专利名称：流延模、模头的制造方法及膜的制造方法
技术领域：
本发明涉及ー种流延模(casting die)、模头的制造方法及膜的制造方法。
背景技术：
由于包含透光性的聚合物膜(以下称为膜)轻质且容易成型，因此作为光学膜广泛利用。其中，利用纤维素酰化物等的纤维素酯类膜除了用作照片感光用膜以外，还用作液晶显示装置的光学膜。液晶显示装置的光学膜是指例如偏光板保护膜或相位差膜等。作为膜的主要制造方法已知有溶液制膜方法。溶液制膜方法中，依次进行流延膜形成エ序、流延膜干燥エ序、剥离エ序及湿润膜干燥エ序。流延膜形成エ序中，利用流延模从流延模流出包含聚合物与溶剂的聚合物溶液(以下称为浓液)，在移动的支撑体上形成流延膜。流延膜干燥エ序中，使溶剂从流延膜蒸发直到流延膜能够独立传送。剥离エ序中， 从支撑体剥下经流延膜干燥エ序的流延膜来作成湿润膜。湿润膜干燥エ序中，使溶剂从湿润膜蒸发来作成膜。流延模具有I对模唇板、I对侧板及流道。I对模唇板设置成靠近支撑体的移动方向而排列。I对侧板设置成从一方的模唇板横跨另一方的模唇板而延伸。流道被I对模唇板及I对侧板包围而成。在与浓液的流动方向正交的面上，流道形成为短边向支撑体的移动方向延伸且长边向支撑体移动路的宽度方向延伸的矩形。该模唇板和侧板由热膨胀率小且相对于溶剂溶解性较低的不锈钢(例如SUS316L等)形成。流延模从流道出ロ朝向移动的支撑体流出浓液。其结果，一方的模唇板的前端部与支撑体之间形成液珠。在流延膜形成エ序中，若液珠变得不稳定，则会导致流延膜发生厚度不均。因此，通过使成为液珠形成的起点的相应模唇板的前端部尖鋭化来谋求液珠的稳定化。不均是指不均匀的状态或不均匀。但是，由于SUS316L的维氏硬度为Hvl80左右比较柔软，因此很难通过机械加工使前端部尖鋭化。因此，有在模唇板的前端部设置比SUS316L更硬质的层(以下称为硬质层) 之后，实施预定的机械加工的方法。由此，能够使模唇板的前端部尖鋭化。作为该硬质层， 已知有例如如日本专利公开2003-200097号公报中记载的碳化钨层。并且，模唇板的前端部的优选形状根据膜的制造条件而变化。因此，将模唇板分为形成流道入ロ的模唇板主体与形成流道出ロ的前端部(以下称为模头)，在模唇板主体拆卸自如地设置模头。通过利用这样的模头，可轻松在I个生产线切换制造多种膜。但是，若长时间连续进行流延膜形成エ序，则设置于模头上的碳化钨层会腐蚀。碳化钨层的腐蚀由粘合剂金属(钴原子等)的洗脱引起。若以碳化钨层腐蚀的状态使用流延摸，则会因碳化钨层的剥落而导致膜表面发生条纹的故障。因此，每进行一定时间的流延膜形成エ序后不得不停止流延膜形成エ序而更换新的模头，这样会导致膜的生产效率下降。 从这样的背景考虑优选将寿命长于碳化鹤层且稳定的类金刚石(Diamond Like Carbon, DLC)膜形成于模头。DLC膜优选利用热化学气相蒸镀(Chemical Vapor Deposition, CVD) 形成于模头。但是，若利用热CVD在模头形成DLC膜，则会导致模头发生翘曲。发生翘曲的模头很难安装于模唇板主体。近几年，随着液晶显示装置的大型化，制造宽度宽的光学膜成为光学膜供应商的新课题。为了制造宽度宽的光学膜必须将I对侧板的间隔设成比以往大，且加长模唇板主体或模头。但是，因模头的长度加长，形成DLC膜时发生的模头的翘曲量也増大。因此，很难制造对应膜宽幅化的流延模。
发明内容
