平面显示装置用阵列基板的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及平面显示装置用阵列基板的制造方法。本发明特别涉及包括下述工序的平面显示装置用阵列基板的制造方法:在用于进行拼板(日语原文:多面取<9 multipleprinted panel)的母基板上，设置配线图案等格子状的图案，然后形成树脂膜。
【背景技术】
[0002]能够进行图像显示的平面显示装置通常包含显示面板及其驱动系统，显示面板包含阵列基板。在阵列基板上，在像素以矩阵状排列的显示区域内，具备每个像素点(亚像素，sub-pixel)的开关元件(通常为TFT)和像素电极以及沿着矩阵的行和列分别排列的扫描线及信号线。液晶显示装置用的显示面板在阵列基板与对置基板之间保持有液晶材料层，液晶材料层被密封材料从周围密封。另一方面，在有机EL显示装置用的阵列基板的情况下，在像素电极上配置阳极层、发光层和阴极层，并且以密封膜进行覆盖。在“围堰&填充(dam&fill) ”方式的情况下，阵列基板介由沿着周边部延伸的与密封材料相同的围堰材料以及填充在其内侧的填充材料与对置基板组合，由此形成显示面板。
[0003]对于平面显示装置用的阵列基板，进行在阵列基板的大致整个面上设置树脂膜的工序。上述树脂膜起到绝缘膜、平坦化膜和滤色器层中的至少任一种的作用，通常在形成构成开关元件、扫描线和信号线的配线图案后进行设置；在形成树脂膜后，通过成膜及布图来形成像素电极。
[0004]此外，在制造阵列基板时，通常以被称为母基板的大号基板的状态进行层叠膜、图案的形成，然后切出各个显示面板。在与对置基板组合的情况下，将阵列基板的母基板与对置基板的母基板组合，由此得到大号显示面板(称为“拼板用面板”)，然后切出各个显示面板。
[0005]专利文献I提出了下述方案:在以旋涂法来涂布用于形成树脂膜的树脂液时，为了减轻外部连接端子附近的涂布不均，在间隔宽的配线间配置虚设图案。通过这样配置虚设图案，树脂液的流动的阻力变得均匀，因此能够抑制涂布不均。另一方面，专利文献2提出了下述方案:根据树脂液的粘度来优化旋涂的转速，由此抑制涂布不均。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本特开2008-199048
[0009]专利文献2:日本特开2003-075868
【发明内容】
[0010]发明所要解决的问题
[0011]近年来，当在平面显示装置用的阵列基板上涂布树脂膜时，使用狭缝涂布法。狭缝涂布法为下述方法:从狭缝状的喷嘴孔喷出树脂液，并缓缓地使喷嘴或基板水平地移动，由此进行涂布。在狭缝涂布法的情况下，能够容易应对母基板的大型化，而且不需要旋转装置，从而能够减轻装置负担。
[0012]本申请的发明者们发现:当以狭缝涂布法从母基板的基板一端向基板另一端依次进行树脂液的涂布时，根据条件不同，涂布到配线图案上的膜的厚度在开始涂布的基板端的附近会产生不均。并且，在对其原因进行深入研宄时，本申请的发明者们发现:树脂液的流动性越低，越容易产生厚度不均。另外，本申请的发明者们还发现:其与涂布的开始部位是母基板中不具有配线图案的外周部有关。即，本申请的发明者们通过试验发现:在从配线图案的配置位置进行了涂布的情况下，涂布不均显著减轻，从而得到了本申请发明的构思。
[0013]本发明的目的在于:提供在基板上形成至少一层的配线图案层后以狭缝涂布法在基板上涂布树脂液来形成树脂膜的平面显示装置用基板的制造方法中能够降低涂布厚度的不均、降低树脂膜的厚度的不均的平面显示装置用基板的制造方法。
[0014]用于解决问题的手段
[0015]本发明的平面显示装置用阵列基板的制造方法的优选实施方案包括下述工序:在基板上的像素排列区域，设置以向一个方向延伸的方式排列的一系列配线；沿着与上述一系列配线交叉的方向，以狭缝涂布法在基板上涂布树脂液；以及使这样涂布后的树脂液固化，由此形成包覆上述一系列配线的树脂膜，其特征在于，以上述设置一系列配线的工序，预先在基板上的涂布开始部位设置以沿着上述一系列配线的延伸方向或涂布宽度方向延伸的方式排列的一系列虚设配线。
【附图说明】
[0016]图1是示意性地示出以一个实施方式的制造方法中的配线图案的形成工序在基板上的涂布开始部位形成了虚设配线图案的情况的立体俯视图。也同时示出水平棒状的狭缝喷嘴。
[0017]图2是示意性地示出以狭缝涂布法对图1的基板进行涂布的情况的一系列侧视图。
[0018]图3是比较例的与图2相对应的一系列侧视图。
[0019]图4是示出形成树脂膜之后的母基板的一个例子的层叠剖视图。
[0020]图5是示意性地示出涂布树脂液之前的母基板的主要部分的立体局部剖视图。
[0021]符号说明
[0022]I 虚设配线图案
[0023]10 母基板(形成树脂膜之前)
[0024]11 虚设配线
[0025]12 扫描线
[0026]12A来自扫描线的分支部
[0027]13 涂布开始部位
[0028]14 涂布进行方向
[0029]15 面板区域
[0030]16 预切断线
[0031]17 预除去的外周部
[0032]18 像素排列区域
[0033]19驱动-连接用配线区域
[0034]2像素点
[0035]21信号线
[0036]22TFT
[0037]23多晶硅图案
[0038]24岛状图案
[0039]25玻璃基板
[0040]25A、25B 第一及第二底涂层
[0041]26栅绝缘膜
[0042]27层间绝缘膜
[0043]28接触孔
[0044]3狭缝喷嘴
[0045]31喷嘴头
[0046]32树脂液
[0047]33鼓起部
[0048]35厚型树脂膜(平坦化膜)
[0049]36接触孔
[0050]4涂布宽度方向
【具体实施方式】
[0051]使用图1?2，对本发明的一个实施方式的平面显示装置用阵列基板的制造方法进行说明。图1示意性地示出在母基板10上的涂布开始部位设置了虚设配线图案I的情况。图2示意性地示出一边使狭缝喷嘴3以固定速度移动一边进行涂布的情况。图3示出与图2相对应的比较例。另外，图4示出形成树脂膜之后的母基板的一个例子；图5示意性地示出涂布树脂液之前的母基板10的主要部分。
[0052]如图1所示，在母基板10上，与各个显示面板相对应的面板区域15以矩阵状排列。在一系列成膜工序结束后，与对置基板组合，然后沿着预切断线16切断，由此切出各个显示面板。此时，母基板10的外周部17在切断后被废弃。在矩形的各面板区域15，存在一个矩形的像素排列区域18 ;各面板区域15的周边部是形成有驱动电路系统或与其连接的连接部以及各种输入用配线的驱动-连接用配线区域19。
[0053]在外周部17之中沿着矩形的母基板10的一边的部分，存在涂布开始部位13。这里，涂布开始部位13是指:在以狭缝涂布法进行涂布时，从喷嘴头31喷出的树脂液32与母基板10最先接触的部位。一边将喷嘴头31的前端开口部与母基板10的上表面之间的间隔保持为微小的固定间隔，一边使狭缝喷嘴3相对于母基板10移动，由此进行涂布。其中，固定间隔被设定为比与涂布厚度相对应的尺寸例如涂布时的规定厚度略小的尺寸。以狭缝涂布法进行的涂布特别是利用了下述作用:通过先