掌握，其是具备把持电子部件的把持部的电子部件搬运装置，其特征在于，具备:
[0072]可动部，其与把持上述电子部件的上述把持部的移动联动；
[0073]振动体，其能够屈曲振动；
[0074]抵接部，其与上述可动部抵接，并传递上述振动体的振动而驱动上述可动部；
[0075]接合部，其接合有上述振动体；
[0076]支承部，其与上述接合部并列设置，用于支承上述振动体以及上述接合部；以及
[0077]多个连结部，其连结上述接合部以及上述支承部，
[0078]上述支承部的刚性比上述接合部的刚性高。
[0079]在这样的本发明的电子部件搬运装置中，因为不给振动体的振动带来负面影响，能够以振动体不因抵接部从可动部受到的反作用力而移动的方式稳固地进行振动体的支承，所以能够将振动体的振动适当地传递至可动部，能够提高搬运电子部件的精度。
[0080]另外，本发明也能够以以下这样的方式掌握。即，
[0081]也能够作为电子部件检查装置来掌握，其特征在于，具备:
[0082]把持部，其把持电子部件；
[0083]检查部，其检查上述电子部件；
[0084]可动部，其与把持上述电子部件的上述把持部的移动联动；
[0085]振动体，其能够屈曲振动；
[0086]抵接部，其与上述可动部抵接，并传递上述振动体的振动而驱动上述可动部；
[0087]接合部，其接合有上述振动体；
[0088]支承部，其与上述接合部并列设置，用于支承上述振动体以及上述接合部；以及
[0089]多个连结部，其连结上述接合部以及上述支承部，
[0090]上述支承部的刚性比上述接合部的刚性高。
[0091]在这样的本发明的电子部件检查装置中，因为不给振动体的振动带来负面影响，能够以振动体不因抵接部从可动部受到的反作用力而移动的方式稳固地进行振动体的支承，所以能够将振动体的振动适当地向可动部传递，能够提高检查电子部件的精度。
[0092]另外，本发明也能够以以下这样的方式掌握。即，
[0093]也能够作为输液泵来掌握，其特征在于，具备:
[0094]管，其供液体能够流动；
[0095]闭塞部，其与上述管抵接而闭塞上述管；
[0096]移动部，其使上述闭塞部移动；
[0097]振动体，其能够屈曲振动；
[0098]抵接部，其与上述移动部抵接，并传递上述振动体的振动而驱动上述移动部；
[0099]接合部，其接合有上述振动体；
[0100]支承部，其与上述接合部并列设置，用于支承上述振动体以及上述接合部；以及
[0101]多个连结部，其连结上述接合部以及上述支承部，
[0102]上述支承部的刚性比上述接合部的刚性高。
[0103]在这样的本发明的输液泵中，因为不给振动体的振动带来负面影响，能够以振动体不因抵接部从移动部受到的反作用力而移动的方式稳固地进行振动体的支承，所以能够将振动体的振动适当地向移动部传递，能够提高对管内的液体进行输液的精度。
[0104]另外，本发明能够以以下这样的方式掌握。gp，
[0105]也能够作为打印装置来掌握，其特征在于，具备:
[0106]打印头，其在介质上打印图像；
[0107]移动部，其使上述打印头移动；
[0108]振动体，其能够屈曲振动；
[0109]抵接部，其与上述移动部抵接，并传递上述振动体的振动而驱动上述移动部；
[0110]接合部，其接合有上述振动体；
[0111]支承部，其与上述接合部并列设置，用于支承上述振动体以及上述接合部；以及
[0112]多个连结部，其连结上述接合部以及上述支承部，
[0113]上述支承部的刚性比上述接合部的刚性高。
[0114]在这样的本发明的打印装置中，因为不给振动体的振动带来负面影响，能够以振动体不因抵接部从移动部受到的反作用力而移动的方式稳固地进行振动体的支承，所以能够将振动体的振动适当地向移动部传递，能够提高打印图像的精度。
[0115]另外，本发明也能够以以下这样的方式掌握。即，
[0116]也能够作为电子表来掌握，其特征在于，具备:
[0117]旋转圆板，其同轴地设置有齿轮，并能够转动；
[0118]齿轮系,其包括多个齿轮而构成；
[0119]指针，其与上述齿轮系连接，并指示时刻；
[0120]振动体，其能够屈曲振动；
[0121]抵接部，其与上述旋转圆板抵接，并传递上述振动体的振动而驱动上述旋转圆板；
[0122]接合部，其接合有上述振动体；
[0123]支承部，其与上述接合部并列设置，用于支承上述振动体以及上述接合部；以及
[0124]多个连结部，其连结上述接合部以及上述支承部，
[0125]上述支承部的刚性比上述接合部的刚性高。
[0126]在这样的本发明的电子表中，因为不给振动体的振动带来负面影响，能够以振动体不因抵接部从旋转圆板受到的反作用力移动的方式稳固地进行振动体的支承，所以能够适当地将振动体的振动传递至旋转圆板，能够提高电子表的动作精度。
