单晶炉热场投料装置的制作方法

文档序号:8207446阅读:192来源:国知局
专利名称:单晶炉热场投料装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种投料装置,特别是一种单晶炉热场投料装置。
背景技术
单晶硅直拉炉中所使用的石墨热场大体的构造都基本相同,这种构造存在产量低下 的缺陷,造成这种现象产生的原因是导流筒的下边缘与炉内所加硅料的上方之间的距离 太小,导致所加硅料过多就会触碰到导流筒,影响正常的拉制单晶。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种结构简单,能有效增加导 流筒和炉内硅料之间的距离,又不影响单晶炉热场正常生产的单晶炉热场投料装置。
为了达到上述目的,本实用新型设计的单晶炉热场投料装置,主要包括炉体,炉体 上设有保温盖板,保温盖板上连接有导流筒,导流筒与保温盖板活动配合连接,导流筒 上连接有上下移动导流筒的升降装置。所述的升降装置可以是导流筒上连接设置的导流 筒吊钩。为了方便导流筒吊钩与导流筒的连接,导流筒吊钩和导流筒通过导流筒挂钩连 接,导流筒挂钩固定在导流筒上。为了增加本设备的使用寿命,使其适应其工作环境, 导流筒挂钩和导流筒吊钩由耐热钢组成的。
本实用新型所得到的单晶炉热场投料装置,结构简单,但却有很好的使用效果,在 加料时通过升降装置提升导流筒,增加导流筒和炉内硅料之间的距离,从而可比现有的
单晶炉多加10%左右的硅料,由于硅料加入炉内时是固体状态,堆叠在炉内存在很多空
隙,而当加热后硅料融化,成为液体状态时只有投料时体积的一半左右,这是降下导流 筒,使导流筒和保温盖板配合,即可进行下一步工序。这种单晶炉热场投料装置提高了 每炉次的投料量,具有增加产量的同时也降低了生产成本的特点。

图l是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式

下面通过实施例结合附图对本实用新型作进一步的描述。实施例l
如图1所示,本实施例描述的单晶炉热场投料装置,主要包括炉体7,炉体7上设 有保温盖板4 ,保温盖板4上连接有导流筒3,导流筒3与保温盖板4活动配合连接,导 流筒3上连接有上下移动导流筒3的升降装置。所述的升降装置是导流筒3上连接设置 的导流筒吊钩1。导流筒吊钩1和导流筒3通过导流筒挂钩2连接,导流筒挂钩2通过 螺栓6固定在导流筒3上口边缘。且导流筒挂钩2和导流筒吊钩1由耐热钢组成的。
使用时,先通过导流筒吊钩1提起导流筒3,然后加入硅料5到如图1所示的状态, 接着开始加热,当硅料5—部分融化,硅料5堆积的高度降低到一定程度后,即可缓慢 下降导流筒3,使其与保温盖板4配合,到达其常规位置。
权利要求1.一种单晶炉热场投料装置,主要包括炉体(7),炉体(7)上设有保温盖板(4),保温盖板(4)上连接有导流筒(3),其特征是导流筒(3)与保温盖板(4)活动配合连接,导流筒(3)上连接有上下移动导流筒(3)的升降装置。
2. 根据权利要求1所述的单晶炉热场投料装置,其特征是所述的升降装置是导流 筒(3)上连接设置的导流筒吊钩(1)。
3. 根据权利要求1或2所述的单晶炉热场投料装置,其特征是所述的导流筒吊钩(1) 和导流筒(3)通过导流筒挂钩(2)连接,导流筒挂钩(2)固定在导流 筒(2)上。
4. 根据权利要求1或2所述的单晶炉热场投料装置,其特征是所述的导流筒挂钩(2) 和导流筒吊钩(1)是由耐热钢组成的。
5. 根据权利要求3所述的单晶炉热场投料装置,其特征是所述的导流筒挂钩(2) 和导流筒吊钩(1)是由耐热钢组成的。
专利摘要本实用新型所设计的单晶炉热场投料装置,主要包括炉体,炉体上设有保温盖板,保温盖板上连接有导流筒,导流筒与保温盖板活动配合连接,导流筒上连接有上下移动导流筒的升降装置。所述的升降装置可以是导流筒上连接设置的导流筒吊钩。本装置结构简单,但却有很好的使用效果,在加料时通过升降装置提升导流筒,增加导流筒和炉内硅料之间的距离,从而可比现有的单晶炉多加10%左右的硅料,由于硅料加入炉内时是固体状态,堆叠在炉内存在很多空隙,而当加热后硅料融化,成为液体状态时只有投料时体积的一半左右,这是降下导流筒,使导流筒和保温盖板配合,即可进行下一步工序。这种单晶炉热场投料装置提高了每炉次的投料量,具有增加产量的同时也降低了生产成本的特点。
文档编号C30B15/00GK201351185SQ200920113529
公开日2009年11月25日 申请日期2009年2月5日 优先权日2009年2月5日
发明者苗 苗 申请人:嘉兴嘉晶电子有限公司
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