技术总结
本实用新型涉及一种三维线性声表面波马达，该声表面波马达主要是由声表面波基底、叉指换能器、滑动器、升降机构、支撑杆、升降板、销钉、滑轨、凸起、吸声隔板组成。在两个滑动器的中间、吸声隔板的两侧至少有两个叉指换能器。通过对不同的叉指换能器施加电信号激发出声表面波驱动滑动器在平面上实现X、Y方向上运动，为了将平面运动转换成空间的Z向运动，本实用新型在滑动器上加入升降机构，利用升降机构的特点将平面直线运动转换成Z向直线运动，从而实现声表面波马达X、Y、Z三个方向运动。本实用新型具有结构简单，精度高，易于控制，成本低等优点。
技术研发人员：张炎炎;马祥;刘国君;吴越;赵心;李新波;刘建芳;杨志刚
受保护的技术使用者：吉林大学
文档号码：201621308191
技术研发日：2016.12.01
技术公布日：2017.05.24