0mL圆底烧瓶中组合2毫摩尔寡聚钛酸丁酯（平均链长是4个钛 原子）（可以Tyzor BTP品牌购自道夫凯特）、2毫摩尔来自实例2的乳酸乙酯中的三（（1-乙 氧基-1-氧代丙-2-基）氧基）铝以及2毫摩尔DI水制备混合金属寡聚物。将反应混合 物加热到80°C并且在80°C下保持2小时，其后停止反应并且使反应混合物冷却到室温。接 着使反应混合物通过LOym全氟聚乙烯（PFPE)过滤器以去除任何不溶性材料，并且接着 通过0.2 μπι PFPE过滤器过滤。预期混合的钛-铝寡聚物。
[0056] 实例4.预期重复实例2的程序得到类似结果，不同之处在于三异丙醇铝替换为四 正丁醇锆（80%在正丁醇中）（可购自盖勒斯特公司（Gelest，Inc.))以提供四（（1-乙氧 基 _1_氧代丙_2_基）氧基）错。
[0057] 实例5.通讨在250mL圆底烧瓶中组合2毫摩尔寡聚钛酸丁酯（平均链长是4个钛 原子）（可以Tyzor BTP品牌购自道夫凯特）、1毫摩尔来自实例4的乳酸乙酯中的四（（1-乙 氧基-1-氧代丙-2-基）氧基）锆以及2毫摩尔DI水制备混合金属寡聚物。将反应混合 物加热到80°C并且在80°C下保持2小时，其后停止反应并且使反应混合物冷却到室温。接 着使反应混合物通过LOym全氟聚乙烯（PFPE)过滤器以去除任何不溶性材料，并且接着 通过0. 2 μ m PFPE过滤器过滤。获得混合钛-锆寡聚物。
[0058] 实例6.枏据美国专利申请序列号61/908, 720的程序，通过使二亚苯基氧化双 (三苯基环戊二烯酮）与I. 1当量含1，3-二乙炔基苯的乙氧基苯反应来制备聚苯寡聚物。 所得寡聚物的重量平均分子量（Mw)是23, OOODa。
[0059] 实例7.通讨在PGMEA中组合实例1的寡聚钛酸辛酰基酯与实例6的聚苯寡聚物 来制备涂料组合物样品。聚苯寡聚物的量是6wt %，并且相对于聚苯寡聚物的量，寡聚辛酸 钛酸酯的量是6wt%。溶液还含有5% γ-丁内酯作为共溶剂以促进寡聚辛酸钛酸酯在旋 转涂布期间迀移到聚苯寡聚物表面。将涂料组合物旋转涂布（1500rpm)在200mm娃晶片 上。在涂布之后，在400°C下固化晶片1小时以在经固化的聚苯层的表面上形成氧金属层。 随后，使用来自实例6的聚苯寡聚物将聚苯寡聚物层涂布在氧金属层上。接着在400°C下再 次固化晶片1小时以在氧金属层上形成经固化的聚苯膜。
[0060] 接着使用脉冲ArF激光（193nm)照射涂料组合物。暴露区域尺寸是 I. 5cmX I. 5cm (或2. 25cm2)，并且施加180mJ能量；导致80mJ/cm2能量施加到经固化的聚苯 膜表面。在照射之后，在300°C下烘烤晶片10分钟。遵循ASTM标准D2197和D3359进行交 叉划线粘附测试。接着使用交叉划线切割器将晶格图案测试区域切成暴露聚苯膜。接着从 晶格图案测试区域去除任何疏松膜粒子。接着将Scotch?品牌600胶带（可购自3M，明尼 阿波利斯（Minneapolis)，明尼苏达（Minnesota))紧紧涂覆在晶格图案上并且通过迅速回 拉胶带离开测试区域去除以展现胶带所去除的膜的量。测试区域的目视检查发现中等膜损 失，指示激光照射成功地减弱聚苯膜对涂料组合物的粘附力。
[0061] 实例8.通讨在PGMEA中组合实例1的寡聚钛酸辛酰基酯与实例6的聚苯寡聚物 来制备涂料组合物。寡聚钛酸辛酰基酯的量是15wt%。使用缝模涂布机将这一涂料组合物 安置在玻璃载体衬底上。接着在400Γ下烘烤经涂布的载体衬底50分钟以为具有有机涂料 层的载体衬底提供形成于有机涂料层上的氧金属层。接着使用缝模涂布机将聚酰亚胺柔性 衬底材料安置在氧金属层上。接着在常规条件下固化聚酰亚胺层。接着使聚酰亚胺层经受 各种加工条件以在聚酰亚胺层上形成一个或多个显示装置。在形成所需显示装置之后，使 玻璃载体衬底的背侧暴露于波长为308nm的激光。在暴露之后，在300°C的温度下烘烤显示 装置。在加热之后，预期显示装置与载体衬底分离。预期牺牲层（即，有机涂料层和氧金属 层）实质上（>95%)与载体衬底一起保留。接着预期通过使有机涂料层与氢氧化四甲基铵 接触，继而用DI水冲洗而从玻璃载体衬底去除有机涂料层和氧金属层。
[0062] 实例9.预期重复实例8的程序得到类似结果，不同之处在于激光的波长是532nm。
[0063] 实例10.预期重复实例8的程序得到类似结果，不同之处在于以10wt%的量使用 实例3的混合钛-铝寡聚物。
