柔性显示器件及其制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种柔性显示器件及其制造方法。
【背景技术】
[0002]柔性显示器是一种制作在柔性载体(也称为柔性基板)上的，可变型或可弯曲的显示装置。由于柔性显示器具有高轻巧性、耐冲击性、可挠取性、可穿戴性、携带方便等特点，被誉为二十一世纪最具前途的产品之一，已经越来越多地受到人们的关注。
[0003]柔性显示器通常包括显示面板和用于驱动显示面板的外围电路，所述显示面板包括柔性基板、像素阵列和金属线，所述像素阵列和金属线均设置于所述柔性基板上，所述外围电路通过所述金属线与所述像素阵列的各个的像素单元实现电性连接，所述金属线包括交叉设置且相互独立的数据线和栅线。
[0004]柔性显示器在使用时需要挠曲一定曲率半径，甚至频繁弯折。柔性显示器发生形变时产生的应力会施加于金属线，金属线会面临断裂的危险。特别是数据线和栅线，由于其线宽非常小，而长度却很长，具有超高的长宽比，因此断裂的几率更大。随着弯折次数的增加，金属线容易出现断裂或多处微连接，导致柔性显示器无法正常显示。
[0005]为了提高柔性显示器的可靠性并延长柔性显示器的使用寿命，业界通常会对金属线的设计和制作方法加以改进。公开号为CN103700320A的中国专利申请，揭示了一种在金属线上设置洞孔以释放应力，从而延长金属线的使用寿命的方法。具体请参考图1，其为现有技术的柔性显示器的结构示意图。如图1所示，现有的柔性显示器10包括:柔性基板(图中未示出)和设置于所述柔性基板上的金属线，所述金属线包括交叉设置且相互独立的数据线I和栅线2，所述数据线I和栅线2限定的像素单元3内设置有像素电极4和作为像素电极开关的薄膜晶体管5，所述数据线I和/或栅线2上设有洞孔6。
[0006]当所述柔性显示器10在发生形变时，可以通过所述洞孔6释放应力。该方法虽然能够延长金属线的使用次数，提高柔性显示器的使用寿命，但是由于金属线的线宽本来就很小，在本就不宽的金属线上打孔会有较多的问题，主要表现为两个方面:一方面，对于光刻设备的要求非常高，工艺难度较大；另一方面，打孔会在金属线上产生打孔处，所述金属线在打孔处边缘的线宽会比其他位置的线宽窄很多，因此所述金属线在打孔处非常容易出现断裂，影响器件的可靠性。而且，众所周知，随着对显示器分辨率的需求越来越高，金属线的线宽要求也越来越窄，在很窄的金属线上打孔，其技术难度也越来越大，实现的可能性也越来越低。
[0007]另外，公开号为CN103928401A的中国专利申请，揭示了一种使用石墨烯或纳米银材料制作透明导电层，来形成显示屏阵列基板用像素电极和数据线的方法。该方法虽然能够增加金属线的使用次数，延长显示器的使用寿命，但是由于材料的限制，成本较高。
【发明内容】
[0008]本发明的目的在于提供一种柔性显示器件及其制造方法，以解决现有的柔性显示器因金属线断裂导致的可靠性差、使用寿命短的问题。
[0009]为解决上述技术问题，本发明提供一种柔性显示器件的制造方法，所述柔性显示器件的制造方法包括:
[0010]提供一柔性基板；
[0011 ] 在所述柔性基板上形成显示器件层；
[0012]在所述显示器件层上形成第一导电图形；
[0013]在所述显示器件层和第一导电图形上形成第一介电绝缘层，对所述第一介电绝缘层进行刻蚀以形成沟槽；以及
[0014]在所述沟槽中形成第二导电图形；
[0015]其中，所述第一导电图形和/或第二导电图形由自修复导电材料制成。
[0016]可选的，在所述的柔性显示器件的制造方法中，所述自修复导电材料为自修复型导电胶；
[0017]采用自修复导电材料在所述沟槽中形成所述第二导电图形的过程包括:
[0018]通过喷墨打印工艺或旋涂工艺在所述第一介电绝缘层上及沟槽中形成自修复型导电胶层；
[0019]通过光刻工艺在所述自修复型导电胶层上形成图形化的光阻层；以及
[0020]以所述图形化的光阻层为掩膜对所述自修复型导电胶层进行刻蚀，以形成第二导电图形；
[0021]采用自修复导电材料在所述显示器件层上形成所述第一导电图形的过程包括:
[0022]通过喷墨打印工艺或旋涂工艺在所述显示器件层上形成自修复型导电胶层；
[0023]通过光刻工艺在所述自修复型导电胶层上形成图形化的光阻层；以及
[0024]以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述自修复型导电胶层进行刻蚀，以形成第一导电图形。
[0025]可选的，在所述的柔性显示器件的制造方法中，所述自修复型导电胶包括填充有银纳米线的导电胶、含有多孔炭材料的导电胶或含有铟的热可修复型导电胶；
