专利名称：用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于方位调节的控制装置，尤指一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置。
本实用新型的目的可通过如下措施来实现一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其特征在于还包括-一X-Y二维位移调节装置；-一Z轴倾角调节装置；及所述的X-Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X、Y、Z方位调节装置，该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连，另一端与晶体生长设备的轴杆相连。
上述的X-Y二维位移调节装置包括-一Y/X位移滑槽座，在Y/X位移滑槽座内设Y/X位移滑块；-一X/Y位移滑槽座，在X/Y位移滑槽座内设X/Y位移滑块；及所述的X/Y位移滑槽座和Y/X位移滑槽座中的任一滑槽座或其上连接的滑块为对方的位移滑块。
在上述的Y/X位移滑槽座和X/Y位移滑槽座上分别设Y/X位移固定螺钉和X/Y位移固定螺钉，将其内对应的Y/X位移滑块和X/Y位移滑块固定。
上述的Z轴倾角调节装置包括-一倾角调节座，与所述的籽晶杆或X-Y二维位移调节装置或晶体生长设备的轴杆的一端相连；-一顶柱即Z轴，该顶柱与所述的倾角调节座相触；-一调节基座，其上部与所述的顶柱相连；其下部与所述的X-Y二维位移调节装置或籽晶杆或晶体生长设备的轴杆相连；及所述的倾角调节座与调节基座由至少三个倾角调节螺钉连接。
上述的Z轴倾角调节装置的顶柱或与其相连的滑块为X-Y二维位移调节装置的滑块。
在上述的Y/X位移滑槽座和Y/X位移滑块之间设Y/X位移调节螺钉及与之相对的调节弹簧；Y/X位移调节螺钉及调节弹簧与其所对应的Y/X位移滑块相触。
在上述的X/Y位移滑槽座和X/Y位移滑块之间设X/Y位移调节螺钉及与之相对的调节弹簧；X/Y位移调节螺钉及调节弹簧与其所对应的X/Y位移滑块相触。
本实用新型相比现有技术的优点在于本实用新型采用一种专用夹具来调节固定在籽晶杆上的籽晶的中心位置和倾角，其控制方法操作方便、可靠、省时和重复性好，其夹具设计小巧，即使在浮区单晶炉直径为φ20的狭小空间中也能正常使用。
把籽晶3用镍丝牢固的绑在籽晶杆1上。经晶体定向和加工的籽晶端面为预期的结晶面；将整个籽晶夹具通过其上的夹具连接杆4旋紧固定在浮区单晶炉的下轴杆上。
所述的籽晶夹具的籽晶杆1与倾角调节座201成一体，在倾角调节座201下有一顶柱203即Z轴与之相触，顶柱203与调节基座204成一体，倾角调节座201和调节基座204由三个倾角调节螺钉202连接构成Z轴倾角调节装置20，通过微调三个倾角调节螺钉202实现籽晶杆1相对Z轴的倾角调节，并通过浮区单晶炉的CCD-CRT系统(放大倍率3.5倍)或其他观测系统观察调节效果，使籽晶3的端面与水平基准线的偏差为0-±0.2°。所述的调节基座204的下部设于Y/X位移滑槽座210内；所述的Y/X位移滑槽座210的下端为一X/Y位移滑块设于X/Y位移滑槽座212内；在所述的Y/X位移滑槽座210和X/Y位移滑槽座212上分别设Y/X位移固定螺钉211和X/Y位移固定螺钉213将其内对应的位移滑块固定，构成X-Y二维位移调节装置21。由X-Y二维位移调节装置21和Z轴倾角调节装置20构成方位调节装置2。松开Y/X位移固定螺钉211和X/Y位移固定螺钉213后可分别调节Y/X或X/Y方向的位移，并通过浮区炉的CCD-CRT或其他观测系统观察调节效果，使籽晶端面的中心与籽晶夹具固定于其上的下轴杆的旋转中心的偏差为0-±0.2mm，然后再旋紧固定螺钉211和213。
参见图2，为本发明专用夹具的另一实施例结构示意图。在所述的Y/X位移滑槽座210及X/Y位移滑槽座212和与其对应的Y/X及X/Y位移滑块之间分别设Y/X及X/Y位移调节弹簧215，并在Y/X或X/Y位移滑槽座210、212的与调节弹簧215相对的另一侧分别设Y/X及X/Y位移调节螺钉214，该调节螺钉214及调节弹簧215与其所对应的Y/X或X/Y位移滑块相触。通过调节位移调节螺钉214使调节弹簧215压缩或弹伸从而实现Y/X或X/Y位移滑块的Y/X或X/Y方向的位移调节。与上述实施例同。
权利要求1.一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其特征在于还包括-一X-Y二维位移调节装置；-一Z轴倾角调节装置；及所述的X-Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X、Y、Z方位调节装置，该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连，另一端与晶体生长设备的轴杆相连。
2.如权利要求1所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于所述的X-Y二维位移调节装置包括-一Y/X位移滑槽座，在Y/X位移滑槽座内设Y/X位移滑块；-一X/Y位移滑槽座，在X/Y位移滑槽座内设X/Y位移滑块；及所述的X/Y位移滑槽座和Y/X位移滑槽座中的任一滑槽座或其上连接的滑块为对方的位移滑块。
3.如权利要求2所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于在所述的Y/X位移滑槽座和X/Y位移滑槽座上分别设Y/X位移固定螺钉和X/Y位移固定螺钉，将其内对应的Y/X位移滑块和X/Y位移滑块固定。
4.如权利要求1所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于所述的Z轴倾角调节装置包括-一倾角调节座，与所述的籽晶杆或X-Y二维位移调节装置或晶体生长设备的轴杆的一端相连；-一顶柱即Z轴，该项柱与所述的倾角调节座相触；-一调节基座，其上部与所述的项柱相连；其下部与所述的X-Y二维位移调节装置或籽晶杆或晶体生长设备的轴杆相连；及所述的倾角调节座与调节基座由至少三个倾角调节螺钉连接。
5.如权利要求4所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于所述的Z轴倾角调节装置的顶柱或与其相连的滑块为X-Y二维位移调节装置的滑块。
6.如权利要求1所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于在所述的Y/X位移滑槽座和Y/X位移滑块之间设Y/X位移调节螺钉及与之相对的调节弹簧；Y/X位移调节螺钉及调节弹簧与其所对应的Y/X位移滑块相触。
7.如权利要求1所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于在所述的X/Y位移滑槽座和X/Y位移滑块之间设X/Y位移调节螺钉及与之相对的调节弹簧；X/Y位移调节螺钉及调节弹簧与其所对应的X/Y位移滑块相触。
专利摘要本实用新型涉及一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其中还包括一X－Y二维位移调节装置；一Z轴倾角调节装置；及所述的X－Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X、Y、Z方位调节装置，该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连，另一端与晶体生长设备的轴杆相连；本实用新型既可以调节籽晶的中心位置又可以调节其倾角，并且操作方便、可靠、省时和重复性好、设计小巧，即使在浮区单晶炉直径为φ20的狭小空间中也能正常使用。
文档编号C30B35/00GK2556210SQ0224431
公开日2003年6月18日 申请日期2002年8月7日 优先权日2002年8月7日
发明者周放, 吴祖安, 遆文新, 熊季午, 赵忠贤 申请人:中国科学院物理研究所