本发明解决这样的课题，其目的在于，提供一种对应宽幅化的流延模及其制造方法以及膜的制造方法。本发明的流延模设置有包含聚合物及溶剂的浓液的流道，流出所述浓液，且包含有I对侧板、I对模唇板及DLC膜。I对侧板分离并相互対向。I对模唇板从一方的所述侧板朝向另一方的所述侧板而设置并相互対向。所述流道被所述I对侧板及所述I对模唇板包围而成。所述模唇板具有模唇板主体和模头，所述模唇板主体构成所述流道入口。所述模头安装于所述模唇板主体并构成所述流道出口。所述模头为不锈钢制。所述模头的截面为楔形。所述I对侧板的排列方向上的所述模头的长度除以与所述排列方向正交的方向上的所述模头的长度的值为50以上。DLC膜设置于所述模头的前端，且在130°C以上200°C以下的处理温度下形成。优选在所述排列方向上的所述模头的长度为1500mm以上。优选所述模头包含由不锈钢构成的模头主体和碳化钨层。所述碳化钨层设置于截面为楔形的所述模头主体的前端。优选所述DLC膜的厚度为2 m以下。本发明的膜的制造方法包含流延膜形成步骤、流延膜干燥步骤、剥离步骤、湿润膜干燥步骤。流延膜形成步骤从流延模流出浓液并在支撑体上形成由所述浓液构成的流延膜。所述浓液包含聚合物及溶剤。所述流延模具有I对侧板和I对模唇板。所述I对侧板分离并相互対向。所述I对模唇板从一方的所述侧板朝向另一方的所述侧板而设置并相互对向。所述浓液的流道被所述I对侧板及所述I对模唇板包围而成。所述模唇板具有模唇板主体和模头。所述模唇板主体构成所述流道入口。所述模头安装于所述模唇板主体并构成所述流道出口。所述模头为不锈钢制。所述模头的截面为楔形。所述I对侧板的排列方向上的所述模头的长度除以与所述排列方向正交的方向上的所述模头的长度的值为50以上。所述模头的前端设置有在130°C以上200°C以下的处理温度下形成的DLC膜。流延膜干燥步骤使所述溶剂从所述流延膜蒸发直到所述流延膜能够独立传送。剥离步骤从所述支撑体剥离所述流延膜来作成湿润膜。湿润膜干燥步骤使所述溶剂从所述湿润膜蒸发来作成膜。本发明的模头的制造方法为构成形成于流延模的所述浓液的流道出口的模头的制造方法。所述浓液包含聚合物及溶剤。所述流道被I对侧板和I对模唇板包围而成。所述I对侧板分离并相互対向。所述I对模唇板从一方的所述侧板朝向另一方的所述侧板而设置并相互対向。所述模唇板具有构成所述流道入ロ的模唇板主体和表面设置有DLC膜的不锈钢制的所述模头。该模头的制造方法包含准备步骤(A步骤)和固化膜形成步骤(B步骤)。A步骤准备不锈钢制的模头主体。B步骤通过气相蒸镀法在所述模头主体的表面设置所述DLC膜来获得所述模头。所述I对侧板的排列方向上的所述模头的长度除以与所述排列方向正交的方向上的所述模头的长度的值为50以上。所述气相蒸镀法的处理温度为 130°C以上200°C以下。所述气相蒸镀法优选离子化蒸镀、离子镀及等离子CVD中的任一方法。所述B步骤中，通过实施氟涂布的固定件固定靶电极和所述模头主体，利用螺栓紧固所述模头主体与所述固定件。优选在所述B步骤中，在所述I对侧板的排列方向上并列设置的紧固部位上通过所述螺栓紧固所述模头主体与所述支撑部件。随着从所述I对侧板的排列方向的中央部朝向两端侧所述螺栓的拧紧转矩变得越来越小。根据本发明，能够抑制模头的翘曲的同时在模头形成寿命长的DLC膜。能够通过利用包含这种模头的流延模有效地制造宽度宽的膜。本领域技术人员通过參考附图并阅读优选实施例的详细说明，可以容易理解上述目的及优点。
图I是表示溶液制膜设备的概要的说明图。图2是表示配置于流延室内的流延模等的概要的说明图。图3是表示流延模的前端部分的概要的局部截面图。图4是表示模具主体的概要的立体图。图5是表示模具主体的概要的分解立体图。图6是表示设置于流延模的流道的概要的立体图。图7是表示狭缝流道的概要的截面图。图8是表示具有模唇板主体和模头的模唇板的概要的立体图。图9是表示具有模唇板主体和模头的模唇板的概要的分解立体图。图10是表示模头的概要的截面图。图11是表示模头主体的概要的截面图。图12是表示构成出口的模唇板的前端部分的概要的截面图。图13是表示DLC膜形成装置的概要的截面图。图14是表示安装于固定件的模头的概要的立体图。图15是表示固定件与安装于固定件的模头的概要的立体图。
