[0066] 光束直径：1ym
[0067] 十字狭缝（crossslit) : 100ym
[0068] 光源：Ar+激光
[0069] 激光功率：6mW
[0070] 衍射光栅：600gr/mm
[0071] 狭缝：100ym
[0072] 检测器：0CD/RoperScientific
[0073] (4)剥离力的测定（脱模性的评价）
[0074] 使用日东电工株式会社制双面胶带No. 500,以金属层在表面、基材在玻璃板侧的 方式，将50mm见方大小的试样以厚度5mm贴附在lOOmmX100mm的玻璃板上。在贴附后的 试样的金属层的表面，贴附NICHIBAN株式会社制Cellotape(注册商标）No. 405 (宽18mm)， 沿着Cellotape的宽度方向在金属层中切入切口，轻轻地剥离，并将一端仅用弹簧提起，测 定剥离时的力（剥离力）。
[0075] 关于脱模性的评价，将剥离力为20g以下时判定为〇（合格），将大于20g时或存 在金属层从试样表面未剥离的部分的情况判定为X(不合格）。
[0076] (实施例1)
[0077] 使用东芝Materials株式会社制钼片（厚度：100ym)作为基材（A)。将其切成 lOOmmX100mm见方后使用。
[0078] 在批量式溅射装置中，利用溅射在基材（A)(钼片）的一面形成碳层（B)。此时的 条件为，将极限真空度设为〇. 〇3Pa，关于导入气体，调整流量并导入氮100原子％的气体， 使装置内的压力成为〇? 5Pa。在碳靶（56mmX106mmX5mm)上连接DC电源，以88W溅射2分 钟。制备2片，使用其中1片作为评价用试样。
[0079] 对于剩余的1片，使用批量式蒸镀装置，在碳层（B)上蒸镀铜作为金属层（C)。此 时的条件为，将极限真空度设为〇. 〇2Pa，在厚度为0. 3mm的钨舟皿上装载5g铜，在200A电 流下蒸镀3分钟。
[0080] 使用评价用试样，测定碳层（B)中的原子浓度，结果N为5原子％、C为95原子％。 通过拉曼光谱分析对碳层（B)进行分析，结果由于观测到ljgOcnT1附近和ljeOcnT1附近 的2根宽的拉曼光谱带，所以判断形成了无定形碳层。
[0081] 使用进行过铜蒸镀的试样，测定各层的膜厚，结果碳层（B)的厚度为0.02ym。金 属层（C)的厚度为2ym。测定剥离力，结果由于以7g可以完全地剥离铜蒸镀膜，所以剥离 性判定为〇。另外，关于金属层（C)，可以确认在该层全部100原子％中以50原子％以上、 100原子％以下的比例含有铜原子。
[0082] (实施例2)
[0083] 与实施例1相同，使用东芝Materials株式会社制钼片（厚度：100ym)作为基材 (A)。将其切成lOOmmX100mm见方后使用。
[0084] 在批量式溅射装置中，利用溅射在基材（A)(钼片）的一面形成碳层（B)。此时的 条件为，将极限真空度设为〇. 〇3Pa，导入气体使用氩50原子％和氮50原子％的混合气体， 调整流量使得装置内的压力成为〇. 5Pa来导入。若使用混合气体，则可以调整溅射的稳定 性，所以混入了容易放电的氩气。在碳靶（56mmX106mmX5mm)上连接DC电源，以88W溅射 2分钟。制备2片，使用其中1片作为评价用试样。
[0085] 对于剩余的1片，使用批量式蒸镀装置，在碳层（B)上蒸镀铜作为金属层（C)。此 时的条件为，将极限真空度设为〇. 〇2Pa，在厚度为0. 3mm的钨舟皿上装载5g铜，以200A电 流蒸镀3分钟。
[0086] 使用评价用试样，测定碳层⑶中的原子浓度，结果N为3原子％、C为97原子％。 通过拉曼光谱分析对碳层（B)进行分析，结果由于观测到ljgOcnT1附近和ljeOcnT1附近 的2根宽的拉曼光谱带，所以判断形成了无定形碳层。
[0087] 使用进行过铜蒸镀的试样，测定各层的膜厚，结果碳层（B)的厚度为0. 01ym。金 属层（C)的厚度为2ym。测定剥离力，结果由于以5g可以完全地剥离铜蒸镀膜，所以剥离 性判定为〇。另外，关于金属层（C)，可以确认在该层全部100原子％中以50原子％以上、 100原子％以下的比例含有铜原子。
