抵接的强度变弱，在椭圆轨道上凸部122与转子W抵接的范围(行程)变窄。因此，不能充分地将驱动力向转子W传递，其结果，使转子W旋转的效率、使转子W以规定的旋转角度定位的精度这一压电马达100的驱动特性降低。
[0182]因此，在本实施例的压电马达100中，如使用图1上述那样，使加强部件140与支承部128紧贴设置。由此，支承部128与接合有压电元件130、131的垫板120相比刚性变高，即使振动体110的节部116产生的振动(垫板120允许的振动)传递至支承部128，在刚性高的支承部128中该振动也被抑制(不允许)。若像这样抑制在支承部128产生不希望的共振，则因为不妨碍振动体110本来的振动，凸部122以特定的轨道椭圆运动，所以能够将规定的驱动力向转子W传递。其结果，能够维持压电马达100的驱动特性。
[0183]另外，本实施例中的“刚性”是指“受到外力时，抵抗该外力带来的变形的性质”。而且，作为评价“支承部128的刚性比垫板120的刚性高”的方法，能够例示下面的方法。例如，在向支承部128以及垫板120的X方向的中央部分从Z方向施加相同的力进行按压的情况下比较挠曲量，只要支承部128的挠曲量比垫板120小就可以。或者，在将支承部128以及垫板120的X方向的一端固定并从Z方向向另一端施加相同的力而弯曲的情况下比较弯曲量，只要支承部128的弯曲量比垫板120小就可以。或者，在将支承部128以及垫板120的X方向的一端固定以X方向为轴以相同的力扭转另一端的情况下比较扭转量，只要支承部128的扭转量比垫板120小就可以。另外，在将压电元件130、131与垫板120接合之前进行能够使这些比较评价更准确地评价。
[0184]另外，在本实施例的压电马达100中，如上述那样，前方连结部124以及后方连结部125被设置于振动体110的振动少的节部116。因此，与设置于不同于节部116的部分(腹部114等)的情况相比，经由连结部124、125向支承部128传递的振动少，能够抑制在支承部128产生不希望的共振。
[0185]另外，作为加强部件140所使用的材料，不仅刚性高，也可以包含振动系数小的材料(所谓的减振材料)。通过在加强部件140中使用减振材料，使减振材料吸收的振动能量作为热、声音等扩散，因为使传递至支承部128的振动衰减，所以能够更靠地抑制在支承部128产生不希望的共振。
[0186]以下，对上述的本实施例的压电马达100的变形例进行说明。另外，在变形例的说明中，对于与上述的实施例相同的结构部分赋予与前面说明的实施例相同的附图标记，并省略其详细的说明。
[0187]图7是表示第一变形例的压电马达100的构造的说明图。在上述的实施例中，垫板120和连结部124、125以及支承部128 —体形成，与它们独立地设置有前方板簧150以及后方板簧160。与此相对,在第一变形例的压电马达100中，通过从一片金属平板冲裁和折弯来一体地形成垫板120、连结部124、125、支承部128、板簧150、160、固定部152、162。
[0188]图7(a)表示从一片金属平板冲裁折弯前的展开图。如图示那样，在支承部128的前方连结部124侧的端部连接有前方板簧150，在支承部128的后方连结部125侧的端部连接有后方板簧160。而且，在与板簧150、160的支承部128连接一侧相反的一侧连接有固定部 152,162ο
[0189]在图7(b)中立体地表示沿图7(a)中的虚线上折折弯，沿点划线下折折弯后的状态。这样折弯之后，将表压电元件130以及背压电元件131与垫板120接合，通过使加强部件140与支承部128紧密接触而安装来制成第一变形例的压电马达100。另外，在图7(b)中，省略表压电元件130以及背压电元件131的图示。
[0190]这样，通过从一片金属平板冲裁和折弯来形成垫板120、连结部124、125、支承部128、板簧150、160、固定部152、162，与使它们独立相比，因为省去相互接合的工序，所以压电马达100的制造变得容易。除此之外，因为不需要接合螺钉等部件，所以能够实现压电马达100的制造成本的减少。
[0191]图8是表示第二变形例的压电马达100的构造的说明图。图8(a)表示第二变形例的压电马达100的立体图。另外在图8(a)中，省略表压电元件130以及背压电元件131的图示。如图示那样，在第二变形例的压电马达100中，与上述的实施例以及第一变形例不同，没有与支承部128紧密接触来设置加强部件140，而是在支承部128的Y方向的两侧设置相对于支承部128垂直折弯的弯曲部129。
[0192]这样，通过对支承部128的Y方向的两侧实施弯曲加工，在支承部128设置有弯曲部129的部分，与垫板120相比刚性变高。由此，与上述的实施例相同，即使在振动体110 (垫板120)产生的振动传递至支承部128，因为在支承部128中该振动被抑制，能够抑制不希望的共振在支承部128产生，并维持压电马达100的驱动特性。另外，因为弯曲部129与垫板120、连结部124、125、支承部128等从一片金属平板一体地形成，所以不需要追加其他部件(加强部件140)，而提高支承部128的刚性。
