有机电致发光显示基板及其制作方法、显示装置的制造方法_2

文档序号:8906792阅读:来源:国知局
较浓,靠近边界的像素单元上方的挥发气氛较稀薄,导致越靠近边界的像素单元内的溶剂挥发地越快。
[0043]而在本发明中,像素界定层的堤坝21顶面上设置有沟槽,沟槽至少限定出一个框形区域。在框形区域内喷墨打印墨水之前,可以先向沟槽内喷墨打印与所述墨水中的溶剂的材料相同的溶剂。例如,在形成空穴注入层时,向沟槽内喷墨打印第一溶剂,向像素单元内喷墨打印由空穴注入层材料溶解在第二溶剂中形成的空穴注入层墨水,其中,所述第一溶剂和所述第二溶剂材料相同。因此,在沟槽限定出的框形区域内喷墨打印墨水时,由于沟槽内所容纳的溶剂材料与所述墨水中的溶剂材料相同,使得该框形区域的边界处与该框形区域内部的环境氛围相同,从而使得墨水中的溶剂蒸发掉后在该框形区域形成的膜层的厚度和致密度分布得更加均匀,进而提高衬底上膜层的整体均匀性,提高显示装置亮度的均匀性。
[0044]多个像素单元位于所述有机电致发光显示基板的显示区域内,像素界定层不仅包括形成在显示区域内的堤坝,也包括形成在显示区域周围的堤坝。本发明对沟槽22限定出的框形区域的形状不做限定。例如,沟槽22在显示区域四周围成一个框形区域,显示区域内所有的像素单元均位于这一个框形区域内,这种设置方式下,当喷墨打印的喷头宽度和显示区的宽度一致时,喷头沿显示区的长度方向一次性喷涂所有像素单元后,位于框形区域边界的像素单元的溶剂挥发速度和位于框形区域中部的像素单元的溶剂挥发速度相同,从而使得整个衬底上不同位置的成膜效果的一致性提高,防止显示图像时显示区的四周出现暗纹现象。
[0045]然而,在实际喷墨打印时,喷头的宽度通常小于显示区的宽度,不可能一次性向所有的像素单元中喷墨打印墨水,而是需要利用喷头进行多次喷墨打印,每次喷墨打印的区域的宽度与喷头的宽度一致。
[0046]相应地,如图1所示,在本发明中,沟槽22沿衬底10的长度或宽度方向限定出多个框形区域,所述框形区域的宽度与用于喷墨打印的喷头的宽度一致,喷墨打印时,喷头每次向一个框形区域内喷墨打印。由于墨水中的溶剂很容易挥发,喷头在下一次喷墨打印之前,上一次喷墨区域内的像素单元中的溶剂已经开始挥发,由于本发明中每个框形区域的边界处的沟槽内的也容纳有溶剂,使得每个框形区域内部的环境气氛和边界处的环境气氛一致性提高,从而使得每个框形区域内不同位置处的第二溶剂挥发速度的一致性提高,进而使得在框形区域内部的像素单元内和边界的像素单元内形成的膜层的厚度和致密度更加一致,防止显示面板显示画面时出现暗纹(swath mura)。
[0047]优选地,如图2和图3所示,所述沟槽限定出多个框形区域,框形区域的数量与像素单元的数量相同,每个框形区域内均设置有一个像素单元30。因此,对于任意一个像素单元30而言,其周围均分布有第一溶剂,使得像素单元30的内部和边界的环境气氛一致,从而像素单元的不同位置处的溶剂挥发速度一致,形成的膜层厚度和致密度分布地更均匀,减少了像素单元内咖啡环的产生,进而使得每个像素单元的发光效果更好。
[0048]具体地,在本发明中,沟槽22的深度在0.2?1.5 μπι之间,以使得沟槽内容纳溶剂后,沟槽限定出的区域内部和边界处的环境气氛更加一致,从而使得在区域内所有像素单元中形成的膜层厚度和致密度分布地更加均匀。
[0049]具体地,所述像素界定层的堤坝21的高度在0.5?2 μπι之间,以防止墨水在相邻像素单元之间流动,同时不会影响有机电致发光显示基板的厚度。
[0050]所述有机电致发光显示基板还包括设置在衬底10上的薄膜晶体管和像素电极(图中未示出)等结构。
[0051]作为本发明的另一方面,提供一种有机电致发光显示基板的制作方法,包括:
[0052]在衬底10上形成包括像素界定层的图形,其中,所述像素界定层包括形成在所述有机电致发光显示基板的显示区域四周以及显示区域内的纵横交错的多个堤坝21,多个堤坝21互相交错以限定多个像素单元;
