一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法与流程

技术总结
本发明公开了一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法，通过在工艺管排气管路安装加热装置，可根据工艺菜单中不同步骤的加热温度需求，以设定的温度控制目标值对排气管路的管壁进行加热及温度控制，避免了工艺排气时的尾气在排气管路的管壁上沉积并形成颗粒，从而保证了工艺管排气管路的通畅。

技术研发人员：穆晓航;钟结实;王凯;杨帅
受保护的技术使用者：北京七星华创电子股份有限公司
文档号码：201610921716
技术研发日：2016.10.21
技术公布日：2017.03.15