具体实施例方式(溶液制膜设备)如图I所示，溶液制膜设备10具有流延室12、针板拉幅机13、干燥室15、冷却室 16及卷取室17。如图I及图2所示，流延室12中设置流延模21、流延滚筒22、减压室23 及剥离棍24。流延滚筒22由水平配设的驱动轴22a和轴着(固定)于驱动轴22a的滚筒主体 22b构成。驱动轴22a与驱动装置(未图示)连接。流延滚筒22优选不锈钢制，从具有充分的耐腐蚀性和强度这一点来看更优选SUS316L制。
如图2及图3所示，具有浓液28流通的流道29的流延模21具有前端尖锐的模具主体30。流延模21通过托架(未图示)安装于流延室12以便模具主体30朝向预定的方向。流道29的出口 29o在模具主体30的下方前端部分开ロ。模具主体30配设成出ロ 29o 靠近周面22bx。在后面详细叙述流延模21。在出口 29o附近，流延滚筒22的周面22bx通过驱动轴22a的驱动以预定速度向恒定方向移动。以下将周面22bx的移动方向称为Zl方向。流延模21从出口 29o流出浓液 28 (參考图I)。从出ロ 29o流出且到达周面22bx之前的浓液28形成液珠33 (參考图3)。 使到达周面22bx的浓液28在周面22bx上向Zl方向延长的结果形成帯状的流延膜34。这样，在流延室12中进行通过流延模21及流延滚筒22在周面22bx上形成由浓液28构成的流延膜34的流延膜形成エ序。另外，在流延滚筒22中进行使溶剂从流延膜34蒸发的流延膜干燥エ序。减压室23配置于比流延模21更靠Zl方向的上游。在控制部(未图示)的控制下，减压室23吸引靠液珠33的Zl方向上游侧的气体。通过吸引该气体形成液珠33的上游侧的压力低于液珠33的下游侧的压カ的状态。能够通过减压室23吸引随着周面22bx的移动而发生且在周面22bx附近流向Zl方向的携帯风。因此，能够抑制由与携帯风的冲突引起的液珠33的振动。另外，能够缩短液珠33的长度，因此能够抑制液珠33的振动。优选液珠33的上游侧及下游侧的压カ差AP为IOPa以上2000Pa以下。在流延滚筒22连接有调温装置32。调温装置32内置有调节传热介质的温度的温度调节部。调温装置32使调节成所希望的温度的传热介质在温度调节部及设置于流延滚筒22内的流道之间循环。通过该传热介质的循环能够将流延滚筒22的周面22bx的温度保持成所希望的温度。并且，通过设置冷凝流延室12内的氛围中所含的溶剂的冷凝装置 (未图示)及回收冷凝的溶剂的回收装置(未图示)，能够将流延室12内的氛围中所含的溶剂的浓度保持在恒定的范围内。剥离辊24配设在比流延模21更靠Zl方向的下游侧。剥离辊24进行剥离形成在周面22bx上的流延膜34来作成湿润膜35的剥离エ序。湿润膜35引导至流延室12的下游侧。在流延室12的下游从上游侧依次设置有针板拉幅机13、干燥室15、冷却室16及卷取室17。在流延室12与针板拉幅机13之间的转送部40排列有多个支承湿润膜35的支撑辊41。支撑辊41通过未图示的马达以轴为中心旋转。支撑辊41支承从流延室12送出的湿润膜35并引导至针板拉幅机13。图I中，表示在转送部40排列有2个支撑辊41的情况。但是，本发明不限于此，可在转送部40排列3个以上的支撑辊41。另外，支撑辊41也可为自由辊。针板拉幅机13具有保持部件(未图示)、带轮(未图示)及干燥风供给机(未图示)。保持部件设为环状，且具有贯穿湿润膜35的宽度方向的两端来进行保持的多个销 (未图示)。带轮使保持部件循环行驶。干燥风供给机将干燥风供给至通过销保持的湿润膜35。针板拉幅机13的入口设置有使湿润膜35的宽度方向的两端啮入于销的毛刷(未图示)。销通过毛刷的按压贯穿湿润膜35的宽度方向的两端。并且，通过销保持两端的湿润膜35通过保持部件的循环行驶而被传送。