专利名称：一种基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器,属于声表面波温度传感技术领域。
背景技术：
在传统SPUDT (Single Phase Unidirectional Transducer,单相单向换能器)技术中，不论使用1/4还是3/8波长指宽的反射指，幅频响应的高端过渡带上总会激发出一定高度的声体波效应，而在现有技术中还没有一种能够降低过渡带上激发的体波的方法。
发明内容
本发明为解决·现有的声表面波温度传感技术存在的无法降低过渡带上激发的体波的问题，进而提供了一种基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器。为此，本发明提供了如下的技术方案:—种基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器，包括基片、输入换能器和输出换能器，所述基片上设有相互耦合的输入换能器和输出换能器，所述输入换能器和输出换能器均为镂空反射电极结构。本发明采用采用镂空反射电极结构的输入换能器和输出换能器，能够有效地提高高端带外抑制，从而降低过渡带上激发的体波的影响。
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本发明的具体实施方式
提供的本具体实施方式
提供的基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器的结构示意图；图2是本发明的具体实施方式
提供的传输指和负指的外镂空结构的示意图；图3是本发明的具体实施方式
提供的镂空电极的技术细节原理图。
具体实施例方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。本具体实施方式
提供了一种基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器，如图1所不，包括基片1、输入换能器2和输出换能器3,基片I上设有相互稱合的输入换能器2和输出换能器3，输入换能器2和输出换能器3均为镂空反射电极结构。优选的，在镂空反射电极结构中的传输叉指电极为1/8波长结构、反射电极为3/8波长，在所述反射电极中间按照预定比例被镂空出一定宽度的缝隙，并在纵向按照波长的特定比例进行截断。具体的，本具体实施方式
提供的基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器的原理是在传统SPUDT基础上，如图2所示，将传输指和负指(指宽 1/8波长)做外镂空，将反射指(宽度为3.33333/8波长)做内镂空，纵向各自按照一定波长比例，并相互错位。其中，镂空电极的技术细节如图3所示，A = 1.03333/8波长，B = 3.03333/16波长，C = 1.03333/16 波长，D = (1-0.03333)/8 波长，E = 3.3333/8 波长，F = 3 波长，G =3波长。输入发射声表面波(SAW),并被输出换能器接受,通过这样的声电电声的转换过程实现电信号的过滤功能。通过现代微电子技术的光刻技术方式，在实际生产中，通过正胶剥离工艺的方法，使本具体实施方式
提供的基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器能够保证所有镂空处线条宽度的精准度，最终实现了合格产品。采用本具体实施方式
提供的技术方案，通过采用采用镂空反射电极结构的输入换能器和输出换能器，能够有效地提高高端带外抑制，从而降低过渡带上激发的体波的影响。以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明实施例揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
权利要求
1.一种基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器，包括基片、输入换能器和输出换能器，所述基片上设有相互耦合的输入换能器和输出换能器，其特征在于，所述输入换能器和输出换能器均为镂空反射电极结构。
2.根据权利要求1所述的基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器，其特征在于，所述镂空反射电极结构中的传输叉指电极为1/8波长结构、反射电极为3/8波长，在所述反射电极中间按照预定比例被镂空出一定宽度的缝隙，并在纵向按照波长的特定比例进行截断。
全文摘要
本发明提供了一种基于镂空反射电极结构的声表面波滤波器，包括基片、输入换能器和输出换能器，所述基片上设有相互耦合的输入换能器和输出换能器，所述输入换能器和输出换能器均为镂空反射电极结构。本发明采用采用镂空反射电极结构的输入换能器和输出换能器，能够有效地提高高端带外抑制，从而降低过渡带上激发的体波的影响。
文档编号H03H9/64GK103152010SQ201310080350
公开日2013年6月12日 申请日期2013年3月14日 优先权日2013年3月14日
发明者张敬钧, 董启明 申请人:北京中讯四方科技股份有限公司