5处收集的工艺生成物凝结。
[0029]请参阅图2并结合参阅图4。标准检查治具圆管检查部21的前端24用于在第一、第二石英套管固定安装后，从第二石英套管外端向第一、第二石英套管套接部的间隙平行伸入，以根据其是否能自由伸入该间隙来判断第一、第二石英套管是否同轴套接。这是利用了当第一、第二石英套管构成同轴套接时应在其套接面形成一圈均匀间隙的特点。
[0030]作为一优选的实施方式，检查部21的圆管管壁23厚度可与第一、第二石英套管同轴套接时的公称间隙相对应，并可在圆管平行伸入该间隙时形成间隙配合。
[0031]作为上述进一步优选的实施方式，检查部21的圆管前端24可具有帮助其伸入第一、第二石英套管套接部间隙的导入部。例如，可以将检查部的圆管前端加工成具有锥形或弧形截面的导入部(图略)。
[0032]请继续参阅图2并结合参阅图4。作为一优选的实施方式，保持部22可以是垂直固定于检查部21圆管尾端的基座。基座结构的保持部可用于保持检查部的圆管形状及控制其检查时的伸入长度。这样，在标准检查治具不用或存放时，可利用基座22承载检查部21，避免其触碰硬物而损伤;或者，在标准检查治具使用时，基座22可起到把手的作用，从而可对圆管形检查部21进行保护，避免其受力而产生变形;基座结构的保持部22还可以通过其与第二石英套管外端之间的距离判断检查部21进入的深度，以控制其检查时的伸入长度，避免过度进入触碰到第一石英套管的缩颈部。
[0033]作为上述进一步优选的实施方式，可将基座22加工成沿检查部21圆管尾端平行向外设置的法兰形。
[0034]请参阅图3，其为图2的左视结构。在保持部22可设置一观察窗口25，观察窗口 25与检查部21圆管相通，可透过检查部的圆管观察标准检查治具在两个石英套管套接间隙中的配合状态，从而可快速准确地判断第一、第二石英套管的套接是否符合标准。作为一优选的实施方式，可将观察窗口 25与检查部圆管21的尾端贯通设置，使观察窗口最大化，以方便观察。
[0035]本发明的上述标准检查治具可采用例如特氟龙材料制成，并可采用一体成型或切削加工制成。也可以采用硬度低于石英套管12、15且具有一定耐磨、耐腐蚀性能的材料以及相应加工手段制成。
[0036]如图4所示，本发明的上述标准检查治具20在使用时，在第一、第二石英套管12、15安装在炉管机台的真空管路11中后，将标准检查治具20的圆管形检查部21由图示右侧的第二石英套管15外端向第二石英套管管内伸入，并平行伸向两个石英套管12、15套接部的间隙。利用第一、第二石英套管同轴套接时必然形成均匀间隙的特点，如果圆管形检查部21能够自由伸入两个石英套管套接部的间隙中，则可判断第一、第二石英套管12、15处于同轴套接状态;反之，如果第一、第二石英套管12、15安装偏移时，其相互间隙必然有大有小，那么圆管形检查部21就不能通过间隙小的部位，从而即可判断第一、第二石英套管12、15处于非同轴套接状态。保持部22有助于检查时把握标准检查治具20的平行进入方向以及控制进入力度。
[0037]综上所述，本发明通过在炉管机台真空管路中安装两个石英套管后，利用其同轴套接时形成均匀间隙的特点，将标准检查治具的圆管形检查部向石英套管套接部的间隙平行伸入，即可根据其是否能自由伸入该间隙来判断两个石英套管是否处于同轴套接状态，从而能够可靠保证石英套管每一次安装的准确度，并杜绝因为安装偏移问题所导致的产品报废问题；同时，通过在圆管形检查部尾端设置的基座保持部，可在标准检查治具使用及存放时对圆管形检查部进行保护，避免其受力变形，并可控制其检查时的伸入长度;此外，通过在基座保持部设置观察窗口，可透过检查部的圆管观察标准检查治具在两个石英套管套接间隙中的配合状态，从而可快速准确地判断两个石英套管的套接是否符合标准。通过本发明可实现石英套管安装时量化的统一安装检查标准，使用方便简单。
[0038]以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。
【主权项】
1.一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，所述石英套管为设于炉管机台真空管路中的贯通圆管，包括第一、第二石英套管，其内端以间隙方式相内、外平行套接，其外端分别与一段真空管路的管壁固定安装，其特征在于，所述标准检查治具包括: 检查部，为一段圆管，其前端用于在第一、第二石英套管固定安装后，从第二石英套管外端向第一、第二石英套管套接部的间隙平行伸入，以根据其是否能自由伸入该间隙来判断第一、第二石英套管是否同轴套接； 保持部，与检查部的圆管尾端固定，用于保持检查部的圆管形状及控制其检查时的伸入长度。2.根据权利要求1所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述检查部的圆管管壁厚度与第一、第二石英套管同轴套接时的公称间隙相对应，并在其平行伸入时形成间隙配合。3.根据权利要求1或2所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述检查部的圆管前端具有帮助伸入第一、第二石英套管套接部间隙的导入部。4.根据权利要求1所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述导入部的截面为锥形或弧形。5.根据权利要求1所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述保持部为垂直固定于检查部圆管尾端的基座。6.根据权利要求5所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述基座为法兰形。7.根据权利要求1或5所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述保持部设有与检查部圆管相通的观察窗口。8.根据权利要求7所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述观察窗口通过检查部的圆管尾端向保持部贯通而形成。9.根据权利要求1所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述标准检查治具采用特氟龙材料制成。10.根据权利要求9所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述标准检查治具采用一体成型或切削加工制成。
【专利摘要】本发明公开了一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，通过在炉管机台真空管路中安装两个石英套管后，利用其同轴套接时形成均匀间隙的特点，将标准检查治具的圆管形检查部向石英套管套接部的间隙平行伸入，即可根据其是否能自由伸入该间隙来判断两个石英套管是否处于同轴套接状态，从而能够可靠保证石英套管每一次安装的准确度，并杜绝因为安装偏移问题所导致的产品报废问题；并可通过在圆管形检查部尾端设置保持部，对圆管形检查部进行保护及控制其检查时的伸入长度；还可通过在保持部设置观察窗口，快速准确判断两个石英套管的套接是否符合标准。本发明可实现石英套管安装时量化的统一安装检查标准，使用方便简单。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN105632983
【申请号】CN201610164453
【发明人】魏巍, 俞玮, 裴雷洪
【申请人】上海华力微电子有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2016年3月22日