动装置而设置。
[0204]图13是例示设置了实施例或者变形例的压电马达100的机器人手200的说明图。图示的机器人手200从基台202立设有多根指部203，经由手腕204与臂210连接。这里，如图13(a)所示那样，指部203的根部(可动部)在基台202内能够移动，以凸部122按压该指部203的根部的状态安装有压电马达100。因此，通过使压电马达100动作，能够使指部203移动而把持对象物。该压电马达100成为使指部203移动的驱动部。另外，在手腕204的部分也以将凸部122按压至手腕204的端面的状态安装有压电马达100。因此，通过使压电马达100动作能够使基台202整体旋转。
[0205]另外，如图13(b)所示那样，在指部203设置有能够使指部203屈曲的关节部205。在该关节部205也以凸部122按压使关节部205的转动的部分(可动部)的状态安装有压电马达100。因此，通过使压电马达100动作，能够使指部203屈曲。
[0206]图14是例示具备机器人手200 (手部)的单臂的机器人250的说明图。图示那样的机器人250具有臂210 (臂部)，该臂210具备多根连杆部212 (连杆部件)、和以能够屈曲的状态连接这些连杆部212之间的关节部220。另外，机器人手200与臂210的前端连接。而且，在关节部220中作为用于使关节部220屈曲的驱动部而内置有实施例或者变形例的压电马达100，使关节部220转动的部分(可动部)被凸部122按压。因此，通过使压电马达100动作，能够使各个关节部220屈曲(转动)任意角度。
[0207]图15是例示具备机器人手200的多臂机器人260的说明图。图示那样的机器人260具有多个(图示的例中两个)臂210，该臂210具备多根连杆部212、和以能够屈曲的状态连接这些连杆部212之间的关节部220。在臂210的前端连接有机器人手200、工具201 (手部)。另外，在头部262安装有多台照相机263，在主体部264的内部安装有控制整体动作的控制部266。并且，通过设置于主体部264的底面的小脚轮268能够搬运。该机器人260也在关节部220内置有实施例或者变形例的压电马达100作为用于使关节部220屈曲的驱动部，使关节部220转动的部分(可动部)被凸部122按压。因此，通过使压电马达100动作，能够使各自的关节部220屈曲(转动)任意角度。
[0208]图16是例示设置实施例或者变形例的压电马达100而构成的手指辅助装置300的说明图。在图16(a)表示了从指肚侧观察的将手指辅助装置300安装于人的手指(食指)10的情况的状态。如图示那样，手指辅助装置300具备以串联方式连结的第一单元310和第二单元320。另外，本应用例的第一单元310相当于本发明的“第一部件”，本应用例的第二单元320相当于本发明的“第二部件”。在图示的例子中，第一单元310通过第一安装部312安装于食指10的中节(第一关节与第二关节之间)的侧面，第二单元320通过第二安装部322安装于食指10的基节(第二关节与第三关节之间)的侧面。
[0209]在图16 (b)表示与从沿食指10 —侧相反的一侧观察的手指辅助装置300的主视图。在手指辅助装置300的第二单元320中，在两片框架板(第一框架板324、第二框架板326)之间，形成为方形与半圆形组合的形状的金属平板亦即输出部件330被设置为能够以圆弧的中心为轴转动(参照图16(a))。在该输出部件330的方形侧用连结螺丝314连结第一单元310。
[0210]另外，在两片框架板324、326之间设置有:与输出部件330通过其他轴转动的圆板形状的转子334 ;与转子334 —起以同轴转动的平齿轮336 ;以及使转子334旋转的压电马达100等。在输出部件330的半圆形部分的外周设置有与平齿轮336啮合的齿(省略图示)，若转子334转动，则该转动经由平齿轮336以规定的比率被减速并传递至输出部件330，从而输出部件330转动。
[0211]而且，压电马达100以凸部122按压于转子334的外周面的状态固定于第一框架板324。因此，例如若驱动压电马达100使转子334向附图中顺时针旋转，则如图中空心的箭头所示那样，第二单元320相对于与输出部件330连结的第一单元310顺时针旋转(第一单元310相对于第二单元320逆时针旋转)而屈曲。相反，若使转子334逆时针旋转，则第二单元320相对于第一单元310逆时针旋转(第一单元310相对于第二单元320顺时针旋转)而伸展。在这样手指辅助装置300中，能够使第二单元320相对于第一单元310屈曲或伸展，辅助食指10的第二关节的弯曲伸展。
[0212]这样的手指辅助装置300安装于由于中风等疾病、事故等手指动作存在麻痹的人、由于高龄而握力降低的人等的手指，能够辅助手指的屈曲或者伸展动作。另外，通过将手指辅助装置300安装于手指存在麻痹的人，特别对伸展手指的动作复健有效。
