一种微波等离子蚀刻机的制作方法

本实用新型涉及一种蚀刻机，具体是一种微波等离子蚀刻机。

背景技术：

等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

现有的蚀刻机内部结构固定，无法实现自动的上下料，操作自动化程度低，设备的结构不够紧凑，体积大，配气不均匀。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种微波等离子蚀刻机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种微波等离子蚀刻机，主要包括外框、供气泵、负极板、y轴滑台、x轴滑台、z轴滑台、电磁阀和正极板，所述外框内侧中部嵌设固定安装有左右对称的z轴滑台，z轴滑台上方装配滑动安装有滑板，滑板顶端固定安装有x轴滑台，x轴滑台顶端侧壁滑动装配有y轴滑台，y轴滑台相对一侧装配安装有左右对称的气管，气管底端开口处固定安装有滑套，滑套内侧滑动安装有吸盘，吸盘顶端固定安装有弹簧，弹簧顶端固定连接滑套顶端内壁，所述滑板顶端边缘处固定安装有气泵，气泵的进气口通过管道与气管导通，所述外框前侧上部装配安装有闸门，闸门四周侧壁固定安装有密封胶条，所述外框前侧下部固定安装有传送带，所述外框内侧后部固定安装有负极板，所述外框内侧上部固定安装有隔板，隔板中部固定安装有网孔板，网孔板顶端固定安装有正极板，正极板边缘处固定安装有配气管，所述外框左侧外壁固定安装有供气泵，供气泵后端固定安装有电磁阀，电磁阀右端通过管道与配气管左侧壁导通，所述外框后侧壁固定安装有储气罐，储气罐左端通过管道与电磁阀后端开口导通，所述储气罐右端与外部加压供气设备导通，电磁阀左端开口通过管道与外部大气导通，所述外框顶端固定安装有警报灯。

作为本实用新型进一步的方案：所述传送带位于z轴滑台前侧下方。

作为本实用新型再进一步的方案：所述闸门采用上下竖直开闭方式，所述闸门中部固定安装有透视板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述z轴滑台采用密封滑台。

作为本实用新型再进一步的方案：所述警报灯、传送带、闸门、供气泵、负极板、y轴滑台、x轴滑台、气泵、z轴滑台、电磁阀和正极板与外部电源及外部控制设备电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在结构上设计合理，内部结构灵活，可以实现自动的上下料，且柔性结构保证产品的搬运稳定安全，避免下落距离过长造成损坏，设备的结构紧凑，配气均匀。

附图说明

图1为微波等离子蚀刻机的结构示意图。

图2为微波等离子蚀刻机内部的俯视示意图。

图3为微波等离子蚀刻机中外框、配气管、网孔板、正极板和负极板之间的结构示意图。

图4为微波等离子蚀刻机中外框、x轴滑台、y轴滑台、z轴滑台和负极板之间的结构示意图。

图中：外框1、警报灯2、传送带3、闸门4、供气泵5、负极板6、y轴滑台7、储气罐8、x轴滑台9、气管10、滑板11、气泵12、z轴滑台13、电磁阀14、隔板15、配气管16、正极板17、网孔板18、吸盘19、滑套20、弹簧21。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种微波等离子蚀刻机，主要包括外框1、供气泵5、负极板6、y轴滑台7、x轴滑台9、z轴滑台13、电磁阀14和正极板17，所述外框1内侧中部嵌设固定安装有左右对称的z轴滑台13，z轴滑台13上方装配滑动安装有滑板1，滑板11顶端固定安装有x轴滑台9，x轴滑台9顶端侧壁滑动装配有y轴滑台7，y轴滑台7相对一侧装配安装有左右对称的气管10，气管10底端开口处固定安装有滑套20，滑套20内侧滑动安装有吸盘19，吸盘19顶端固定安装有弹簧21，弹簧21顶端固定连接滑套20顶端内壁，所述滑板11顶端边缘处固定安装有气泵12，气泵12的进气口通过管道与气管10导通，所述外框1前侧上部装配安装有闸门4，闸门4四周侧壁固定安装有密封胶条，所述外框1前侧下部固定安装有传送带3，所述外框1内侧后部固定安装有负极板6，所述外框1内侧上部固定安装有隔板15，隔板15中部固定安装有网孔板18，网孔板18顶端固定安装有正极板17，正极板17边缘处固定安装有配气管16，所述外框1左侧外壁固定安装有供气泵5，供气泵5后端固定安装有电磁阀14，电磁阀14右端通过管道与配气管16左侧壁导通，所述外框1后侧壁固定安装有储气罐8，储气罐8左端通过管道与电磁阀14后端开口导通，所述储气罐8右端与外部加压供气设备导通，电磁阀14左端开口通过管道与外部大气导通，所述外框1顶端固定安装有警报灯2。

所述传送带3位于z轴滑台13前侧下方。

所述闸门4采用上下竖直开闭方式，所述闸门4中部固定安装有透视板。

所述z轴滑台13采用密封滑台。

所述警报灯2、传送带3、闸门4、供气泵5、负极板6、y轴滑台7、x轴滑台9、气泵12、z轴滑台13、电磁阀14和正极板17与外部电源及外部控制设备电性连接。

本实用新型的工作原理是：

本实用新型涉及一种微波等离子蚀刻机，将显影后的线路板放置在负极板6上，通过正极板17和供气泵5提供电离反应的酸性气体和电离场，进行蚀刻，网孔板18和配气管16提供均匀分布的反应气体，且蚀刻前后，通过闸门4将外框1内部密封，通过电磁阀14将供气泵5与外框1内部导通，为加工腔抽真空，蚀刻前抽真空是为了提供洁反应净空间，蚀刻中电磁阀14配合外部加压设备将储气罐8内部的酸性气体储蓄的充入外框1内部，蚀刻后抽真空是为了内部空间挥发物质排放彻底，在供气泵5的前端出口装配废气回收设备，避免污染，且装置带有三自由度的自动上料结构，配合气动吸附设备，可以将传送带上的产品放入设备内部，将生产后的产品从内部取出放上传送带，且在真空取料时，将滑套20内部空气抽走，弹簧21会被压缩，使得吸盘19更靠上，避免运输时发生碰撞，在气管10进气进行产品下放时，弹簧21会先伸长，此时线路板更加靠近负极板或者传送带，避免下落距离过长造成损坏，柔性结构保证产品的搬运稳定安全。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。