[0193]另外，对支承部128实施的弯曲加工并不限定于如图8(a)所示的相对于支承部128垂直折弯的方式。例如，如图8 (b)所示，也可以为相对于支承部128折回180°的方式。另外，如图8(c)所示，也可以折弯为剖面为形状。或者如图8(d)所示，也可以弯曲为剖面为环状。另外，也可以不对支承部128的Y方向的两侧实施弯曲加工，而仅对一侧实施弯曲加工。
[0194]图9是表示第三变形例的压电马达100的构造的立体图。在上述的实施例以及第一变形例中，支承部128与垫板120、连结部124、125 —体形成，使加强部件140与该支承部128紧密接触而使刚性比垫板120的刚性高。与此相对，在第三变形例的压电马达100中，如图9所示那样，支承部128与垫板120、连结部124、125独立地设置，该支承部128本身形成为比垫板120厚。另外，第三变形例的支承部128由与垫板120相同的材料形成。另外，在图示的例中，连结部124、125与支承部128通过接合螺钉127接合，接合方法也可以是粘合、焊接。另外，在图9中，表压电元件130以及背压电元件131的图示被省略。
[0195]这样通过使支承部128形成为比垫板120厚，能够使支承部128的刚性比垫板120的刚性高。由此，与上述的实施例一样，因为能够在支承部128中抑制从振动体110 (垫板120)传递来的振动，所以能够抑制在支承部128中产生不希望的共振，维持压电马达100的驱动特性。
[0196]另外，在上述的第三变形例中，虽然通过使支承部128形成为比垫板120厚来提高刚性，也可以使用刚性比垫板120的刚性高的材料形成支承部128。另外，作为支承部128所使用的材料不仅刚性高，也可以包括减振材料。通过使用减振材料，使传递至支承部128的振动衰减，能够更可靠地抑制不希望的共振的产生。
[0197]另外，在上述的实施例中，在振动体110的屈曲振动的振幅小的三处节部116中的前节部116a以及后节部116c设置连结部124、125。但是，设置连结部的位置并不限定于此，从三处节部116中选择两处以上设置就可以。
[0198]图10是表示在振动体110的前节部116a以及中节部116b设置连结部的第四变形例的压电马达100的说明图。如图示那样，从振动体110的前节部116a的Y方向的两侧延伸配置有前方连结部124，从中节部116b的Y方向的两侧延伸配置有中央连结部126。而且，这些连结部124、126连结振动体110和支承部128。在这样的第四变形例的压电马达100中，与在振动体110的前节部116a以及后节部116c设置连结部124、125的情况相比，因为将连结部彼此连接的支承部128的长度变短，支承部128的振动面积减少，所以能够抑制不希望的共振的产生。
[0199]图11是表示在三处节部116全部设置连结部的第五变形例的压电马达100的说明图。如图示那样，从振动体110的前节部116a的Y方向的两侧延伸配置有前方连结部124，从中节部116b的Y方向的两侧延伸配置有中央连结部126，从后节部116c的Y方向的两侧延伸配置有后方连结部125。而且，这些连结部124、125、126连结振动体110和支承部128。在这样的第五变形例的压电马达100中，与在三处节部116中的两处设置连结部的情况相比，振动体110被更稳固地支承。因此，即使是将大的驱动力传至对象物的情况下，也能够克服其反作用力，以振动体110不动的方式支承。
[0200]另外，在上述的实施例以及变形例中，虽然将连结部124、125、126在振动体110的Y方向的两侧以一对设置，但是也可以仅在一侧设置。由此，即使在压电马达100的设置空间有限制的情况下，也能够在振动体110的一侧连结支承部128而支承振动体110。
[0201]另外，在上述的实施例中，将设置连结部的位置设为在振动体110的Y方向的两侧对称，也可以为非对称。图12是表示将设置连结部的位置设为在振动体110的Y方向的两侧非对称的第六变形例的压电马达100的说明图。如图示那样，振动体110的Y方向的一方在前节部116a以及中节部116b设置有连结部124、126，另一方在中节部116b以及后节部116c设置有连结部126、125。
[0202]在这样的第六变形例的振动体110中，在前节部116a以及中节部116b设置有连结部124、126的一方的后侧部分，在中节部116b以及后节部116c设置有连结部126、125的另一方的前侧部分(图中的带阴影的部分)没有连结部124、125、126带来的限制，能够大幅振动。因此，若对该部分施加电压，则能够使凸部122的一个方向(在图示的例中反转)的椭圆运动的轨道比另一方向的椭圆运动的轨道大。而且，若与轨道大的椭圆运动对应而适当地设置对象物，则能够确保大的驱动行程。这样，通过将设置连结部的位置设为在振动体110的Y方向的两侧非对称，使对象物的驱动方向特殊化为一个方向，能够高效地驱动对象物。
[0203]上述的实施例的压电马达100或者变形例的压电马达100，因为能够不给压电马达100的驱动特性带来负面影响而稳固地进行振动体110的支承，所以能够适于作为以下这样的装置的驱