器SXl和第二 X传感器SX2之间。第一 y驱动装置MYl与I传感器SY相间隔，其中，在X方向以及在y方向上错开。第一 X驱动装置MXl在y方向上与第二 X驱动装置MX2相间隔地设置。第一 X驱动装置MXl在X方向上也与第二 X驱动装置MX2相间隔地设置。第一 X驱动装置MXl和第二 X驱动装置MX2分别与y驱动装置MYl相间隔地设置。
【主权项】
1.一种校准平面驱动装置的方法，所述平面驱动装置包括定子和能相对于所述定子朝向X方向和I方向移动的动子，其中，所述X方向和所述I方向展开所述动子的运动平面，并且其中，所述平面驱动装置还包括如下其他组件: -至少一个设置在所述动子上的第一 X驱动装置，其用于朝向X方向驱动所述动子； -设置在所述动子上的第一 I驱动装置，其用于朝向I方向驱动所述动子； -设置在所述动子上的第二 I驱动装置，其用于朝向y方向驱动所述动子，其中，所述第二I驱动装置在X方向上与所述第一I驱动装置相间隔地设置； -y传感器，其用于确定所述动子相对于所述定子在I方向上的位置，其中，所述I传感器与所述第一 y驱动装置相间隔地设置； -与所述I传感器电连接的I操控单元，其用于操控所述第一 I驱动装置和所述第二 I驱动装置；以及 -至少一个第一 X传感器，其用于确定所述动子相对于所述定子在X方向上的位置； 其中，所述方法包括下列步骤: -通过所述I操控单元操控所述第一I驱动装置以将所述动子沿I方向固定在所述第一 y驱动装置的地点处； -通过所述I操控单元操控所述第二I驱动装置以使所述动子沿第一路程朝向I方向移动，其中，由于固定的所述第一y驱动装置出现所述动子以垂直于运动平面设置的转动轴线扭转； -在应用所述第一 X传感器情况下测量所述动子的扭转，其中，与所述第二I驱动装置的、利用I操控单元操控的第一路程相关地记录所述第一 X传感器的信号；和 -通过对I传感器的信号与所述第一 X传感器的已记录信号进行分析来校准I操控单J L.ο2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述平面驱动装置还包括用于朝向X方向驱动动子的第二 X驱动装置，其中，所述第二 X驱动装置在I方向上与所述第一 X驱动装置相间隔地设置在所述动子上，并且其中，操控所述第二 X驱动装置以将所述动子沿X方向固定在所述第二 X驱动装置的地点处，与此同时，所述第二I驱动装置沿第一路程移动。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述平面驱动装置还包括第二X传感器，其用于确定所述动子相对于所述定子在X方向上的位置，其中，所述第二 X传感器在y方向上与所述第一 X传感器相间隔地设置，其中，所述动子扭转的测量也在应用所述第二 X传感器情况下进行，对此，与所述第二 I驱动装置的、利用所述I操控单元操控的第一路程相关地记录所述第二 X传感器的信号，其中，所述y控制单元的校准通过对所述y传感器的信号与所述第一 X传感器和所述第二 X传感器的已记录信号进行分析实现。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述第二y驱动装置沿所述第一路程移动期间，所述第一 X驱动装置的操控停止，5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于，根据所述第一X传感器和所述第二X传感器的已记录的信号确定代表所述动子扭转的数值，其方式为，确定所述第一 X传感器和所述第二X传感器的信号差，其中，根据所述代表扭转的数值确定校正系数以便校准所述I操控单元。6.根据权利要求1至5之一所述的方法，其特征在于，所述方法还包括下列其他步骤，这些步骤按照操控所述第一 I驱动装置、操控所述第二 I驱动装置和记录所述第一 X传感器的信号执行: -通过所述I操控单元操控所述第一I驱动装置以使所述动子沿错开路程朝向I方向移动，随后通过所述I操控单元操控所述第一I驱动装置以将所述动子固定在所述第一I驱动装置的已到达地点处； -通过所述I操控单元操控所述第二I驱动装置以使所述动子沿第二路程朝向I方向移动，其中，由于固定的所述第一y驱动装置出现所述动子以垂直于运动平面设置的转动轴线扭转； -在应用所述第一 X传感器情况下继续测量所述动子的扭转，其中，与所述第二I驱动装置的、利用所述I操控单元操控的其他路程相关地记录所述第一 X传感器的信号；和-通过对所述y传感器的信号与所述第一 X传感器已记录的其他信号进行分析来校准所述I控制单元。7.根据权利要求1至6之一所述的方法，其特征在于，所述第一I驱动装置和所述第二 I驱动装置分别具有至少两个在I方向上相间隔的力传递件，它们在I方向上的间隔确定所述两个y驱动装置的周期，其中，所述第一路程和在必要时移动过的其他路程分别为所述周期的一倍或正好为整数分之一。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，第一路程和在必要时移动过的其他路程之和等于所述周期。9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，第一路程和在必要时移动过的路程之和为所述周期的多倍。10.一种平面驱动装置，其包括: -定子; -相对于所述定子能朝向X方向和Y方向移动的动子，其中，X方向和Y方向展开所述动子的运动平面； -至少一个设置在所述动子上的第一 X驱动装置，其朝向X方向驱动所述动子； -设置在所述动子上的第一 I驱动装置，其朝向I方向驱动所述动子； -设置在所述动子上的第二 I驱动装置，其朝向I方向驱动所述动子，其中，所述第二 I驱动装置在X方向上与所述第一I驱动装置相间隔地设置； -y传感器，其用于确定所述动子相对于所述定子在I方向上的位置，其中，所述I传感器与所述第一 y驱动装置相间隔地设置； -与所述I传感器电连接的I操控单元，其用于操控所述第一 I驱动装置和所述第二 I驱动装置；和 -至少一个第一 X传感器，其用于确定所述动子相对于所述定子在X方向上的位置； 其特征在于，所述y操控单元用于执行根据权利要求1至9之一所述的方法。
【专利摘要】本发明涉及一种校准平面驱动装置的方法，该平面驱动装置包括定子和能相对于定子朝向x方向和y方向移动的动子。平面驱动装置还包括设置在动子上的第一和第二y驱动装置和至少一个第一x驱动装置以及至少一个x传感器和y传感器。y操控单元与y传感器电连接并用于操控第一y驱动装置和第二y驱动装置。方法首先包括一个步骤，其中，操控第一y驱动装置以固定动子。通过y操控单元操控第二y驱动装置以使动子沿第一路程朝向y方向移动，其中，由于固定的第一y驱动装置出现动子以垂直于运动平面设置的转动轴线扭转。在应用第一x传感器情况下测量动子的扭转。y操控单元通过对y传感器的信号与第一x传感器的已记录信号进行分析而校准。本发明还涉及平面驱动装置。
【IPC分类】H02K41/03
【公开号】CN104995828
【申请号】CN201380051574
【发明人】约尔格·克格勒尔
【申请人】舍弗勒技术股份两合公司
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2013年9月20日
【公告号】DE102012218039A1, EP2904695A2, WO2014053131A2, WO2014053131A3