溶剂通过与干燥风的接触而从湿润膜35蒸发， 结果能够从湿润膜35获得膜45。这样，从转送部40到针板拉幅机13进行使溶剂从湿润膜35蒸发来作成膜45的湿润膜干燥エ序。在针板拉幅机13与干燥室15之间设置有切边装置47。送出至切边装置47的膜 45的宽度方向的两端形成有由销形成的贯穿痕。切边装置47切开具有该贯穿痕的两端部分。该被切开的部分通过送风依次送至截断风机(未图示)及破碎机(未图示)，被较细地切割并作为浓液等的原料进行再利用。干燥室15中设置有多个棍49,膜45卷在这些棍上被传送。干燥室15内的氛围的温度或湿度等通过未图示的空调机调节。干燥室15中进行膜45的干燥处理。在干燥室 15连接有吸附回收装置52。吸附回收装置52通过吸附回收从膜45蒸发的溶剤。冷却室16对膜45进行冷却直到膜45的温度成为大致室温。在冷却室16与卷取室17之间，从上游侧依次设置除电棒54、滚花赋予辊55及切边装置56。除电棒54进行对从冷却室16送出且带电的膜45进行除电的除电处理。滚花赋予辊55向膜45的宽度方向两端赋予卷取用滚花。切边装置56以在切割后的膜45的宽度方向两端留有滚花的方式切割膜45的宽度方向两端。卷取室17中设置有具有压辊61和卷芯62的卷取机63。被送至卷取室17的膜 45通过压辊61按压的同时卷取在卷芯62而呈辊状。如图4及图5所示，模具主体30具有不锈钢制(SUS316或SUS316L等)的I对侧板71与I对模唇板72。I对模唇板72从周面22bx的一端横跨另一端延设。I对模唇板 72以相对周面22bx竖立的姿势在Zl方向上分开排列。I对侧板71从一方的模唇板72横跨另一方的模唇板72延设。I对侧板71以相对周面22bx竖立的姿势在滚筒主体22b的轴向(以下称为Z2方向)上分开排列。这样，I对模唇板72的流道形成面72a正面相对，且 I对侧板71的流道形成面71a正面相対。并且，I对流道形成面71a的间隔大于I对流道形成面72a的间隔。如图5及图6所示，流道29被I对流道形成面71a与I对流道形成面72a包围而成。如图6所示，流道29上，从在模具主体30的上部开ロ的入口 29i朝向出ロ 29o依次设置有入口流道29a、歧管29b及狭缝流道29c。入口流道29a将从入口 29i流入的浓液28 送至歧管29b。歧管29b使浓液28向Z2方向扩展的同时缓轻浓液28中所含的聚合物分子的变形后将浓液28送至狭缝流道29c。狭缝流道29c将浓液28送至出口 29o。如图7所示，狭缝流道29c在与流道29内的浓液28的流动方向Z3正交的面上形成为矩形。在与方向Z3正交的面上，狭缝流道29c的截面形状的I对长边由流道形成面 72a构成，短边由流道形成面71a构成。如图8及图9所示，模唇板72可分割成模唇板主体81与模头82。模唇板主体81 为不锈钢制(SUS316或SUS316L等)，为入口 29i的构成部件。模头82的截面为楔形，为出 ロ 29o的构成部件。模头82在模唇板主体81上装卸自如。模唇板72的分割位置在流道形成部72a中狭缝流道29c的中途。(模头)如图9及图10所示，模头82包含模头主体85和设置于模头主体85的DLC膜86。 如图10、图11所示，楔形的模头主体85包含构成出ロ 29o的前端部90和用于在模唇板主体81安装的安装部91。前端部90朝向Z3方向尖锐地形成。如图11所示，前端部90由作为流道形成面72a(參考图7)的一部分的接液面90a和在外部露出的露出面90b构成。模头主体85为不锈钢制(SUS316或SUS316L等)，且形成为大致楔形。在模头主体85的前端部90以露出的方式设置硬质层92。硬质层92的维氏硬度 Hv大于模头主体85的维氏硬度Hv。并且，硬质层92的维氏硬度Hv小于DLC膜86的维氏硬度Hv。