[0053]在所述像素界定层的堤坝上形成沟槽22,其中,沟槽22至少限定出一个框形区域,每个所述框形区域内设置有至少一个像素单元;
[0054]向沟槽22内喷墨打印第一溶剂41 (如图4所示);
[0055]向所述像素单元内喷墨打印墨水42以形成有机电致发光件的膜层(如图5所示),其中,墨水42由待形成膜层的材料溶解于第二溶剂中制成,第一溶剂41的材料与所述第二溶剂的材料相同。
[0056]可以通过光刻构图工艺在衬底10上形成包括所述像素界定层的图形。具体包括:
[0057]形成制作所述像素界定层的像素界定材料层;所述像素界定材料层可以为无机材料层,如硅的氧化物层、硅的氮化物层等,也可以为有机材料层,如光刻胶层等。
[0058]当所述像素界定材料层为无机材料层时,所述形成包括像素界定层的图形的步骤还包括:在所述像素界定材料层上形成光刻胶层,对光刻胶层进行曝光并显影,以去除对应于像素单元的光刻胶;再通过刻蚀工艺将未覆盖光刻胶的像素界定材料层的部分刻蚀掉,最后,将剩余的光刻胶剥离,形成包括所述像素界定层的图形。
[0059]当所述像素界定材料层为光刻胶层时,所述形成包括像素界定层的图形的步骤还包括:对光刻胶层进行曝光并显影,以除去对应于像素单元的光刻胶,从而直接形成包括像素界定层的图形。
[0060]类似地,可以通过相同的光刻构图工艺在所述像素界定层的堤坝21的顶面上形成沟槽22。也可以采用一次光刻构图工艺同时形成像素界定层21和沟槽22。以制成所述像素界定层的材料为负性光刻胶为例,利用半色调掩膜板对光刻胶进行曝光,使得显影后对应于半色调掩膜板的不透光区的光刻胶被去除,对应于半色调掩膜板的半透光区和透光区的光刻胶保留,并且对应于半透光区的光刻胶的厚度小于对应于透光区的光刻胶的厚度,从而形成像素界定层的堤坝和位于堤坝顶面的沟槽。
[0061]在本发明中,向沟槽内喷墨打印第一溶剂的步骤和向所述像素单元内喷墨打印墨水的步骤的先后顺序不作特别限定,优选地,向沟槽内喷墨打印第一溶剂的步骤在所述像素单元内喷墨打印墨水的步骤之前进行,或者两个步骤同步进行。这样,在像素单元内喷墨打印墨水42后,墨水42中的第二溶剂挥发时,由于沟槽22内容纳有与第二溶剂材料相同的第一溶剂41,因此,位于该区域的边界位置的像素单元上方的环境氛围与该区域内部的像素单元上方的环境氛围一致,从而使得整个区域内的第二溶剂挥发速度更加均匀,进而使得第二溶剂蒸发后形成的膜层均匀性提高。
[0062]为了便于喷涂,使用第一喷头51向所述沟槽内喷墨打印第一溶剂41,使用第二喷头52向像素单元内喷墨打印墨水22。实际喷墨打印设备的喷头上设置有多个喷嘴,可以同时对多个像素单元内进行喷墨打印,图中的第一喷头51和第二喷头52仅为示意性说明,并不表示喷头的具体结构。
[0063]如上文中所述,随着大尺寸显示装置的发展,以及喷墨打印设备的限制,使得用于喷涂的喷头宽度达不到衬底的宽度,需要多次喷墨打印才可以将墨水喷墨打印至所有像素单元。具体地,沟槽22沿衬底10的长度或宽度方向限定出多个框形区域,每个所述框形区域的宽度与所述第二喷头的宽度一致,所述向像素单元内喷墨打印墨水的步骤包括:
[0064]利用第二喷头沿所述框形区域的长度方向向所述框形区域内的像素单元喷墨打印墨水。
[0065]由于沟槽22内容纳有第一溶剂41,因此可以使得框形区域边界处原本稀薄的环境氛围变得较浓,从而使得整个框形区域的环境氛围可以保持一致,从而使得框形区域内形成的膜层的厚度和致密性分布地更加均匀。
[0066]优选地,所述沟槽限定出多个框形区域,框形区域的数量与像素单元的数量相同,每个框形区域内均设置有一个像素单元。
[0067]进一步地,所述制作方法还包括在向像素单元内喷墨打印墨水的步骤之后进行的:对所述衬底进行烘烤,以蒸发掉第一溶剂41和墨水中的第二溶剂,从而在像素单元内形成膜层。
[0068]具体地,所述待形成膜层包括空穴注入层,所述墨水为空穴注入层材料溶
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