慢的情况，以部分或全部地改善、甚至解决现有技术中的问题。

本实用新型是这样实现的：

在本实用新型的第一方面，提供了一种注入机传片报警装置。

注入机传片报警装置用于对多个注入机的传片过程进行集中化的告警。

注入机传片报警装置包括：

箱体，箱体被构造来提供支撑和固定的着力点以及容纳各种器件的空间，箱体由围壁构成，围壁限定容纳空腔，箱体设置有显示窗口；

设置于箱体的容纳空腔内的电路系统，电路系统包括电路板以及匹配安装在电路板的电源部分、显示部分、报警部分、隔离部分；

电源部分被配置来为显示部分、报警部分提供电能；

显示部分被配置来分别对应匹配地显示多个注入机的机台代码；

报警部分被配置来在注入机完成注入完结或传片动作异常时发出声音报警；

隔离部分被配置来隔离注入机的电路和注入机传片报警装置的电路，以便将注入机的原始报警信息集中并对应向报警部分反馈；

报警装置能够根据隔离部分反馈的注入机的原始报警信息通过显示部分显示相应的注入机的机台代码、并使报警部分发出声音报警。

在其他的一个或多个示例中，显示部分为与多个注入机一一对应的指示灯，机台代码包括用于指示指示灯处于工作的具有点亮状态和处于非工作的熄灭状态，其中，点亮状态对应于相应的注入机完成注入完结或传片动作异常。

在其他的一个或多个示例中，指示灯为LED灯。

在其他的一个或多个示例中，显示部分为由透明数字码、小灯和灯筒组成，且显示部分能够在注入机完成注入完结或传片动作异常时对应显示注入机的代号。

在其他的一个或多个示例中，电源采用开光电源作为供电电源。

在其他的一个或多个示例中，电源采用市电作为供电电源，且以开关电源作为稳压器，开关电源被配置来将转变市电为注入机传片报警装置中的用电器件适用的稳定电源。

在其他的一个或多个示例中，注入机传片报警装置还包括用于切断或恢复供电电源工作的电源开关。

在其他的一个或多个示例中，报警部分设置是声音报警器，声音报警器为蜂鸣器。

有益效果：

本实用新型实施例提供的注入机传片报警装置能够使注入机的报警更加的集中化，从而便民操作员进行对应的操作，以提高注入机的工作效率、减少设备浪费和产品报废率。采用本实用新型提供的注入机传片报警装置，可以将原有的各个注入机单独进行报警的方式转变为集中在注入机传片报警装置进行报警提示。如此，操作员巡视各个注入机的工作量将被显著地降低，操作员的劳动强度降低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例中的注入机传片报警装置的原理框图；

图2示出了本实用新型实施例中的注入机传片报警装置的结构示意图；

图3示出了本实用新型实施例中的注入机传片报警装置的电路原理图：

图4示出了本实用新型实施例提供的注入机传片报警装置中的箱体的结构示意图。

图标：21-保护电路；22-电源开关；23-交流电源输入接口；24- 报警信号取样接口；25-LED灯；26-箱体；27-蜂鸣器；28-开关电源。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，在不矛盾或冲突的情况下，本实用新型的所有实施例、实施方式以及特征可以相互组合。在本实用新型中，常规的设备、装置、部件等，既可以商购，也可以根据本实用新型公开的内容自制。在本实用新型中，为了突出本实用新型的重点，对一些常规的操作和设备、装置、部件进行的省略，或仅作简单描述。

在现有的半导体生产工艺中，通常会涉及到注入机的使用。而注入机的注入过程和传片过程通常需要被特别地注意和监控，以便半导体相应的处理工艺的正常进行。

然而，在现有的生产工艺中，各个注入机通常是以独立工作的形式进行相应的报警提示的。因此，操作员在面对生产线生众多的注入机设备时，需要市场进行巡视查看。但是，由于各个注入机的工作进度并不总是且通常并不会保持一致，因此，这就使操作员需要在相当长的时间内持续地巡视查看。当操作员数量不够时，往往会导致注入机报警信息发现不及时，相应地处理也不及时。

这些都导致现有的半导体生产工艺中，注入机的使用率相对不是太高，操作员的劳动强度较大。

有鉴于此，在本实用新型中，发明人提出了一种注入机传片报警装置。注入机传片报警装置能够将原来由各个注入机独立地进行报警的方式改变为通过该装置集中告警。如此，利用注入机传片报警装置能够在不增加操作员的人数，管理更多的注入机。并且该注入机传片报警装置使操作人员更易及时发现操作区域较远的设备报警，减小操作员的操作强度，同时提高注入机生产效率以及产品质量。

参阅图1至图4。

本实施例提供了一种注入机传片报警装置。发明人期望通过这样的注入机传片报警装置平衡生产、质量以及成本三者之间的关系。注入机传片报警装置是一种安全、便捷、制作成本相对低廉且安装简单的报警装置。

通过以上的注入机传片报警装置，将各个注入机的传片、注入报警信号引入报警装置内，并且显示报警设备编码，并发出报警声，以提示操作人员及时监控和处理注入机的报警。

注入机传片报警装置包括箱体、电路系统。

箱体被构造来提供支撑和固定的着力点以及容纳各种器件的空间。箱体由围壁构成，围壁限定容纳空腔。箱体在大体上是一个空壳的结构，其整体尺寸以及内部的容纳空腔的大小可以根据具体的需要进行选择，本实用新型不对其作具体限定。

