l 92为掩模进行的。换言之，在第一 Si层91中，对与区域921对应的部分实施蚀刻加工。进而，适当调整蚀刻加工的条件，使得能够以绕到第二 Si层93和S1jl 92的下方的方式进行加工。其结果是，能够形成图6的(e)所示的凹部31。
[0145]如图7所示，在本实施方式的振子1中，基部3的长边302和短边303分别与构成基部3的单晶硅的晶体方位< 110 >平行。另一方面，振动臂28、29、30延伸的方向分别与构成基部3的单晶硅的晶体方位< 100 >平行。
[0146]此处，在各向异性湿法蚀刻的情况下，与晶体面{100}及晶体面{110}的蚀刻速度相比，Si的晶体面{111}的蚀刻速度非常慢。因此，在基于各向异性湿法蚀刻的蚀刻加工中，在出现晶体面{111}时，在该时刻，实质地停止蚀刻加工。
[0147]如图7所示，在振动臂28、29、30延伸的方向分别与构成基部3的单晶硅的晶体方位< 100 >平行的情况下，通过经由以振动臂28、29、30等周围的区域921为开口的掩模实施各向异性湿法蚀刻加工，由此形成为:在区域921的下方不残留加工痕，加工痕绕到振动臂28、29、30及框部26的下方，直到出现晶体面{111}为止。其结果是，在基部3中设置的凹部31不仅到达区域921的下方，而且到达位于掩模的背影的振动臂28、29、30及框部26的下方。这样，形成图6的(e)所示的凹部31，得到基部3。
[0148]根据这样的方法，能够使用尺寸精度高的SOI基板，并能够以高加工精度形成振动臂28、29、30，因此，能够高效地制造振动特性优异的振子1。
[0149]作为在各向异性湿法蚀刻中使用的蚀刻液，例如，可举出四甲基氢氧化铵(TMAH)、氢氧化钾(Κ0Η)、乙二胺-邻苯二酚-水(EDP)、肼等。
[0150]接下来，去除氧化膜931。
[0151]在氧化膜931的去除中，例如使用利用了缓冲氟酸(BHF)等的湿法蚀刻法。
[0152]然后，形成未图示的配线、端子部等。
[0153][C]
[0154]接下来，准备盖体7。进而，接合盖体7与振动基板21。由此，得到图6的(f)所示的振子1。
[0155]以上，对振子1的结构和制造方法进行了说明，但振子1的结构不限于本实施方式。
[0156]例如，振动片2具有的振动臂28、29、30的数量不限于3条，也可以是2条或4条以上。
[0157]此外，振子1可以作为检测加速度、角速度或压力等物理量的传感器器件来使用。
[0158]此外，也可以制造不使用SOI基板9的振子1。在该情况下，例如，准备Si基板作为用于形成基部3的基板，对其实施氧化处理，形成氧化膜。接下来，在氧化膜上成膜出Si膜。由此，能够制造出实质上与S0I基板等同的基板。作为Si膜，可举出多晶硅膜、非晶硅膜等。之后，能够如上述那样制造振子1。
[0159]此外，振动基板21也可以不具有框部26。例如，也可以构成为，由基部3和盖体7划分出空间S，在其内部封入振动基板21。
[0160]此外，端子部41、42的位置不限于振动基板21的上表面，例如也可以为盖体7的上表面或基部3的下表面。
[0161][电子设备]
[0162]接下来，基于图8?图10，对具有本发明的电子器件的电子设备(本发明的电子设备)进行详细说明。
[0163]图8是示出应用了具有本发明的电子器件的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。在该图中，个人计算机1100由具有键盘1102的主体部1104以及具有显示部100的显示单元1106构成，显示单元1106通过铰链构造部以能够转动的方式支承在主体部1104上。在这种个人计算机1100中内置有作为滤波器、谐振器、基准时钟等发挥功能的振子1。
[0164]图9是示出应用了具有本发明的电子器件的电子设备的移动电话(也包含PHS)的结构的立体图。该图中，移动电话1200具有多个操作按钮1202、接听口 1204以及通话口1206，在操作按钮1202与接听口 1204之间配置有显示部100。在这种移动电话1200中内置有作为滤波器、谐振器等发挥功能的振子1。
[0165]图10是示出应用了具有本发明的电子器件的电子设备的数字静态照相机的结构的立体图。另外，在该图中，还简单地示出与外部设备之间的连接。这里，通常的照相机是通过被摄体的光像对银盐胶片进行感光，与此相对，数字静态照相机1300通过(XD (ChargeCoupled Device:电荷親合器件)等摄像元件对被摄体的光像进行光电转换，生成摄像信号(图像信号)。
[0166]在数字静态照相机1300中的壳体(机身)1302的背面设置有显示部100，构成为根据CCD的摄像信号进行显示，显示部100作为将被摄体显示为电子图像的取景器发挥功能。并且，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)设置有包含光学镜头(摄像光学系统)和C⑶等受光单元1304。
