单晶炉的保温套的制作方法

文档序号:8062429阅读:260来源:国知局
专利名称:单晶炉的保温套的制作方法
技术领域
本实用新型涉及利用多晶提拉出单晶硅领域,具体属于单晶炉的保温套。
背景技术
目前,直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列,用它来制作人工晶体,晶体生长速度最高,最容易实现人工控制,因此也获得了最广泛的应用。为了生长出大尺寸和高质量的单晶,人类几乎用了一切先进的手段。在单晶炉上集成了材料、机械、电气、计算机、磁多方面的高端知识和技术。硅单晶体作为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件。大部分的半导体硅单晶体采用直拉法制造。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种单晶炉的保温套,结构设计合理,减少了热量损失, 保温效果良好,加热效率明显提高,且生产成本降低。本实用新型的技术方案如下单晶炉的保温套,包括有套装于石墨加热器外的石墨隔热套,所述石墨隔热套外套装有多个竖向叠放的保温套,所述的石墨隔热套与石墨加热器的外壁之间具有间隙,各个保温套是有多个相互套装的保温体构成。所述的保温体是由相互绕制的保温纸构成。本实用新型的结构设计合理,减少了热量损失,保温效果良好,加热效率明显提高,且生产成本降低。

图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
参见附图,单晶炉的保温套,包括有套装于石墨加热器1外的石墨隔热套2,石墨隔热套2外套装有多个竖向叠放的保温套3,石墨隔热套2与石墨加热器1的外壁之间具有间隙4,各个保温套是有多个相互套装的保温体5构成,保温体5是由相互绕制的保温纸构成。
权利要求1.单晶炉的保温套,包括有套装于石墨加热器外的石墨隔热套,其特征在于所述石墨隔热套外套装有多个竖向叠放的保温套,所述的石墨隔热套与石墨加热器的外壁之间具有间隙,各个保温套是有多个相互套装的保温体构成。
2.根据权利要求1所述的单晶炉的保温套,其特征在于所述的保温体是由相互绕制的保温纸构成。
专利摘要本实用新型公开了一种单晶炉的保温套,包括有套装于石墨加热器外的石墨隔热套,所述石墨隔热套外套装有多个竖向叠放的保温套,所述的石墨隔热套与石墨加热器的外壁之间具有间隙,各个保温套是有多个相互套装的保温体构成。本实用新型的结构设计合理,减少了热量损失,保温效果良好,加热效率明显提高,且生产成本降低。
文档编号C30B15/00GK202187077SQ201120264818
公开日2012年4月11日 申请日期2011年7月25日 优先权日2011年7月25日
发明者林游辉 申请人:合肥景坤新能源有限公司
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