电熔丝结构及半导体器件的制作方法_3

文档序号:8341242阅读:来源:国知局
[0083]在本实施例的技术方案中,结合图6所示,向电熔丝200通入电流Il的方式可以参考第一实施例,在此不再赘述。可以通过以下方式向加热结构400的输入端通入电流12:位于电熔丝200上方的两个第一加热单元412中,其中一个第一加热单元412被施加电压VP,另一个第一加热单元412与晶体管620的漏极电连接,且晶体管620的栅极被施加电压VG、源极接地。
[0084]作为本实施例的变换例,也可以将位于电熔丝200上方的两个第一加热单元412的位置、与位于电熔丝200下方的一个第一加热单元411的位置进行对调。在这种情况下,向加热结构400通入电流12的方式可以不变。
[0085]第三实施例
[0086]第三实施例与第一实施例之间的区别在于:在第三实施例中,结合图9至图11所示,位于电熔丝200下方的第一加热单元413包括:首尾依次连接、并呈直线状的加热部4131、加热部4132、加热部4133、加热部4134和加热部4135,其中,加热部4133、加热部4131、加热部4135相互平行,且加热部4131和加热部4135位于一条直线上,加热部4132与加热部4131互成90度,加热部4134和加热部4135互成90度。
[0087]位于电熔丝200上方的第一加热单元414形状与第一加热单元413相同。第一加热单元414包括:首尾依次连接、并呈直线状的加热部4141、加热部4142、加热部4143、力口热部4144和加热部4145,其中,加热部4143、加热部4141、加热部4145相互平行,且加热部4141和加热部4145位于一条直线上,加热部4142与加热部4141互成90度,加热部4144和加热部4145互成90度。
[0088]第一加热单元413的加热部4132、第一加热单元414的加热部4142在衬底100上表面上的投影,均与第二加热单元423在衬底100上表面上的投影重叠,且加热部4132和加热部4142均通过导电插塞500与第二加热单元423电连接。
[0089]第一加热单元413的加热部4134、第一加热单元414的加热部4144在衬底100上表面上的投影,均与第二加热单元424在衬底100上表面上的投影重叠,且加热部4134和加热部4144均通过导电插塞500与第二加热单元424电连接。
[0090]第一加热单元413的加热部4133、第一加热单元414的加热部4143,在衬底100上表面上的投影重叠,并与熔丝210的熔断区211在衬底100上表面上的投影交叠,且加热部4133和加热部4143横跨熔丝210。
[0091]需说明的是,虽然图11中第一加热单元413的相邻两个加热部、以及第二加热单元414的相邻两个加热部之间用虚线隔开,但是实际上第一加热单元413和第二加热单元414的相邻两个加热部均是一体成型。
[0092]在本实施例的技术方案中,向电熔丝200通入电流的方式、以及向加热结构400通入电流的方式均可以参考第一实施例,在此不再赘述。
[0093]第四实施例
[0094]第四实施例与第一实施例之间的区别在于:在第四实施例中,结合图12至图14所示,位于电熔丝200下方的第一加热单元415包括:首尾依次连接、并呈直线状的加热部4151、加热部4152、加热部4153、加热部4154和加热部4155,其中,加热部4153、加热部4151、加热部4155相互平行,且加热部4151、加热部4155分别位于加热部4153的相对两侧;加热部4152与加热部4151互成90度,加热部4154和加热部4155互成90度,且加热部4152、加热部4154分别位于加热部4153的相对两侧。
[0095]位于电熔丝200上方的第一加热单元416形状与第一加热单元415相同。第一加热单元416包括:首尾依次连接、并呈直线状的加热部4161、加热部4162、加热部4163、力口热部4164和加热部4165,其中,加热部4163、加热部4161、加热部4165相互平行,且加热部4161、加热部4165分别位于加热部4163的相对两侧;加热部4162与加热部4161互成90度,加热部4164和加热部4165互成90度,且加热部4162、加热部4164分别位于加热部4163的相对两侧。