优选硬质层92的维氏硬度Hv在1000以上2000以下。并且，优选DLC膜86的维氏硬度Hv为1200以上2500以下。维氏硬度Hv为以IS014577压痕硬度(indentation hardness, Oliver&Pharr计算方法)换算的值。硬质层92 的形成材料可举出碳化鹤(Tungsten Carbide, WC)、A1203、TiN、Cr2O3 等，尤其优选WC。此外，作为WC，除了添加有作为粘合剂金属的钴的WC-Co系之外，还可举出WC-Ni系、WC-TiC系及WC-TaC系等并均可利用于本发明。硬质层92例如可通过热喷涂形成。硬质层92的厚度例如为50 ii m以上200 y m以下。示出具有硬质层92的模头主体85的形成方法的一例。首先，在楔形的模头主体 85的尖鋭部分凹设硬质层形成区。接着，在设置成凹状的硬质层形成区设置硬质层92。并且，形成硬质层92后，以模头主体85形成为硬质层92在前端部90露出的楔形的方式对整个模头主体85进行预定的机械加工。如图11所示，在将Z3方向上的模头82的长度设为Lz3且Z3方向的正交方向上的模头82的长度设为Lx时，优选(Lx/LZ3)的值为50以上400以下。并且Lx优选在1500mm以上，更优选在2000mm以上。在此，Z3方向的正交方向可为Z2方向也可为Zl方向。因此， 在将Zl方向上的模头82的长度设为Lzi且Z2方向上的模头82的长度设为Lz2吋，(LX/LZ3)
可表^]^为(しぬ/しロ)或(Lzi/Lz3)。安装部91上沿Z2方向并列设置有贯穿模头主体85的贯穿孔95。如图12所示， 在模唇板主体81设置螺纹孔96。这样，通过贯穿孔95将紧固螺栓97螺固于螺纹孔96，由此紧固模唇板主体81和模头82。另外，图12中，为了避免图面的复杂化，省略表示DLC膜 86。(DLC 膜)如图10所不,DLC膜86设置在模头主体85的整个表面。能够利用公知的气相蒸镀法作为DLC膜86的形成处理。为了缩小处理后的模头82的翘曲量，优选处理时的模头主体85的温度Tl为130°C以上200°C以下。作为气相蒸镀方法具体有等离子CVD、离子镀、 离子化蒸镀法等，其中优选离子化蒸镀法。优选DLC膜86的厚度D例如为I ii m以上2 ii m 以下。如图13所示，DLC膜形成装置99具有反射体100、阳极101、阴极102、靶电极103 及气体导入管104。反射体100为具有底部的圆筒状。阳极101以与反射体100电性绝缘的状态设置于反射体100内。阴极102与反射体100电性绝缘地设置于比阳极101更靠反射体100的开ロ端侧。靶电极103由不锈钢构成并设置于反射体100的开ロ端的前方。气体导入管104在反射体100的内部空间具有开ロ端。在靶电极103通过固定件106安装有模头主体85。以阴极102的电位为基准时反射体100、阳极101及靶电极103的各电位分别为负电位，且电位以阳极101、反射体100、靶电极103顺序变低。如图14及图15所示，不锈钢制的固定件106包含固定板110、2个足板111及固定螺栓112。固定板110与模头主体85紧固。2个足板111从固定板110突出设置。固定螺栓112紧固模头主体85和固定板110。固定板100上沿Z2方向并列设置有螺纹孔115。
