ljgOcnT1附近观测到拉曼光谱带，所以 判断形成了石墨状碳。
[0105] 使用进行过铜蒸镀的试样，测定各层的膜厚，结果碳层（B)的厚度为0.2ym。金属 层（C)的厚度为2ym。测定剥离力，结果由于以10g可以完全地剥离铜蒸镀膜，所以剥离 性判定为〇。另外，关于金属层（C)，可以确认在该层全部100原子％中以50原子％以上、 100原子％以下的比例含有铜原子。
[0106] (实施例6)
[0107] 与实施例1相同，使用东芝Materials株式会社制钼片（厚度：100ym)作为基材 (A)。将其切成100mmX100mm见方后使用。
[0108] 在批量式溅射装置中，利用溅射在基材（A)(钼片）的一面形成碳层（B)。此时的 条件为，将极限真空度设为〇. 〇3Pa，导入气体使用氩40原子％和氮60原子％的混合气体， 调整流量使得装置内的压力成为〇. 5Pa来导入。若使用混合气体，则可以调整溅射的稳定 性，所以混入了容易放电的氩气。在碳靶（56mmX106mmX5mm)上连接DC电源，以88W溅射 2分钟。制备2片，使用其中1片作为评价用试样。
[0109] 对于剩余的1片，使用批量式蒸镀装置，在碳层（B)上蒸镀铜作为金属层（C)。此 时的条件为，将极限真空度设为〇. 〇2Pa，在厚度为0. 3mm的钨舟皿上装载5g铜，以200A电 流蒸镀3分钟。
[0110] 使用评价用试样，测定碳层（B)中的原子浓度，结果N为0.1原子％、C为99.9原 子％。通过拉曼光谱分析对碳层（B)进行分析，结果由于观测到1，590CHT1附近和1，360CHT1 附近的2根宽的拉曼光谱带，所以判断形成了无定形碳层。
[0111] 使用进行过铜蒸镀的试样，测定各层的膜厚，结果碳层（B)的厚度为0.01ym。金 属层（C)的厚度为2ym。测定剥离力，结果由于以3g可以完全地剥离铜蒸镀膜，所以剥离 性判定为〇。另外，关于金属层（C)，可以确认在该层全部100原子％中以50原子％以上、 100原子％以下的比例含有铜原子。
[0112] (实施例7)
[0113] 与实施例1相同，使用东芝Materials株式会社制钼片（厚度：100ym)作为基材 (A)。将其切成100mmX100mm见方后使用。
[0114] 在批量式溅射装置中，利用溅射在基材（A)(钼片）的一面形成碳层（B)。此时的 条件为，将极限真空度设为〇. 〇3Pa，导入气体使用氩90原子％和氮10原子％的混合气体， 调整流量使得装置内的压力成为〇. 5Pa来导入。若使用混合气体，则可以调整溅射的稳定 性，所以混入了容易放电的氩气。在碳靶（56mmX106mmX5mm)上连接DC电源，以88W溅射 2分钟。制备2片，使用其中1片作为评价用试样。
[0115] 对于剩余的1片，使用批量式蒸镀装置，在碳层（B)上蒸镀铜作为金属层（C)。此 时的条件为，将极限真空度设为〇. 〇2Pa，在厚度为0. 3mm的钨舟皿上装载5g铜，以200A电 流蒸镀3分钟。
[0116] 使用评价用试样，测定碳层（B)中的原子浓度，结果N为0.1原子％、C为99.9原 子％。通过拉曼光谱分析对碳层（B)进行分析，结果由于观测到1，590CHT1附近和1，360CHT1 附近的2根宽的拉曼光谱带，所以判断形成了无定形碳层。
[0117] 使用进行过铜蒸镀的试样，测定各层的膜厚，结果碳层（B)的厚度为0.01ym。金 属层（C)的厚度为2ym。测定剥离力，结果由于以6g可以完全地剥离铜蒸镀膜，所以剥离 性判定为〇。另外，关于金属层（C)，可以确认在该层全部100原子％中以50原子％以上、 100原子％以下的比例含有铜原子。
[0118] (实施例8)
[0119] 与实施例1相同，使用东芝Materials株式会社制钼片（厚度：100ym)作为基材 (A)。将其切成100mmX100mm见方后使用。