[0096]其中,第一加热单元415的加热部4152、第一加热单元416的加热部4162在衬底100上表面上的投影,均与第二加热单元425在衬底100上表面上的投影重叠,且加热部4152和加热部4162均通过导电插塞500与第二加热单元425电连接。
[0097]第一加热单元415的加热部4154、第一加热单元416的加热部4164在衬底100上表面上的投影,均与第二加热单元426在衬底100上表面上的投影重叠,且加热部4154和加热部4164均通过导电插塞500与第二加热单元426电连接。
[0098]第一加热单元415的加热部4153、第一加热单元416的加热部4163,在衬底100上表面上的投影重叠,并与熔丝210的熔断区211在衬底100上表面上的投影交叠,且加热部4153和加热部4163横跨熔丝210。
[0099]需说明的是,虽然图14中第一加热单元415的相邻两个加热部、以及第二加热单元416的相邻两个加热部之间用虚线隔开,但是实际上第一加热单元415和第二加热单元416的相邻两个加热部均是一体成型。
[0100]在本实施例的技术方案中,向电熔丝200通入电流的方式、以及向加热结构400通入电流的方式均可以参考第一实施例,在此不再赘述。
[0101]第五实施例
[0102]第五实施例与第三实施例之间的区别在于:在第五实施例中,结合图15至图17所示,位于电熔丝200下方的第一加热单元413还包括:与加热部4131连接、并互成90度的加热部4136,加热部4136与加热部4132正对设置;与加热部4135连接、并互成90度的加热部4137,加热部4137与加热部4134正对设置。加热部4136和加热部4137均呈直线状。
[0103]位于电熔丝200上方的第一加热单元414还包括:与加热部4141连接、并互成90度的加热部4146,加热部4146与加热部4142正对设置;与加热部4145连接、并互成90度的加热部4147,加热部4147与加热部4144均呈直线状、并正对设置。
[0104]第一加热单元413的加热部4136、第一加热单元414的加热部4146在衬底100上表面上的投影,均与第二加热单元423在衬底100上表面上的投影重叠,且加热部4136和加热部4146均通过一个以上(图中以三个导电插塞为例)的导电插塞500与第二加热单兀423电连接,使得第一加热单元413和第一加热单元414的一端短接。
[0105]第一加热单元413的加热部4137、第一加热单元414的加热部4147在衬底100上表面上的投影,均与第二加热单元424在衬底100上表面上的投影重叠,且加热部4137和加热部4147均通过一个以上(图中以三个导电插塞为例)的导电插塞500与第二加热单元424电连接,使得第一加热单元413和第一加热单元414的另一端短接。换言之,在本实施例的技术方案中,第一加热单元413的两端、分别与第一加热单元414的两端短接。
[0106]第一加热单元413的加热部4133、第一加热单元414的加热部4143,在衬底100上表面上的投影重叠,并与熔丝210的熔断区211在衬底100上表面上的投影交叠,且加热部4133和加热部4143横跨熔丝210。
[0107]需说明的是,虽然图17中第一加热单元413的相邻两个加热部、以及第二加热单元414的相邻两个加热部之间用虚线隔开,但是实际上第一加热单元413和第二加热单元414的相邻两个加热部均是一体成型。
[0108]在本实施例的技术方案中,结合图6所示,向电熔丝200通入电流Il的方式可以参考第一实施例,在此不再赘述。可以按照以下方式向加热结构400的输入端通入电流12:第一加热单元413的一端被施加电压VP,另一端与晶体管620的漏极电连接,且晶体管620的栅极被施加电压VG、源极接地。或者,也可以按照以下方式向加热结构400通入电流12:第二加热单元414的一端被施加电压VP,另一端与晶体管620的漏极电连接,且晶体管620的栅极被施加电压VG、源极接地。
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