箱体的围壁可以是金属、塑料等材质，可以根据需要进行选择。

箱体设置有显示窗口。显示窗口通常是一个缺口，可以通过各种实体结构、器件进行填充。窗口的形状可以由多种，主要根据其容纳的装置、设备来进行限定。

显示窗口可以是贯穿了箱体的围壁的通孔。显示窗口也可以是部分地凹陷在围壁中的，如此，填充在显示窗口内的装置、设备可以通过各种电器线缆或无线方式进行各种连接。

电路系统设置于箱体的容纳空腔内。电路系统具有各种电器元器件。

大体上，电路系统具有显示部分、报警部分、外围信号隔离控制部分、电源电路部分等。

在本实施例中，电路系统包括电路板以及匹配安装在电路板的电源、显示部分、报警部分、隔离部分。

电源被配置来为显示部分、报警部分提供电能。电源是用以提高、调度电能供给的部分。

电源可以采用开光电源作为供电电源。开光电源的输出电压、电流等电学参数可以被根据需要而自由地选择，且其各种电学参数的可控性也较高。在其他的一些示例中，电源采用市电作为供电电源，相应地，箱体26 设置有交流电源输入接口23。由于市电具有相对较高的电压，因此，基于用电的安全性等因素考量，匹配于市电供电方式，注入机传片报警装置还可具有开关电源28作为稳压器，进一步地还可以通过与保护电路21的结合更好地稳定输入电压。开关电源28被配置来将转变市电为注入机传片报警装置中的用电器件适用的稳定电源。开关电源28是一种能够控制开关管开通和关断的时间比率，维持稳定输出电压的一种电源。开关电源可以采用市售各种设备。

另外，为了便于控制注入机传片报警装置，注入机传片报警装置还包括用于切断或恢复供电电源工作的电源开关22。电源开关可以是按钮、拨杆、旋钮等现有的开关实现形式。电源开关可以使电源处于停止状态，从而停止向各个用电设备、电气元器件供电。另一方面，电源开关还可以使电源处于工作状态，从而持续向各个用电设备、电气元器件供电。

显示部分被配置来分别对应匹配地显示多个注入机的机台代码。机台代码可以有多种呈现方式，并且依次具有其对应的结构和各种电子元器件的构成。

例如，显示部分为与多个注入机一一对应的指示灯。在这样的示例中，每个注入机对应一个指示灯。机台代码包括用于指示指示灯处于工作的具有点亮状态和处于非工作的熄灭状态，其中，点亮状态对应于相应的注入机完成注入完结或传片动作异常。因此，当指示灯被点亮时，则对应于该被点亮的指示灯的注入机发出了报警信息。各个指示灯被根据注入机被编号。例如，与1号注入机对应的指示灯被以1号进行编号。本实施例中，注入机具有12台，分别被编号为1，2，3，4至12#；对应指示灯被依次按照①、②、③、④至当然，如果注入机有其他编号形式，对应指示灯也可以被以相应的方式进行编号。指示灯作为一种示例被选择为LED灯25。

在另一些示例中，显示部分可以被选择为显示器。显示器能够在注入机完成注入完结或传片动作异常时对应显示注入机的代号。简言之，当注入机产生报警信号时，可以通过显示器上突出地显示相应的提示信息，以标示特定注入机产生了报警信号。显示器直接显示产生告警信息的注入机的编号，如当无注入机产生报警信号时，显示器无显示信息；当存在注入机产生报警信号时，显示器可以显示对应的注入机的编号，如1号、2号等等。

报警部分被配置来注入机完成注入完结或传片动作异常时发出告警信息。报警部分可以是声、光、震动、气味等方式作为可选的具体呈现方式。在本实施例中，报警部分设置是声音报警器，声音报警器为蜂鸣器27。蜂鸣器能够在显示部分产生机台代码时发出声音以提醒操作员。在其他的示例中，报警部分还可以是喇叭，并且可以发出特定的声音，如以语音的方式呈现1号注入机发出报警信息。

隔离部分利用继电器隔离注入机的电路和注入机传片报警装置的电路，并将开关信号反馈给传片报警装置。另外，各注入机隔离部分相互独立，互补干扰。报警装置在隔离部分反馈相应的报警信息时，显示部分将显示相应的注入机编号，同时报警部分发出警报。

注入机的报警信号可以通过取样设备(箱体26设置有报警信号取样接口24)由注入机终端传片系统引出，经由信号隔离部分，将各注入机报警信号汇总后连入集中报警装置。

电路系统的结构可参见图3。图中F1、2A表示额定电流值为2A的快速保险丝。S1表示电源开关。R1、1K表示阻值为1K欧姆的电阻。D1、 LED表示编号为1的LED灯。A1至A12分别一一对应于表示12个注入机的相应的数据通信链路。

220V的交流市电电源通过J1插座后，通过保护电路、电源开关、开关电源输入端，经开关电源转变为24V直流电，给各个控制单元供电。报警信号取样线通过J2插座进入集中报警装置相应的通道，如有相应的报警信号触发，则点亮相对应的LED灯，并使蜂鸣器报警。

进一步地，在本实施例中，还提出了一种注入机传片报警系统，其包括机架和注入机传片报警装置。机架可以是采用金属材料通过焊接构成的框架结构，或者结合板材固定制作而成。注入机传片报警装置可通过箱体与机架连接。例如，箱体焊接耳板，在通过螺栓与设置有螺孔的机架连接。

注入机传片报警装置可以被固定地安装在适当的位置，操作员可以直接在该位置进行值守，通过报警装置具体报警情况，对应操作注入机。为了更灵活地进行操作，如此，根据报警情况处理注入机时，操作员仍然能够及时地了解新的报警情况，而不必通过回到注入机传片报警装置的安装位置来获得报警信息。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。