一种平面基板装卸转存装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片加工设备，尤其涉及用于PECVD辅助石墨舟装卸片设备的机械手自动装卸硅片的转存装置。
【背景技术】
[0002]现有石墨舟装卸片设备采用机械手从装卸转存装置中抓取一定数量的硅片整齐的装入石墨舟。现有转存装置在整理娃片时摆放得不够整齐，层叠的硅片前后左右位置存在一定的误差，因此会导致装入石墨舟的硅片位置偏离，同时转存装置在整理硅片时，没有任何保护措施，易造成硅片的损伤。
[0003]因此，设计出一种可以使硅片摆放整齐，并且不让硅片受到损伤的平面基板装卸转存装置是业界亟待解决的问题。
【发明内容】
[0004]本实用新型为了解决现有装置在整理硅片时存在误差导致装入石墨舟的硅片位置偏离的问题，提供一种平面基板装卸转存装置，包括用于输送硅片的皮带，分别设于皮带两侧可沿垂直于皮带运动的方向上下移动的左承载架和右承载架，所述左、右承载架内侧从上至下设有多层间隔均匀的用于支撑硅片侧边的支撑块，所述左、右承载架分别设有用于整齐硅片两侧边的左整片板4和右整片板5，以及设置在左、右承载架之间用于整齐硅片运动前端的前整片板。
[0005]所述左/右整片板包括包括板本体，间隔均匀地设置在板本体上且可供各层支撑块分别穿过的多个条形孔。所述支撑块与硅片的接触部分由非金属材料制成。所述条形孔之间的板本体上设有至少两个可与硅片侧边接触的软吸盘。
[0006]本实用新型利用承载架将多个硅片层叠起来，然后再通过左右整片板以及前整片板，对一摞硅片的三个侧面进行整齐，使一摞硅片的前后左右四个侧面都对齐，方便机械手取片，可以大大减少误差，同时，还在左右整片板上设置了软吸盘，这样在整片时可以对硅片的侧边进行保护，不会导致硅片损伤。而且，本实用新型还改进了用于支撑硅片的支撑架，将它与硅片的接触部分采用塑料等非金属材料制成，可以确保在硅片整理过程中，不会划伤娃片的表面。
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型一实施例的示意图。
[0008]图2是本实用新型左/右整片板的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]下面结合附图对本实用新型进一步进行说明。
[0010]如图1、图2所示，本实用新型一实施例提出的平面基板装卸转存装置包括用于输送硅片7的皮带6，皮带6的两侧分别设有左承载架2和右承载架9，左、右承载架内侧从上至下设有多层间隔均匀的支撑块3。左、右承载架可以沿着图中的箭头方向上下移动，也就是说垂直于皮带所在平面上下移动。左、右承载架每次可以移动一个工位，每移动一个工位，会把当前略低于硅片所在平面的一层支撑块3向上移，从而使左右的支撑块3可以托住一块硅片7的两侧一起向上移动，直至下一层的支撑块3又位于略低于硅片所在平面的位置，这样可以继续盛装下一块硅片。
[0011]在上述装片过程中，由于皮带在运输硅片的过程中，会存在一些误差，导致层叠的一摞硅片前后左右不对齐，因此，本实用新型在左右承载架上还设置了左整片板4和右整片板5，左/右整片板的具体结构包括板本体452，板本体452上间隔均匀地设置了多个条形孔451，这些条形孔可供各层支撑块分别穿过，使左/右整片板可以安装在左/右承载架上，当它们朝向硅片运动，可以使硅片的左右两侧相互对齐。然后在左、右整片板之间还设置了前整片板1，用于对齐硅片在运动过程中的最前端，这样通过左、右整片板以及前整片板I就可以使层叠的一摞硅片前后左右完全对齐，减少机械手的操作误差。
[0012]在对齐硅片的过程中，为了避免支撑架对硅片底部表面的损伤，支撑块3与硅片7的接触部分由非金属材料制成，比如塑胶或者橡胶等软性材料。同时，条形孔451之间的板本体上设有至少两个可与娃片侧边接触的软吸盘8，在对齐过程中，软吸盘8接触娃片的侧边，不会损伤硅片，也不会导致硅片变形。
[0013]下面详细描述本装置的使用过程。
[0014]利用本装置装片时，本装置的初始位置位于皮带下方，使最上面的一层支撑块3正好略低于硅片的底面，硅片7通过传送皮带6运动到左右承载架之间，正好位于支撑块的上方。然后，左、右承载架装好当前的硅片7上升一个工位，皮带继续运行，运输下一块硅片至下一层支撑块3的上方，再上升一个工位，如此反复，使各层支撑块3上都装好硅片。然后，左整片板向右移动拍片，右整片板向左移动拍片，前整片板I向皮带6运行的相反方向拍片，直至承载架12上的硅片7全部对齐。最后，等待机械手从支撑架2上取硅片7。
[0015]利用本装置卸片时，本装置的初始位置位于皮带上方，机械手将硅片放入装置内的各支撑块3上，装满整个装置。然后左整片板向右移动拍片，右整片板向左移动拍片，前整片板I向皮带6运行的相反方向拍片，直至承载架上的硅片7全部对齐。左、右承载架下降一个工位，将最下方的一层支撑架上的硅片放置在皮带上，皮带运行，将当前层的硅片运走，然后左、右承载架继续下降一个工位，再在皮带上放置上一层的硅片，皮带继续运走，如此反复，直至将装置内的各层硅片都卸下运走。
[0016]以上的具体实施例仅用以举例说明本实用新型的构思，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种平面基板装卸转存装置，其特征在于，包括用于输送硅片的皮带，分别设于皮带两侧可沿垂直于皮带所在平面上下移动的左承载架和右承载架，所述左、右承载架内侧从上至下设有多层间隔均匀的用于支撑硅片侧边的支撑块，所述左、右承载架上分别设有用于整齐硅片两侧边的左整片板和右整片板，以及设置在左、右承载架之间用于整齐硅片运动前端的前整片板。2.如权利要求1所述的平面基板装卸转存装置，其特征在于，所述左/右整片板包括板本体，间隔均匀地设置在板本体上且可供各层支撑块分别穿过的多个条形孔。3.如权利要求2所述的平面基板装卸转存装置，其特征在于，所述条形孔之间的板本体上设有至少两个可与硅片侧边接触的软吸盘。4.如权利要求1所述的平面基板装卸转存装置，所述支撑块与硅片的接触部分由非金属材料制成。
【专利摘要】本实用新型公开了一种平面基板装卸转存装置，包括用于输送硅片的皮带，分别设于皮带两侧可沿垂直于皮带运动的方向上下移动的左承载架和右承载架，所述左、右承载架内侧从上至下设有多层间隔均匀的用于支撑硅片侧边的支撑块，所述左、右承载架分别设有用于整齐硅片两侧边的左整片板和右整片板，以及设置在左、右承载架之间用于整齐硅片运动前端的前整片板。本实用新型结构简单，可以将各层叠的硅片四周对齐，并且不损伤硅片，减少可引发硅片损坏的硅片位置误差。
【IPC分类】H01L21/68, H01L21/683
【公开号】CN204946880
【申请号】CN201520670855
【发明人】磨建新, 谢鑫, 林华, 张勇
【申请人】深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年9月1日