导电薄膜结构的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种导电薄膜结构，且特别是涉及一种具有导电网眼图案的导电薄膜 结构。
【背景技术】
[0002] 目前主要的触控感测装置中，大多使用钢锡氧化物（IT0)薄膜制作透明导电感测 层。然而，钢锡氧化物薄膜的制作工艺温度无法达到太高，因此其阻抗无法降至很低，所W 当大面积的钢锡氧化物薄膜应用于大尺寸的感测装置时，大面积的钢锡氧化物薄膜所产生 的阻抗会无法与其对应的集成电路做搭配，高面电阻会使得感测装置的感测灵敏性降低。 再者，钢锡氧化物薄膜具有脆性，在弯曲时容易发生碎裂，不仅对其导电性会有不好的影 响，也不适合应用于具有弯曲性的软性装置。此外，钢为稀有材料，价格高昂，也不利于成本 的管控。
[0003] 因此，如何提供一种具有良好特性的触控感测装置的导电薄膜，为相关业者努力 的课题之一。
【发明内容】
[0004] 本
【发明内容】
有关于一种导电薄膜结构。实施例的导电薄膜结构中，经由导电网眼 图案的导线的厚度不同于导电连接部的厚度的设计，使得导线和导电连接部具有不同的光 穿透率和反射率，进而改善整体的可视性。
[0005] 根据本
【发明内容】
的一实施例，提出一种导电薄膜结构。导电薄膜结构包括一基板 W及一导电网眼图案（metal mesh)。导电网眼图案设置于基板上。导电网眼图案包含有多 条导线及多个导电连接部，其中该多个导电连接部将该多条导线互相连接而构成该导电网 眼图案。导线具有一第一厚度，导电连接部具有一第二厚度，第一厚度不同于第二厚度。
[0006] 根据本
【发明内容】
的另一实施例，提出一种触控面板。触控面板包括一基板W及一 触控电极。触控电极设置于基板上。触控电极由一导电网眼图案形成，导电网眼图案包括 多条导线和多个导电连接部，其中多个导电连接部将多条导线互相连接而构成导电网眼图 案。导线具有一第一厚度，导电连接部具有一第二厚度，第一厚度不同于第二厚度。
[0007] 为了对本发明的上述及其他方面有更佳的了解，下文特举较佳实施例，并配合所 附附图，作详细说明如下：
【附图说明】
[0008] 图1为本
【发明内容】
一实施例的导电薄膜结构的上视图；
[0009] 图2A为本
【发明内容】
一实施例的导电薄膜结构的局部上视图；
[0010] 图2B为沿图2A的剖面线2B-2B'的剖面示意图。
[0011] 符号说明
[001引 10;导电薄膜结构
[0013] 100 ;基板
[0014] 200;导电网眼图案 [00巧]210;导线
[001引 230;导电连接部 [0017] T1 ;第一厚度 [001引 T2;第二厚度
[0019] W1 ;第一宽度
[0020] W2 ;第二宽度
[0021] 2B-2B';剖面线
【具体实施方式】
[0022] 根据本
【发明内容】
的实施例，导电薄膜结构中，经由导电网眼图案的导线的厚度不 同于导电连接部的厚度的设计，使得导线和导电连接部具有不同的光穿透率和反射率，进 而改善整体的可视性。W下参照所附附图详细叙述本
【发明内容】
的实施例。附图中相同的标 号用W标示相同或类似的部分。需注意的是，附图已简化W利清楚说明实施例的内容，实施 例所提出的细部结构仅为举例说明之用，并非对本
【发明内容】
欲保护的范围做限缩。具有通 常知识者当可依据实际实施态样的需要对该些结构加W修饰或变化。
[0023] 图1绘示本
【发明内容】
一实施例的导电薄膜结构10的上视图，图2A绘示本发明内 容一实施例的导电薄膜结构10的局部上视图，图2B绘示沿图2A的剖面线2B-2B'的剖面 示意图。请参照图1~图2B，导电薄膜结构10包括基板100 W及导电网眼图案（metal mesh) 200。导电网眼图案200设置于基板100上，导电网眼图案200包括多条导线210和 多个导电连接部230,其中多个导电连接部230将多条导线210互相连接而构成该导电网眼 图案200。导线210具有第一厚度T1，导电连接部230具有第二厚度T2,第一厚度T1不同 于第二厚度T2。由于此两者厚度T1和T2的不同，使得导线210和导电连接部230具有不 同的光穿透率和反射率，进而改善整体的可视性。需注意的是，附图中的第一厚度T1和第 二厚度T2的尺寸比例并非按照实际产品等比例绘制，仅用W清楚说明实施例的内容，因此 并非作为限缩本
【发明内容】
的保护范围之用。
[0024] 实施例中，导电网眼图案200可W经由例如是凹版印刷、灰阶光罩或纳米压印的 方式制作而成，且可W采用平面式制作工艺或卷对卷制作工艺。
[0025] 在一实施例中，如图2A的上视图中所示，很可能因为制作过程中的显影蚀刻不完 全，使得导电连接部230的单位面积会大于导线210的单位面积，且导电连接部230的第二 宽度W2会大于金属导线210的第一宽度W1，因此导电连接部230会因为具有较大光反射 面积而有可视性的问题。在一实施例中，导线210的宽度可为1~20微米（ym)，较佳为 3~10微米（ym)。导电连接部230的宽度至少大于导线210的宽度的V 2倍，且导电连 接部230的平面形状大致上为一边缘内凹的矩形。本
【发明内容】