[0120] 在批量式溅射装置中，利用溅射在基材（A)(钼片）的一面形成碳层（B)。此时的 条件为，将极限真空度设为〇. 〇3Pa，导入气体使用氩15原子％和氮85原子％的混合气体， 调整流量使得装置内的压力成为0. 5Pa来导入。若使用混合气体，则可以调整溅射的稳定 性，所以混入了容易放电的氩气。在碳靶（56mmX106mmX5mm)上连接DC电源，以90W溅射 2分钟。制备2片，使用其中1片作为评价用试样。
[0121] 对于剩余的1片，使用批量式蒸镀装置，在碳层（B)上蒸镀铜作为金属层（C)。此 时的条件为，将极限真空度设为〇. 〇2Pa，在厚度为0. 3mm的钨舟皿上装载5g铜，以200A电 流蒸镀3分钟。
[0122] 使用评价用试样，测定碳层（B)中的原子浓度，结果N为7原子％、C为99.9原 子％。通过拉曼光谱分析对碳层（B)进行分析，结果由于观测到1，590CHT1附近和1，360CHT1 附近的2根宽的拉曼光谱带，所以判断形成了无定形碳层。
[0123] 使用进行过铜蒸镀的试样，测定各层的膜厚，结果碳层（B)的厚度为0. 01ym。金 属层（C)的厚度为2ym。测定剥离力，结果为12g。虽然剥离性判定为〇，但与实施例1? 6相比，变得难以剥离。另外，关于金属层（C)，可以确认在该层全部100原子％中以50原 子％以上、100原子％以下的比例含有铜原子。
[0124] (比较例1)
[0125] 使用东芝materials制钼片（厚度：100ym)作为基材（A)。将其切成 lOOmmX100mm见方后使用。
[0126] 使用批量式蒸镀装置，在基材（A)(钼片）的一面蒸镀铜作为金属层。此时的条件 为，将极限真空度设为〇. 〇2Pa，在厚度为0. 3mm的钨舟皿上装载5g铜，以200A电流蒸镀3 分钟。
[0127] 使用未使用的钼片，通过拉曼光谱分析进行分析，结果由于只观测到来自钼的拉 曼光谱带，所以判断没有无定形碳。
[0128] 使用制备的试样，通过TEM测定铜的膜厚，结果为2ym。测定剥离力，结果以100g 牵拉，但铜有斑状剥离，为难以作为电极使用的状态，判定剥离性为X(即，由于符合剥离 力大于20g的情况，并且符合存在金属层从试样表面未剥离的部分的情况，所以判定剥离 性为X。）。
[0129]
【主权项】
1. 一种层合体，其特征在于，按下述顺序具有基材、以碳原子为主要成分的碳层、和以 铜原子为主要成分的金属层。
2. 如权利要求1所述的层合体，其中，所述基材为金属板。
3. 如权利要求1或2所述的层合体，其中，所述碳层为无定形碳层。
4. 如权利要求1?3中任一项所述的层合体，其中，在所述碳层的100原子％中，以5 原子％以下的比例含有N原子。
5. 如权利要求1?4中任一项所述的层合体，其中，所述碳层为利用溅射得到的层，所 述金属层为利用溅射以外的气相层合法得到的层。
6. 如权利要求1?5中任一项所述的层合体，其中，所述碳层和所述金属层以相接的方 式层合。
7. 如权利要求1?6中任一项所述的层合体，其中，所述碳层的厚度为0. 005?10 ym。
8. 如权利要求1?7中任一项所述的层合体，其中，所述金属层的厚度为0. 05? 30 u m〇
【专利摘要】一种层合体，其是按下述顺序层合基材(A)、以碳原子为主要成分的碳层(B)和以铜元素为主要成分的金属层(C)而形成的。例如，基材(A)由金属板形成，碳层(B)由厚0.005～10μm的无定形碳层形成。本发明涉及一种可以在形成用于电子仪器等的电极金属时适合使用的层合体，并可在经济方面以低廉成本提供一种能利用转印法在用作电路的基板上容易地形成作为电极的金属层的层合体。
【IPC分类】B32B9-00, B32B15-04
【公开号】CN104582950
【申请号】CN201380043752
【发明人】谷知, 琴浦正晃
【申请人】东丽株式会社
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2013年8月26日
【公告号】EP2894030A1, WO2014038424A1