[0026]所述填充有银纳米线的导电胶采用核壳结构的纳米粒子，所述核壳结构的纳米粒子的壳为聚苯乙烯，所述核壳结构的纳米粒子的核为分散有银纳米线的聚硫醇与二甲基苯胺的混合物；
[0027]所述含有多孔炭材料的导电胶的成分包括环氧树脂、固化促进剂、环氧稀释剂份、乳化剂、含孔碳材料粉末、去离子水和囊壁材料；
[0028]所述含有铟的热可修复型导电胶的成分包括环氧树脂、片状银粉、固化剂、固化促进剂、聚甲基丙烯酸酯微粉、铟填料和偶联剂；
[0029]所述填充有银纳米线的导电胶和含有多孔炭材料的导电胶的制备方法均为乳液聚合法，所述含有铟的热可修复型导电胶的制备方法为固固混合和固液混合工艺。
[0030]可选的，在所述的柔性显示器件的制造方法中，所述自修复导电材料为低熔点合金材料；
[0031]采用自修复导电材料在所述沟槽中形成所述第二导电图形的过程包括:
[0032]通过溅镀工艺、化学气相沉积工艺或旋涂工艺在所述第一介电绝缘层上及沟槽中形成低熔点合金材料层；
[0033]通过光刻工艺在所述低熔点合金材料层上形成图形化的光阻层；以及
[0034]以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述低熔点合金材料层进行刻蚀，以形成第二导电图形；
[0035]采用自修复导电材料在所述显示器件层上形成所述第一导电图形的过程包括:
[0036]通过溅镀工艺、化学气相沉积工艺或旋涂工艺在所述显示器件层上形成低熔点合金材料层；
[0037]通过光刻工艺在所述低熔点合金材料层上形成图形化的光阻层；以及
[0038]以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述低熔点合金材料层进行刻蚀，以形成第一导电图形。
[0039]可选的，在所述的柔性显示器件的制造方法中，所述低熔点合金材料为铟锡铋锌合金材料，所述铟锡铋锌合金材料的熔点在50°C到60°C之间，所述铟锡铋锌合金材料包括如下质量百分含量的组分:铟46%?50% ;锡12?20% M 28?42% ;锌O?10%。
[0040]可选的，在所述的柔性显示器件的制造方法中，所述第一导电图形由非自修复导电材料制成，所述第二导电图形由自修复导电材料制成，采用非自修复导电材料在所述显示器件层上形成第一导电图形的过程包括:
[0041]通过溅镀工艺、化学气相沉积工艺或旋涂工艺在所述显示器件层上形成非自修复导电材料层；
[0042]通过光刻工艺在所述非自修复导电材料层上形成图形化的光阻层；以及
[0043]以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述非自修复导电材料层进行刻蚀，以形成第一导电图形；或者
[0044]所述第一导电图形由自修复导电材料制成，所述第二导电图形由非自修复导电材料制成，采用非自修复导电材料在所述沟槽中形成第二导电图形的过程包括:
[0045]通过溅镀工艺、化学气相沉积工艺或旋涂工艺在所述第一介电绝缘层上及沟槽中形成非自修复导电材料层；
[0046]通过光刻工艺在所述非自修复导电材料层上形成图形化的光阻层；以及
[0047]以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述非自修复导电材料层进行刻蚀，以形成第二导电图形。
[0048]可选的，在所述的柔性显示器件的制造方法中，所述非自修复导电材料为钼、钼铝钼、钛或钛销钛。
[0049]可选的，在所述的柔性显示器件的制造方法中，在形成第二导电图形之后，还包括:
[0050]在所述第二导电图形上依次形成金属扩散阻挡层、易流动的介电层和第二介电绝缘层。
[0051]可选的，在所述的柔性显示器件的制造方法中，在形成所述第一介电绝缘层之前，在形成所述第一导电图形之后，还包括:在所述第一导电图形上形成金属扩散阻挡层；
[0052]在形成所述第二导电图形之后，还包括:
[0053]在所述第二导电图形上形成易流动的介电层；
[0054]在所述易流动的介电层上形成第二介电绝缘层。
[0055]本发明还提供一种柔性显示器件，所述柔性显示器件包括:柔性基板；形成于所述柔性基板上的显示器件层；形成于所述显示器件层的第一导电图形；形成于在所述显示器件层和第一导电图形上的第一介电绝缘层，形成于所述第一介电绝缘层中的沟槽；形成于所述沟槽中的第二导电图形；
[0056]其中，所述第一导电图形和/或第二导电图形由自修复导电材料制成。
[0057]在本发明实施例提供的柔性显示器件的制造方法中，通过分步形成长宽比相对较高的金属线和长宽比相对较低的金属线，其中长宽比相对较高的金属线，包括数据线和栅线均由自修复导电材料制成，断裂后能够实现自动