9通过贯穿孔95将固定螺栓112螺固于螺纹孔115，由此紧固固定件106与模头主体85。如图13所示，反应气体(C6H6等)117从气体导入管104导入至反射体100的内部空间。在阳极101与阴极102之间因直流电弧放电而发生等离子体。根据该等离子体从反应气体117生成碳化氢离子。所生成的碳化氢离子朝向靶电极103。这样，碳化氢离子碰撞安装于靶电极103的模头主体85，结果在模头主体85形成DLC膜86。这样，DLC膜形成装置99中进行通过预定的气相蒸镀法从模头主体85获得模头82的固化膜形成エ序。在此，模头主体85通过气相蒸镀法加热至预定温度。并且，在进行气相蒸镀方法之后冷却至室温。该加热及冷却的过程中在模头主体85产生翘曲。因此，对固定板110的表面实施氟涂布，并且将摩擦性低于模头主体85的形成材料(例如SUS316L)的氟膜设置于固定板110的表面。以通过低摩擦性的氟膜固定模头主体85的状态进行气相蒸镀方法， 由此能够抑制模头主体85的翘曲的同时在模头主体85形成DLC膜86 (參考图10)。并且， 优选随着从Z2方向中央部朝向Z2方向两端部，固定螺栓112 (參考图15)的拧紧转矩变得越来越小。例如，Z2方向中央部的中央部固定螺栓(尺寸为M6)的拧紧转矩为ION m, Z2 方向端部的端部固定螺栓(尺寸为M6)的拧紧转矩为3N*m。并且，中央部固定螺栓及端部固定螺栓之间的固定螺栓(尺寸为M6)的拧紧转矩为5N m。由此，能够抑制模头主体85 的翘曲的同时在模头主体85形成DLC膜86 (參考图10)。上述实施方式中，将形成DLC膜86的范围设为模头主体85的整个表面，但设为至少模头主体85的前端部90即可。上述实施方式中，为了将流延膜34设为可独立传送的状态而对流延膜34进行冷却，但本发明不限于此，可使溶剂从流延膜34蒸发。上述实施方式中，利用流延滚筒22作为支撑体。但是，支撑体不限于流延滚筒22， 可利用挂绕于以轴向呈水平的方式配置的辊上的流延带。当流延浓液时本发明能够进行如下流延，即将2种以上的浓液同时共流延来使其层叠的同时层叠共流延，或者将多个浓液逐次共流延来使其层叠的逐次层叠共流延。另外， 可组合两种共流延。进行同时层叠共流延时，可利用安装有进料头的流延模，也可利用多凹槽型流延模。(聚合物)作为聚合物能够利用纤维素酰化物或环状聚烯烃等。(纤维素酰化物)在本发明的纤维素酰化物中使用的酰基可为仅I种或者也可使用2种以上的酰基。利用2种以上的酰基时，优选其中I个为こ酰基。优选由羧酸酯化纤维素的羟基的比例，即酰基的取代度满足整个下述公式(I) (III)。另外，在以下公式(I) (III)中，A 及B表示酰基的取代度，A为こ酰基的取代度且B为碳原子数3 22的酰基的取代度。另外，优选，三醋酸纤维素(cellulose triacetate,TAC)的90质量％以上为0. Imm 4mm的颗粒。(I) 2. 0 彡 A+B 彡 3. 0(II) I. 0 ^ A ^ 3. 0(III)O ^ B ^ 2. 0酰基的总取代度A+B更优选为2. 20以上2. 90以下，尤其优选为2. 40以上2. 88以下。并且，碳原子数3 22的酰基的取代度B更优选为0. 30以上，尤其优选为0. 5以上。作为纤维素酰化物的原料的纤维素可为从棉绒纤维、浆料中的任何I个获得的纤维素。作为本发明的纤维素酰化物的碳数为2以上的酰基，可以是脂肪族基也可以是芳基，不特别限定。这些例如为纤维素的烷羰基酷、烯羰基酯或芳香族羰基酯、芳香族烷羰基酷等，可以分别具有进ー步被取代的基团。作为这些的优选例子，可以举出丙酰、丁酰、戊酰、己酰、辛酰、癸酰、十二烷酰、十三烷酰、十四烷酰、十六烷酰、十八烷酰、异丁酰、叔丁酰、 环己烷羰、油酰、苯甲酰、萘羰、肉桂酰等。这些当中，更优选丙酰、丁酰、十二烷酰、十八烷酰、叔丁酰、油酰、苯甲酰、萘羰、肉桂酰等，尤其优选丙酰、丁酰。(溶剂)作为制备浓液的溶剂可以举出芳香族烃(例如，苯、甲苯等)、卤代烃(例如，ニ氯甲烷、氯苯等)、醇(例如，甲醇、こ醇、正丙醇、正丁醇、ニ甘醇等)、酮(例如，丙酮、甲こ酮等)、酷(例如，こ酸甲酷、こ酸こ酷、こ酸丙酯等)及醚(例如，四氢呋喃、甲基溶纤剂等) 等。另外，本发明中，浓液是指将聚合物溶解或分散于溶剂而获得的聚合物溶液、分散液。这些中优选使用碳原子数为I 7的卤代烃，最优选使用ニ氯甲烷。