[0088] (实施例3)
[0089] 与实施例1相同，使用东芝Materials株式会社制钼片（厚度：100ym)作为基材 (A)。将其切成100mmX100mm见方后使用。
[0090] 在批量式溅射装置中，利用溅射在基材（A)的一面形成碳层（B)。此时的条件为， 将极限真空度设为0. 〇3Pa，导入气体使用氩50原子％和氮50原子％的混合气体，调整流 量使得装置内的压力成为〇. 5Pa来导入。在碳靶（56mmX106mmX5mm)上连接DC电源，以 88W溅射4分钟。制备2片，使用其中1片作为评价用试样。
[0091] 对于剩余的1片，使用批量式蒸镀装置，在碳层（B)上蒸镀铜作为金属层（C)。此 时的条件为，将极限真空度设为〇. 〇2Pa，在厚度为0. 3mm的钨舟皿上装载5g铜，以200A电 流蒸镀3分钟。
[0092] 使用评价用试样，测定碳层（B)中的原子浓度，结果N为3原子％、C为97原子％。 通过拉曼光谱分析对碳层（B)进行分析，结果由于观测到ljgOcnT1附近和ljeOcnT1附近 的2根宽的拉曼光谱带，所以判断形成了无定形碳层。
[0093] 使用进行过铜蒸镀的试样，测定各层的膜厚，结果碳层（B)的厚度为0. 02ym。金 属层（C)的厚度为2ym。测定剥离力，结果由于以2g可以完全地剥离铜蒸镀膜，所以剥离 性判定为〇。另外，关于金属层（C)，可以确认在该层全部100原子％中以50原子％以上、 100原子％以下的比例含有铜原子。
[0094] (实施例4)
[0095] 与实施例1相同，使用东芝Materials株式会社制钼片（厚度：100ym)作为基材 (A)。将其切成100mmX100mm见方后使用。
[0096] 在批量式溅射装置中，利用溅射在基材（A)的一面形成碳层（B)。此时的条件为， 将极限真空度设为〇. 〇3Pa，导入气体使用氩100原子％的气体，调整流量使得装置内的压 力成为0? 5Pa来导入。在碳靶（56mmX106mmX5mm)上连接DC电源，以80W溅射2分钟。制 备2片，使用其中1片作为评价用试样。
[0097] 对于剩余的1片，使用批量式蒸镀装置，在碳层（B)上蒸镀铜作为金属层（C)。此 时的条件为，将极限真空度设为〇. 〇2Pa，在厚度为0. 3mm的钨舟皿上装载5g铜，以200A电 流蒸镀3分钟。
[0098] 使用评价用试样，测定碳层（B)中的原子浓度，结果不含N，C为99原子％。通过 拉曼光谱分析对碳层（B)进行分析，结果由于观测到1，590CHT1附近和1，360CHT1附近的2 根宽的拉曼光谱带，所以判断形成了无定形碳层。
[0099] 使用进行过铜蒸镀的试样，测定各层的膜厚，结果碳层（B)的厚度为0. 02ym。金 属层（C)的厚度为2ym。测定剥离力，结果由于以7g可以完全地剥离铜蒸镀膜，所以剥离 性判定为〇。另外，关于金属层（C)，可以确认在该层全部100原子％中以50原子％以上、 100原子％以下的比例含有铜原子。
[0100](实施例5)
[0101] 与实施例1相同，使用东芝Materials株式会社制钼片（厚度：100ym)作为基材 (A)。将其切成100mmX100mm见方后使用。
[0102] 将株式会社Audec制石墨涂料（商标blacklub)在基材（A)的一面喷雾2秒，并 在450°C的马弗炉中烧制10秒，形成碳膜（B)。制备2片，使用其中1片作为评价用试样。
[0103] 对于剩余的1片，使用批量式蒸镀装置，在碳层（B)上蒸镀铜作为金属层（C)。此 时的条件为，将极限真空度设为〇. 〇2Pa，在厚度为0. 3mm的钨舟皿上装载5g铜，以200A电 流蒸镀3分钟。
[0104] 使用评价用试样，测定碳层（B)中的原子浓度，结果不含N，C为99原子％。通过 拉曼光谱分析对碳层（B)进行分析，结果由于只在