闪烁体、闪烁体阵列、放射线检测器和放射线检查装置的制作方法

文档序号:12513639阅读:来源:国知局

技术特征:

1.闪烁体,其具备含有稀土氧硫化物的1mm3以下的烧结体,

在通过扫描电子显微镜进行的所述烧结体的断面的观察而得到的组成图像中,在500μm×500μm的单位面积内存在的、含有与所述稀土氧硫化物不同的稀土氧化物及杂质金属氧化物的至少一者的氧化物区域、以及含有与所述稀土氧硫化物不同的稀土硫化物及杂质金属硫化物的至少一者的硫化物区域的合计数为5个以下,包括0,

所述氧化物区域和所述硫化物区域分别具有100μm以下的长径,包括0。

2.权利要求1所述的闪烁体,其中所述烧结体的体积为0.72mm3以下。

3.权利要求1所述的闪烁体,其中所述长径为30μm以下,包括0。

4.权利要求1所述的闪烁体,其中在所述组成图像中,所述氧化物区域和所述硫化物区域的颜色比含有所述稀土氧硫化物的稀土氧硫化物区域的颜色更深且更暗。

5.权利要求1所述的闪烁体,其中所述烧结体含有钆氧硫化物、钇氧硫化物或钌氧硫化物。

6.权利要求5所述的闪烁体,其中所述钆氧硫化物的组成以通式:(Gd1-a-bPraMb)2O2S…(1)表示,式中,M为选自Ce、Yb、Eu和Tb的一种或两种以上的元素,a是满足0.0001≤a≤0.01的数,b是满足0≤b≤0.005的数。

7.权利要求1所述的闪烁体,其中,

所述稀土氧化物和所述稀土硫化物含有与所述稀土氧硫化物所含的稀土元素相同的稀土元素的至少一种元素,

所述杂质金属氧化物和所述杂质金属硫化物含有选自碱金属元素、碱土金属元素和铁的一种或两种以上的元素。

8.权利要求1所述的闪烁体,其中所述烧结体具有多个稀土氧硫化物晶粒。

9.权利要求8所述的闪烁体,其中所述多个稀土氧硫化物晶粒的平均结晶粒径为5μm以上30μm以下。

10.权利要求8所述的闪烁体,其中所述稀土氧硫化物晶粒的最大直径为50μm以下。

11.权利要求8所述的闪烁体,其中所述氧化物区域和所述硫化物区域的至少一部分存在于所述多个稀土氧硫化物晶粒的晶界。

12.闪烁体阵列,其具备:含有权利要求1所述的闪烁体的多个闪烁体;和设于所述多个闪烁体之间的反射层。

13.放射线检测器,其具备:具有X射线入射面的权利要求12所述的闪烁体阵列;和在所述闪烁体阵列的所述X射线入射面的相反侧的面设置的光电转换元件。

14.权利要求13所述的放射线检测器,其还具备表面反射层,该表面反射层设于所述X射线入射面和所述相反侧的面的至少一个面上。

15.放射线检查装置,其具备权利要求13所述的放射线检测器。

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