从TAC的溶解性、流延膜从支撑体的剥离性、膜的机械强度及膜的光学特性等物性的观点考虑，优选除了ニ氯甲烷之外还混合ー种乃至数种碳原子数为I 5的醇。醇的含量优选相对于整个溶剂为2质量％ 25质量％，更优选为5质量％ 20质量％。作为醇的具体例可以举出甲醇、こ醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇等，优选使用甲醇、こ醇、正丁醇或它们的混合物。但是，最近以将对环境的影响抑制到最小限度为目的，对不使用ニ氯甲烷时的溶剂组成也正在进行研究，对于该目的，优选使用碳原子数为4 12的醚、碳原子数为3 12 的酮、碳原子数为3 12的酷、碳原子数为I 12的醇。有时适当地混合这些来使用。例如，可以举出こ酸甲酷、丙酮、こ醇、正丁醇的混合溶剤。这些醚、酮、酷及醇可以具有环状结构。而且，具有2个以上醚、酮、酷及醇的官能团(即，-O-、-CO-、-C00-及-0H)中的任意一种的化合物也能够用作溶剤。(添加剂)可向浓液添加预定的添加剤。作为本发明中使用的添加剂有增塑剂、紫外线吸收剂等。作为增塑剂优选使用缩聚酷。膜45的厚度优选在20 ii m以上120 u m以下，更优选40 y m以上100 u m以下。膜45的宽度优选在700mm以上3000mm以下，更优选IOOOmm以上2800mm以下，尤其优选1500mm以上2500mm以下。另外，膜45的宽度也可为2500mm以上。(雾度)膜45的雾度优选不到0. 20%，更优选不到0. 15%，尤其优选不到0. 10%。将雾度设为不到0. 2%，由此能够改善组装于液晶显示装置时的对比度比。并且，还有膜的透明性变得更高，更易用作光学膜之类的优点。并且，膜45的面内延迟Re优选在20nm以上300nm以下，膜45的厚度方向延迟 Rth优选在-IOOnm以上300nm以下。面内延迟Re的测定方法为如下。面内延迟Re使用了在温度25°C、湿度60% RH 下调湿样品膜2小吋，并用自动双折射仪(K0BRA21DH王子计量(株))从632. 8nm的垂直方向測定的延迟值。另外，Re由以下公式表示。Re= nl-n2 | X dnl表示慢轴的折射率，n2表示进相轴2的折射率，d表示膜的厚度(膜厚)。厚度方向延迟Rth的测定方法为如下。从在温度25°C、湿度60% RH下调湿样品膜2小时，并用椭圆偏振计(M150日本分光株式会社制)根据632. Snm从垂直方向測定的值和倾斜膜面的同时相同地測定的延迟值的外插值，根据下述公式计算。Rth= {(nl+n2)/2~n3} Xdn3表示厚度方向的折射率。[实施例](实验I)在图13所示的DLC膜形成装置99中通过离子化蒸镀法在模头主体85形成DLC膜 86来获得模头82 (參考图10)。模头主体85利用了整个为SUS316L制，且在前端部90具有WC-Co系硬质层92的模头主体。硬质层92的维氏硬度Hv为1300。关于模头主体85， 长度Lzi为2mm，长度Lz2为2000mm，长度Lz3为20mm。利用在不锈钢(SUS316L)制的固定板110的表面设置有氟膜的固定件106 (參考图14及图15),将模头主体85固定于祀电极 103。硬化膜形成エ序中的模头主体85的温度Tl为150°C 200°C。DLC膜86的膜厚D为
I. 6 レ m0(实验2 7)实验2 7中，除了表I所示的内容之外，与实验I相同，在模头主体85形成DLC 膜86获得模头82。[表 I]
权利要求