[0213]图17是例示设置了实施例或者变形例的压电马达100而构成的电子部件检查装置400的立体图。图示的电子部件检查装置400大体具备基台410和立设于基台410的侧面的支承台430。在基台410的上面设置有载置并搬运检查对象的电子部件I的上游侧动作台412u、和载置并搬运检查完毕的电子部件I的下游侧动作台412d。另外，在上游侧动作台412u与下游侧动作台412d之间设置有用于确认电子部件I的姿势的拍摄装置414、和为了检查电特性而装有电子部件I的检查台416 (检查部)。另外，作为电子部件I的代表，能够例举“半导体”、“半导体晶片”、“IXD、OLED等显示设备”、“晶体器件”、“各种传感器”、“喷墨头”、“各种MEMS装置”等。
[0214]另外，在支承台430设置有能够沿与基台410的上游侧动作台412u以及下游侧动作台412d平行方向(Y方向)移动的Y动作台432，从Y动作台432朝向基台410的方向(X方向)延伸配置有臂部434。另外，在臂部434的侧面设置有能够沿X方向移动的X动作台436。而且，在X动作台436设置有拍摄照相机438、和能够沿上下方向(Z方向)移动并内置了 Z动作台的把持装置450。另外，在把持装置450的前端设置有把持电子部件I的把持部452。并且，在基台410的前面侧也设置有控制电子部件检查装置400的整体动作的控制装置418。另外，在本实施例中，设置于支承台430的Y动作台432、臂部434、X动作台436、把持装置450与本发明的“电子部件搬运装置”对应。
[0215]具有以上这样的结构的电子部件检查装置400如下面这样进行电子部件I的检查。首先，检查对象的电子部件I被载置于上游侧动作台412u，移动至检查台416附近。接下来，移动Y动作台432以及X动作台436，使把持装置450移动至载置于上游侧动作台412u的电子部件I的正上方的位置。此时，能够使用拍摄照相机438确认电子部件I的位置。然后，使用内置于把持装置450内的Z动作台使把持装置450下降，若用把持部452把持电子部件1，则使保持原样的把持装置450移动至拍摄装置414上，使用拍摄装置414确认电子部件I的姿势。接着，使用内置于把持装置450的微调机构调整电子部件I的姿势。然后，使把持装置450移动至检查台416上之后，移动内置于把持装置450的Z动作台将电子部件I装在检查台416上。因为使用把持装置450内的微调机构调整电子部件I的姿势，所以能够将电子部件I装在检查台416的正确位置。然后，使用检查台416对电子部件I的电特性的检查结束后，这次将电子部件I从检查台416取上来之后，移动Y动作台432以及X动作台436，使把持装置450移动至下游侧动作台412d上，将电子部件I放置于下游侧动作台412d。之后，移动下游侧动作台412d，将检查结束了的电子部件I搬运至规定位置。
[0216]图18是针对内置于把持装置450的微调机构的说明图。如图示那样在把持装置450内设置有与把持部452连接的旋转轴454，能够旋转地安装于旋转轴454的微调板456(可动部)等。另外,微调板456被未图不的引导机构引导,而能够沿X方向以及Y方向移动。
[0217]这里，如图18中带斜线表示那样，朝向旋转轴454的端面安装有旋转方向用的压电马达100 Θ，压电马达100 Θ的凸部(省略图示)按压旋转轴454的端面。因此，通过使压电马达100 0动作，能够使旋转轴454 (以及把持部452)在Θ方向上以任意角度高精度地旋转。另外，设置有朝向微调板456的X方向用的压电马达ΙΟΟχ、和Y方向用的压电马达100y，各自的凸部(图示省略)按压微调板456的表面。因此，通过使压电马达10x动作，能够使微调板456 (以及把持部452)沿X方向高精度地移动任意距离，同样地，通过使压电马达10y动作，能够使微调板456 (以及把持部452)沿Y方向高精度地移动任意距离。因此，图17的电子部件检查装置400通过使压电马达100 Θ、压电马达ΙΟΟχ、压电马达10y动作，能够微调把持部452把持的电子部件I的姿势。
[0218]图19是例示设置有实施例或者变形例的压电马达100而构成的输液泵500的说明图。图19(a)表示从上面观察输液泵500的俯视图，图19(b)表示从侧面观察输液泵500的剖视图。如图示那样，输液泵500在矩形形状的壳体502内能够旋转地设置有圆板形状的转子504 (移动部)，在壳体502与转子504之间设置有内部供药液等液体流通的管506。另外，管506的一部分被设置于转子504的球508 (闭塞部)压扁而处于闭塞的状态。因此若转子504旋转，则球508向压扁管506的位置移动，对管506内的液体进行输液。而且，若以压电马达100的凸部122按压转子504的外周面的状态设置，则能够将压电马达100作为驱动转子504的驱动部来使用。这样，能够高精度地微量输液，并且能够实现小型的输液泵500。
[0219]图20是例示设置了实施例或者变形例的压电马达100的打印装置600的立体图。图示的打印装置600向打印介质2的表面喷射墨水来打印图像，是所谓的喷墨打印机。另夕卜，打印装置600打印的“图像”包括文字、图形、绘画、图案、照片影像等。打印装置600为大致箱形的外观形状，在前面的大致中央设置有排纸托盘601、排出口 602、多个操作按钮605。另外，在背面侧设置有供给托盘603。若在供给托盘603装有打印介质2并操作操作按钮605，则从供给