度与期望的RI相关联。
[0072]在一些实施例中，包含Zn离子的碱溶液和包含Zn离子的另一碱溶液均包括NH3或NH4OH碱溶液中的游离的Zn2+/0H-化学成分。
[0073]还提供了太阳能电池。该太阳能电池包括:包括吸收层和位于吸收层上方的TCO(透明导电氧化物)层的太阳能电池子结构；设置在太阳能电池的TCO层上方且包括多个ZnO纳米棒的ARC (抗反射涂层)，ZnO纳米棒具有介于约200nm至约900nm的范围内的长度、介于约40nm至60nm的范围内的直径和约1.0g/cm2至约103g/cm2的密度；以及设置在ARC上方的另一 ARC，该另一 ARC包括多个ZnO纳米棒，该ZnO纳米棒具有在约200nm至约900nm的范围内的长度和在约40nm至60nm的范围内的直径，其中，ARC和另一 ARC具有不同的折射率且每个均具有小于约1.5的折射率。
[0074]在一些实施例中，吸收层包括黄铜矿基吸收层，TCO包括AZO (掺铝ZnO)且ARC的折射率小于另一 ARC的折射率。
[0075]在一些实施例中，太阳能电池子结构进一步包括位于TCO层上方的防护玻璃，且ARC形成在防护玻璃上。
[0076]在一些实施例中，太阳能电池子结构进一步包括位于TCO层上方的防护玻璃，且ARC形成在TCO层上且另一 ARC层形成在防护玻璃上。
[0077]前面仅示出了本发明的原理。因此，应该理解，尽管在本文中没有明确描述或示出各种布置，但是本领域普通技术人员将能够设计出实现本发明的原理并包括在其精神和范围内的各种布置。此外，本文引用的所有实例和条件语言都主要明确旨在仅是为了教导的目的和帮助读者理解本发明的原理和由发明人所贡献的概念以促进本领域发展，并且应解释为不限于这些具体引用的实例和条件。此外，本文中引用本发明的原理、方面和实施例以及其具体实例的所有声明都旨在包括其结构和功能等同。此外，预期这些等同包括目前已知的等同以及将来开发的等同，即，不管其结构如何，开发的执行相同功能的任何元件。
[0078]该示例性实施例的描述旨在结合附图的图进行阅读，附图被认为是整个书面说明书的一部分。在说明书中，诸如“下部”、“上部”、“水平的”、“垂直的”、“之上”、“之下”、“向上”、“向下”、“顶部”和“底部”及其派生词(例如，“水平地”、“向下地”、“向上地”等)的相对术语应被解释为是指如随后讨论的附图中所描述或者所示出的方位。这些相对术语是为了便于描述，并不要求装置以特定方位进行构造或操作。除非另有明确描述，否则关于连接、耦合等(诸如“连接”和“互连”)的术语是指结构之间彼此直接或通过中间结构间接地固定或连接的关系以及双方均为可移动或刚性的连接或关系。
[0079]尽管根据示例性实施例描述了本发明，但本发明不限于此。相反，所附权利要求应作广义地解释，以包括本领域技术人员在不背离本发明的等同的范围的情况下可以作出的本发明的其他变型例和实施例。
【主权项】
1.一种用于在太阳能电池上形成抗反射涂层的方法，所述方法包括: 提供具有TCO GS明导电氧化物)层和位于所述TCO层上方的防护玻璃的太阳能电池；以及通过使所述太阳能电池与包含Zn离子的碱溶液接触且保持所述溶液的温度在约50°C至100°C的范围内来形成ARC (抗反射涂层)。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述包含Zn离子的碱溶液包括HMT([CH2J6NH4)和游离的Ζη2+/0Η_化学成分。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述接触包括将所述太阳能电池浸在所述溶液中且所述游离的Ζη2+/0Η_化学成分包括Zn(NO3)2.6Η20。
4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述游离的Ζη2+/0Η_化学成分包括ZnCl2、Zn(NO3)2和ZnSO4中的至少一种。
5.根据权利要求2所述的方法，其中，所述包含Zn离子的碱溶液包括混合摩尔浓度在约0.0lM至0.1M的范围内的所述HMT ([CH2J6NH4)和所述游离的Ζη2+/0Η_化学成分。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述TCO包括AZO(ZnO:Al), GZO (ZnO = Ga)和BZO (ZnO:B)中的一种，所述溶液具有介于约0.0lM和0.1M之间的摩尔浓度，且所述形成包括保持所述温度在约70°C至90°C的范围内。
7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述包含Zn离子的碱溶液包括摩尔浓度在约0.0lM至0.1M的范围内的NH3或NH4OH碱溶液。
8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述提供进一步包括提供介于所述TCO和所述ARC之间的EVA (乙基醋酸乙烯)膜。
9.一种用于形成太阳能电池的方法，所述方法包括: 提供具有TCO (透明导电氧化物)层的太阳能电池； 确定将要形成在所述太阳能电池上的ARC (抗反射涂层)的期望RI (折射率)； 制备包含Zn离子的碱溶液，所述碱溶液具有约0.0lM至约0.1M的摩尔浓度且与所述期望RI相关联； 通过将所述太阳能电池浸在所述碱溶液中且保持所述碱溶液的温度在约70°C至90°C的范围内来形成所述ARC ； 制备包含Zn离子的另一碱溶液，所述另一碱溶液具有约0.0lM至约0.1M的另一摩尔浓度且与另一 ARC的期望的另一 RI相关联；以及 通过将所述太阳能电池浸在所述另一碱溶液中且保持所述另一碱溶液的温度在约70°C至90°C的范围内来形成所述另一 ARC， 其中，所述RI与所述另一 RI不同。
10.一种太阳能电池，包括: 太阳能电池子结构，包括吸收层和位于所述吸收层上方的TCO (透明导电氧化物)层；ARC (抗反射涂层)，设置在所述太阳能电池的所述TCO层上方且包括多个ZnO纳米棒，所述多个ZnO纳米棒具有在约200nm至约900nm的范围内的长度、在约40nm至60nm的范围内的直径和在约1.0g/cm2至约103g/cm2的范围内的密度；以及 另一 ARC，设置在所述ARC上方，所述另一 ARC包括多个ZnO纳米棒，所述多个ZnO纳米棒具有在约200nm至约900nm的范围内的长度和在约40nm至60nm的范围内的直径， 其中，所述ARC和所述另一 ARC具有不同的折射率且均具有小于约1.5的折射率。
【专利摘要】本发明提供了使用湿化学工艺在太阳能电池上形成抗反射层的方法和具有由ZnO基纳米棒所形成的抗反射层的太阳能电池。在没有任何催化剂的化学溶液中生成自组装ZnO纳米棒。纳米棒形成为具有诸如六边形、方形、圆形的不同的截面形状。通过控制用于形成纳米棒的溶液的摩尔浓度控制纳米棒的直径和长度，来调整由纳米棒所形成的ARC层的折射率。建立折射率和溶液摩尔浓度之间的相关性且制备具有期望的摩尔浓度的溶液。纳米棒由HMT（[CH2]6NH4）和诸如Zn(NO3)2的游离的Zn2+/OH-化学物质形成。
【IPC分类】H01L31-18, H01L31-0216
【公开号】CN104716230
【申请号】CN201410061657
【发明人】吕维伦, 黄俊颖, 徐伟伦
【申请人】台积太阳能股份有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2014年2月24日
【公告号】US20150162459