1.ー种流延模，其设置有包含聚合物及溶剂的浓液的流道，流出所述浓液，其特征在于包含分离并相互对向的I对侧板；I对模唇板，从一方的所述侧板朝向另一方的所述侧板而设置并相互对向，其中，所述流道被所述I对侧板及所述I对模唇板包围而成，所述模唇板具有模唇板主体和模头，所述模唇板主体构成所述流道入ロ，所述模头安装于所述模唇板主体并构成所述流道出ロ，所述模头为不锈钢制，所述模头的截面为楔形，所述I对侧板的排列方向上的所述模头的长度除以与所述排列方向正交的方向上的所述模头的长度的值为50以上；及DLC膜，设置于所述模头的前端，且在130°C以上200°C以下的处理温度下形成。
2.如权利要求I所述的流延模，其特征在干，所述排列方向上的所述模头的长度为1500mm以上。
3.如权利要求I所述的流延模，其特征在干，所述模头包含由不锈钢构成的模头主体和碳化钨层，所述碳化钨层设置于截面为楔形的所述模头主体的前端。
4.如权利要求I所述的流延模，其特征在干，所述DLC膜的厚度为2 ii m以下。
5.一种膜的制造方法，其特征在于包含以下步骤从流延模流出浓液并在支撑体上形成由所述浓液构成的流延膜，其中，所述浓液包含聚合物及溶剂，所述流延模具有I对侧板和I对模唇板，所述I对侧板分离并相互对向，所述I对模唇板从一方的所述侧板朝向另一方的所述侧板而设置并相互对向，所述浓液的流道被所述I对侧板及所述I对模唇板包围而成，所述模唇板具有模唇板主体和模头，所述模唇板主体构成所述流道入ロ，所述模头安装于所述模唇板主体并构成所述流道出ロ，所述模头为不锈钢制，所述模头的截面为楔形，所述I对侧板的排列方向上的所述模头的长度除以与所述排列方向正交的方向上的所述模头的长度的值为50以上，所述模头的前端上设置有在130°C以上200°C以下的处理温度下形成的DLC膜；使所述溶剂从所述流延膜蒸发直到所述流延膜能够独立传送；从所述支撑体剥离所述流延膜来作成湿润膜；及使所述溶剂从所述湿润膜蒸发来作成膜。
6.一种模头的制造方法，其为构成形成于流延模的所述浓液的流道出口的模头的制造方法，所述浓液包含聚合物及溶剂，所述流道被I对侧板和I对模唇板包围而成，所述I对侧板分离并相互对向，所述I对模唇板从一方的所述侧板朝向另一方的所述侧板而设置并相互对向，所述模唇板具有构成所述流道入口的模唇板主体和表面设置有DLC膜的不锈钢制的所述模头，其特征在于，所述模头的制造方法包含以下步骤(A)准备不锈钢制的模头主体；及(B)通过气相蒸镀法在所述模头主体的表面设置所述DLC膜来获得所述模头，其中，所述I对侧板的排列方向上的所述模头的长度除以与所述排列方向正交的方向上的所述模头的长度的值为50以上，所述气相蒸镀法的处理温度为130°C以上200°C以下。
7.如权利要求6所述的模头的制造方法，其特征在干，所述气相蒸镀法为离子化蒸镀、离子镀及等离子CVD中的任一方法。
8.如权利要求6所述的模头的制造方法，其特征在干，所述B步骤中，通过实施氟涂布的固定件固定靶电极和所述模头主体，利用螺栓紧固所述模头主体与所述固定件。
9.如权利要求8所述的模头的制造方法，其特征在干，所述B步骤中，在所述I对侧板的排列方向上并列设置的紧固部位上通过所述螺栓紧固所述模头主体与所述支撑部件，随着从所述I对侧板的排列方向的中央部朝向两端侧所述螺栓的拧紧转矩变得越来越小。
全文摘要
本发明提供一种流延模、模头的制造方法及膜的制造方法，流道入口在设置有浓液流通的流道的流延模的上部开口。流道出口在流延模的下方前端部开口。流延模具有1对侧板和1对模唇板。流道被1对侧板与1对模唇板包围而成。模唇板由流道的入口的构成部件即模唇板主体和出口的构成部件即模头构成。模头通过螺栓与模唇板主体紧固。模头包含楔形模头主体和设置于模头主体的整个表面的DLC膜。DLC膜通过离子蒸镀法设置于模头主体。
文档编号B29C41/38GK102601906SQ20111044948
公开日2012年7月25日 申请日期2011年12月29日 优先权日2011年1月18日
发明者上田忠, 樋口次郎, 池邉贤治 申请人:富士胶片株式会社