[0167]当摄影者确认在显示部中显示的被摄体像并按下快门按钮1306时，该时刻的CCD的摄像信号被传输到存储器1308内并进行存储。并且，在该数字静态照相机1300中，在壳体1302的侧面设置有视频信号输出端子1312和数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，使视频信号输出端子1312与电视监视器1430连接，使数据通信用的输入输出端子1314与个人计算机1440连接。而且，构成为通过规定的操作，将存储在存储器1308中的摄像信号输出到电视监视器1430或个人计算机1440。在这样的数字静态照相机1300中内置有作为滤波器、谐振器等而发挥功能的振子1。
[0168]此外，具有本发明的电子器件的电子设备除了可以应用于图8的个人计算机(移动型个人计算机)、图9的移动电话、图10的数字静态照相机以外，还可以应用于例如、喷射式喷出装置(例如喷墨打印机)、膝上型个人计算机、电视、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼器、电子记事本(也包含带通信功能的)、电子词典、计算器、电子游戏设备、文字处理机、工作站、可视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、P0S终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量仪器类(例如车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等。
[0169][移动体]
[0170]接下来，对具有本发明的电子器件的移动体(本发明的移动体)进行说明。
[0171]图11是概略地示出作为本发明的移动体的一例的汽车的立体图。在汽车1500中，搭载有振子1。振子1能够广泛应用于无钥匙进入、防盗锁止、汽车导航系统、汽车空调、防抱死制动系统(ABS)、气囊、轮胎压力监视系统(TPMS:Tire Pressure MonitoringSystem)、发动机控制、混合动力汽车、或电动汽车的电池监视器、车体姿态控制系统等电子控制单元(ECU electronic control unit)。
[0172]以上，基于优选实施方式，对本发明进行了说明，但本发明不限于此，各部的结构可以置换为具有相同功能的任意结构。
[0173]此外，在本发明中，也可以对上述实施方式附加任意结构物。
【主权项】
1.一种电子器件，其特征在于，该电子器件具有: 振动片，其具有振动臂；以及 基部，其支承所述振动片， 在俯视时，所述基部的边延伸的方向与所述振动臂延伸的方向相交。2.根据权利要求1所述的电子器件，其中， 所述振动臂在其一个端部处被支承于所述基部。3.根据权利要求1所述的电子器件，其中， 所述振动臂沿其厚度方向弯曲振动。4.根据权利要求1所述的电子器件，其中， 所述振动片具有3条所述振动臂。5.根据权利要求1所述的电子器件，其中， 所述振动臂的构成材料包含硅。6.根据权利要求1所述的电子器件，其中， 所述基部的构成材料包含娃。7.根据权利要求6所述的电子器件，其中， 所述基部的构成材料包含单晶硅， 所述基部的边延伸的方向沿着所述单晶硅的晶体方位< 110 >，且所述振动臂延伸的方向沿着所述单晶硅的晶体方位< 100 >。8.根据权利要求1所述的电子器件，其中， 所述电子器件具有端子部，在俯视时，所述端子部与所述振动片并排。9.根据权利要求1所述的电子器件，其中， 所述电子器件具有盖体部，该盖体部覆盖所述振动片，且与所述基部连接。10.一种电子设备，其特征在于， 该电子设备具有权利要求1所述的电子器件。11.一种移动体，其特征在于， 该移动体具有权利要求1所述的电子器件。
【专利摘要】提供电子器件、电子设备和移动体。电子器件抑制振动片的振动特性下降且实现小型化，电子设备和移动体具有该电子器件。振子(电子器件)(1)具有：具有振动臂(28、29、30)的振动片(2)；支承振动片(2)且俯视时呈矩形的基部(3)；以及设置在振动片(2)的与基部(3)相反侧的盖体(7)，基部(3)的长边(302)和短边(303)延伸的方向与振动臂(28、29、30)延伸的方向相交。在设振动臂(28、29、30)与(Y)轴方向所成的角度为θ时，角度θ超过0°且小于90°。
【IPC分类】H03H9/215, H03H9/10
【公开号】CN105322908
【申请号】CN201510272020
【发明人】山崎隆, 石井昌宏
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年5月25日
【公告号】US20150349746