[0127]另外，本发明也能够以以下这样的方式掌握。即，
[0128]也能够作为投影装置来掌握，其特征在于，具备:
[0129]光源，其产生光；
[0130]投影部，其包括光学透镜，并投影上述光；
[0131]移动部，其使上述光学透镜移动；
[0132]振动体，其能够屈曲振动；
[0133]抵接部，其与上述移动部抵接，并传递上述振动体的振动而驱动上述移动部；
[0134]接合部，其接合有上述振动体；
[0135]支承部，其与上述接合部并列设置，用于支承上述振动体以及上述接合部；以及
[0136]多个连结部，其连结上述接合部以及上述支承部，
[0137]上述支承部的刚性比上述接合部的刚性高。
[0138]在这样的本发明的投影装置中，因为不给振动体的振动带来负面影响，能够以振动体不因抵接部从移动部受到的反作用力而移动的方式稳固地进行振动体的支承，所以能够将振动体的振动适当地传递至移动部，能够提高调整基于光学透镜的光的投影状态的精度。
【附图说明】
[0139]图1是表示本实施例的压电马达的构造的立体图。
[0140]图2是表示振动体的构造的说明图。
[0141]图3是表示压电马达的动作原理的说明图。
[0142]图4是表示振动体的节部的说明图。
[0143]图5是表示使用压电马达来驱动对象物的情况的说明图。
[0144]图6是表示压电马达的驱动特性由于前方连结部和后方连结部通过支承部连接而变化的理由的说明图。
[0145]图7是表示第一变形例的压电马达的构造的说明图。
[0146]图8是表示第二变形例的压电马达的构造的说明图。
[0147]图9是表示第三变形例的压电马达的构造的立体图。
[0148]图10是表示在振动体的前节部以及中节部设置连结部的第四变形例的压电马达的说明图。
[0149]图11是表示在三处节部全部设置连结部的第五变形例的压电马达的说明图。
[0150]图12是表示将连结部设为在振动体的Y方向的两侧非对称的第六变形例的压电马达的说明图。
[0151]图13是例示设置有实施例或者变形例的压电马达的机器人手的说明图。
[0152]图14是例示具备机器人手的单臂机器人的说明图。
[0153]图15是例示具备机器人手的多臂机器人的说明图。
[0154]图16是例示设置有实施例或者变形例的压电马达而构成的手指辅助装置的说明图。
[0155]图17是例示设置有实施例或者变形例的压电马达而构成的电子部件检查装置的立体图。
[0156]图18是针对内置于把持装置的微调机构的说明图。
[0157]图19是例示设置有实施例或者变形例的压电马达而构成的输液泵的说明图。
[0158]图20是例示设置有实施例或者变形例的压电马达的打印装置的立体图。
[0159]图21是例示设置有实施例或者变形例的压电马达的电子表的内部构造的说明图。
[0160]图22是例示设置有实施例或者变形例的压电马达的投影装置的说明图。
【具体实施方式】
[0161]图1是表示本实施例的压电马达100的构造的立体图。如图示那样，本实施例的压电马达100大致由以下部分构成:包含压电材料的振动体110 ;用于支承振动体110的支承部128 ;以及用于向规定的方向对振动体110施力的两个板簧(前方板簧150、后方板簧160)等。
[0162]振动体110呈长方体形状，在长边方向的端面设置有与被压电马达100驱动的对象物抵接的凸部122。使用其他附图在后面对该振动体110的详细构造进行叙述。另外，以下，将振动体110的长边方向称作X方向。另外，如图中所示，将与X方向正交的振动体110的短边方向称作Y方向，将与X方向以及Y方向正交的振动体110的厚度方向称作Z方向。
[0163]支承部128在振动体110的短边方向(Y方向)的两侧并列设置，与振动体110通过多个连结部(一对前方连结部124以及一对后方连结部125)连结。前方连结部124以及后方连结部125沿振动体110的长边方向(X方向)分离设置，前方连结部124连结振动体110的设置有凸部122 —侧，后方连结部125连结与振动体110的设置有凸部122 —侧相反的一侧。如图示那样，本实施例的支承部128是与前方连结部124以及后方连结部125一体形成的矩形的平板。而且，用于加强该支承部128 (提高刚性)的长方体形状的加强部件140被设置为与支承部128的下表面紧贴。
[0164]两个板簧(前方板簧150以及后方板簧160)沿振动体110的长边方向(X方向)分离配置。位于振动体110的设置有凸部一侧的前方板簧150从通过固定螺钉154而固定于设置压电马达100的位置(X — Y平面)的固定部152向Z方向(图中的上方)折弯，