[0064] 实例11.通过缝模涂布将实例6的聚苯寡聚物层安置在玻璃载体衬底上。接着在 400°C下固化有机涂料60分钟。随后，通过使用缝模涂布机安置实例3的混合钛-铝寡聚 物的层，继而在400°C下固化30分钟来在经固化的聚苯涂层上形成氧金属层。接着通过缝 模涂布将聚酰亚胺柔性衬底材料安置在氧金属层上。接着在常规条件下固化聚酰亚胺层。 接着使聚酰亚胺层经受各种加工条件以在聚酰亚胺层上形成一个或多个显示装置。在形成 所需显示装置之后，使玻璃载体衬底的背侧暴露于波长为308nm的激光。在暴露之后，在 300°C的温度下烘烤显示装置。在加热之后，预期显示装置与载体衬底分离。预期牺牲层 (即，有机涂料层和氧金属层）实质上（>95% )与载体衬底一起保留。接着预期通过使有 机涂料层与氢氧化四甲基铵接触，继而用DI水冲洗而从玻璃载体衬底去除有机涂料层和 氧金属层。
[0065] 实例12.预期重复实例11的程序得到类似结果，不同之处在于以6wt%的量使用 实例1的寡聚钛酸辛酰基酯而不是混合钛-铝寡聚物。
【主权项】
1. 一种制造显示装置的方法，其包含：(a)提供载体衬底；(b)将有机涂料层安置在所 述载体衬底的表面上；(C)将一种或多种氧金属前体材料层安置在所述有机涂料层上，其 中所述氧金属前体材料包含一种或多种金属原子和一种或多种配体；（d)使所述氧金属前 体材料层固化W形成氧金属层；（e)在所述氧金属层上形成柔性衬底层；(f)在所述柔性衬 底层上形成一个或多个装置；W及（g)使所述柔性衬底层与所述载体衬底分离。2. 根据权利要求1所述的方法，其中至少一种金属原子选自娃、铁、错、给、鹤、粗、钢W 及侣。3. 根据权利要求1所述的方法，其中所述有机涂料层通过将包含有机寡聚物和溶剂的 涂料组合物安置在所述载体衬底表面上；去除所述溶剂；W及使所述有机寡聚物固化W形 成所述有机涂层而形成。4. 根据权利要求1所述的方法，其中所述有机涂料层直接在所述载体衬底表面上。5. 根据权利要求1所述的方法，其中所述有机涂层和氧金属前体层通过W下步骤形 成：将涂料组合物层安置在所述载体衬底表面上，其中所述涂料组合物包含基质前体材料、 表面能为20到40erg/cm 2的氧金属前体材料W及有机溶剂；使所述涂料组合物层经受使得 所述氧金属前体材料层在所述基质前体材料层上形成的条件；W及使所述基质前体材料固 化W形成所述有机涂料层。6. 根据权利要求1所述的方法，其中所述有机涂料层包含选自亚芳基聚合物、亚芳基 酸聚合物、酷亚胺聚合物、硅氧烷聚合物、苯乙締聚合物、（甲基）丙締酸盐聚合物、异苯并 嗯挫聚合物W及其混合物的聚合材料。7. 根据权利要求1所述的方法，其中所述氧金属前体材料选自： a)式（1)化合物 MLx (1) 其中M是第3族到第14族金属；各L是独立地选自光衰减部分、二酬酸根、酬亚胺、Cz 2。 多元醇、Cl 2。醇盐、C 1 2。烷基硫醇、C 1 2。烷基簇酸根W及C 7 2。芳基簇酸根的配体；X是指配体 的数量并且是M的价数； (ii) 所述式（1)化合物的寡聚物； (iii) 具有包含第3族到第14族金属的侧基的寡聚物； (iv) 式似化合物其中Ri = H或CH3;M =第3族到第14族金属；L 1是独立地选自光衰减部分、二酬酸根、 酬亚胺、Cz 2。多元醇、C 1 2。醇盐、C 1 2。烷基硫醇、C 1 2。烷基簇酸根W及C 7 2。芳基簇酸根的配 体；并且n是指配体的数量并且是M的价数；W及 (V)其混合物。8. 根据权利要求1所述的方法，其中所述氧金属层由两种或更多种彼此不同的氧金属 前体材料形成。9. 根据权利要求1所述的方法，其中所述氧金属层的厚度是10到20nm。10. 根据权利要求1所述的方法，其中通过用激光照射所述载体衬底的背侧来使所述 柔性衬底层与所述氧金属层分离。11. 根据权利要求10所述的方法，其进一步包含在激光照射之后热加热所述载体衬 底。12. 根据权利要求1所述的方法，其进一步包含在将所述有机涂料层安置在所述载体 衬底的所述表面上之前用粘附促进组合物处理所述载体衬底的所述表面的步骤。13. -种显示装置结构，其包含：载体衬底；安置在所述载体衬底表面上的有机涂料 层；安置在所述有机涂料层表面上的氧金属层；安置在所述氧金属层表面上的柔性衬底； W及形成于所述柔性衬底层上的一个或多个装置。
【专利摘要】提供一种制造显示装置的方法，其使用插入在载体与显示装置衬底之间的牺牲层。
【IPC分类】H01L51/00, H01L51/56
【公开号】CN105591038
【申请号】CN201510767930
【发明人】Y·S·金, Y·姜, C·D·吉尔摩, D·王, K·M·奥康奈尔, M-Y·李, P-W·庄
【申请人】罗门哈斯电子材料有限责任公司, 罗门哈斯电子材料韩国有限公司
【公开日】2016年5月18日
【申请日】2015年11月11日
【公告号】EP3020849A1, US20160133864