的实施例将导电连接部230 的第二厚度T2小于金属导线210的第一厚度T1，除了可W提高导电网眼图案200的整体的 光穿透率，还同时能降低导电网眼图案200的反射率，使得导电网眼图案200的显色较不明 显，进而改善具有较大宽度的导电连接部200处的可视性的问题。换言之，相较于整体厚度 (导电连接部230的厚度及导线210的厚度）全面一致且具有大面积导电连接部的导电网 眼图案，大面积导电连接部造成的开口率下降、光穿透率下降及高反射率的问题均可w获 得大幅的改善。
[0026] 值得注意的是，在导电连接部230的第二厚度T2小于导线210的第一厚度T1的 实施例中，导电连接部230的第二厚度T2也应具有一最小值，并非可W无限制地减小。当 导电连接部230的第二厚度T2小于导线210的第一厚度T1时，导电连接部230仍须保有 一定的厚度使得金属网200可具有预定的导电性。
[0027] -实施例中，导线210的第一厚度T1相对于导电连接部230的第二厚度T2的比 例例如是2:1~50:1的范围之间。举例来说，当导线210的第一厚度T1为200纳米（nm)， 则导电连接部230的第二厚度T2可为4~100纳米（nm)。然实际应用时，第一厚度T1和 第二厚度T2的数值范围也视应用状况作适当选择，并不W前述数值范围为限。
[002引一实施例中，导电连接部230的第二厚度T2例如是5~150纳米（nm)。
[0029] -实施例中，导线210的第一厚度T1和导电连接部230的第二厚度T2的差值例 如是50~2000纳米（nm)。另一实施例中，W导电网眼图案200的材质为银金属为例，当导 线210的第一厚度T1为200纳米，导电连接部230的第二厚度T2例如可W是20~100纳 米，此两者的差值则是100~180纳米。然实际应用时，导电网眼图案200的材质、第一厚 度T1和第二厚度T2的数值范围也视应用状况作适当选择，并不W前述材质及数值范围为 限。
[0030] 实施例中，导电网眼图案200的材质为导电性金属。举例来说，金属网200的材质 可W包括银、铜、铅和钢等的至少其中之一。
[0031] 实施例中，基板100例如是可挽式基板或玻璃基板。
[0032] 一实施例中，本
【发明内容】
所述的导电薄膜结构例如可应用于触控面板，触控面板 包括一基板W及一触控电极，触控电极设置于基板上。实施例中，触控电极例如是由前述的 导电网眼图案200形成，导电网眼图案200的导线具有一第一厚度，导电网眼图案200的导 电连接部具有一第二厚度，第一厚度不同于第二厚度。
[0033] W下就实施例作进一步说明。W下列出一实施例的导电网眼图案200的材质、尺 寸及模拟结果。然而W下的实施例仅为例示说明之用，而不应被解释为本
【发明内容】
实施的 限制。
[0034] 表1列示W银金属作为导电网眼图案200的材质，令阻抗维持定值所得到的第二 厚度T2相对于反射率的模拟结果。如表1所示的实施例中，导线210的第一宽度化为8 微米（y m)，交叉部分230的第二宽度W2为36微米，导线210的第一厚度T1为200纳米。 [00巧] 表1
[0036]
[0037]
【主权项】
1. 一种导电薄膜结构，包括： 基板拟及 导电网眼图案（con化ctive mesh pattern),设置于该基板上，其包括多条导线和多个 导电连接部，其中该多个导电连接部将该多条导线互相连接而构成该导电网眼图案， 其中该些导线具有第一厚度，该些导电连接部具有第二厚度，该第一厚度不同于该第 二厚度。
2. 如权利要求1所述的导电薄膜结构，其中该第一厚度大于该第二厚度。
3. 如权利要求2所述的导电薄膜结构，其中该第一厚度相对于该第二厚度的比例为 2:1~50:1且不等于1。
4. 如权利要求1所述的导电薄膜结构，其中该第一厚度和该第二厚度的差值为50~ 2000 纳米（nm)。
5. 如权利要求1所述的导电薄膜结构，其中该第二厚度为20~2000纳米（nm)。
6. 如权利要求1所述的导电薄膜结构，其中该导线的宽度为1~20微米（ym)。
7. 如权利要求1所述的导电薄膜结构，其中该导电连接部的宽度大于该导线的宽度的 V 2倍。
8. 如权利要求1所述的导电薄膜结构，其中该导电连接部的平面形状大致上为一边缘 内凹的矩形。
9. 一种触控面板，包括： 基板拟及 触控电极，设置于该基板上，其中该触控电极由一导电网眼图案形成，该导电网眼图案 包括多条导线和多个导电连接部，其中该多个导电连接部将该多条导线互相连接而构成该 导电网眼图案，其中该导线具有一第一厚度，该导电连接部具有一第二厚度，该第一厚度不 同于该第二厚度。
【专利摘要】本发明公开一种导电薄膜结构。导电薄膜结构包括一基板以及一导电网眼图案(conductive mesh pattern)。导电网眼图案设置于基板上。导电网眼图案具有多条导线及多个导电连接部，其中多个导电连接部将多条导线互相连接而构成该导电网眼图案。导线具有一第一厚度，导电连接部具有一第二厚度，第一厚度不同于第二厚度。
【IPC分类】H01B1-02, H01B5-14, G06F3-041
【公开号】CN104637573
【申请号】CN201310573924
【发明人】许育纯
【申请人】群创光电股份有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2013年11月15日