脆性材料基板分割装置及分割方法

专利名称：脆性材料基板分割装置及分割方法
技术领域：
本发明涉及玻璃、半导体、陶瓷等脆性材料基板的分割装置和分 割方法，特别涉及通过沿着划线对形成有划线的脆性材料基板施加应 力来分割脆性材料基板的脆性材料基板分割装置和脆性材料基板分割 方法。
技术背景脆性材料基板一般采用以下的方法来分割。首先，沿着所希望的 分割预定线，利用烧结金刚石制的刀盘、激光照射装置等，在脆性材 料基板的一个表面上形成伴随着垂直的裂缝(以下称为垂直裂缝)的 划线(以下称为划线工序)。然后，通过沿着划线对脆性材料基板施 加压力、或者沿着划线弯曲脆性材料基板，对位于划线两侧的基板部 分作用拉伸力，从而使得上述垂直裂缝沿脆性材料基板的厚度方向伸展一直到达基板G的另一个表面(以下称为背面)。由此，沿着划线 分割脆性材料基板(以下称为断开工序)。专利文献1公开了进行上迷断开工序的现有分割装置。参照图H 和图15对进行上述断开工序的现有分割装置进行说明。图14所示的 分割装置6具有保持着形成有划线的基板G的工作台63(K参照图15)、 夹着该工作台630在上下相对配置的第一辅助辊611和第二辅助辊 621、同样夹着基板G在上下相对配置的基板保持断开辊612和按压断 开辊622、以及同样夹着基板在上下相对配置的第三辅助辊613和第四 辅助辊623。第 一辅助辊611和第二辅助辊621 、基板保持断开辊612和按压断 开辊622、以及第三辅助辊613和第四辅助辊623的各自轴向的中夹部 配置在大致一条直线上。在分割装置6进行断开工序时，如图15所示，以上述各辊611 613、 621 623的轴向中夬部和形成于基板G上的划线S大致一致的方式将 基板G载置于工作台630上。接着，分别利用气缸使第一辅助辊611 和第二辅助辊621以及第三辅助辊613和第四辅助辊623移动到与基板 G接触的位置上并加以保持。另外，利用马达M使基板保持断开辊612和按压断开辊622移动到以既定的压力压接于基板G的位置上并加以 保持。然后，以上述各辊611-613、 621-623沿着划线S移动的方式整 体沿移动方向+X移动，从而第一辅助辊611和第二辅助辊621、基板 保持断开辊612和按压断开辊622、以及第三辅助辊613和第四辅助辊 623分别沿着划线S相继滚过基板G的表面和背面。参照图15来详细说明分割装置6进行断开工序、分割脆性材料基 板的动作。图15是用于说明分割装置6所具有的各辊611 613、621 623 的动作的示意图。配置于基板G下方的按压断开辊622向上方按压基板G背面的对 应于划线S的部位，与按压断开辊622相对配置的基板保持断开辊612 向下方按压基板G表面的划线S的两側部分。在此情况下，基板保持 断开辊612所按压的划线S的两侧部分为按压断开辊622推顶基板G 的对应于划线S的部分的两侧部分，从而，利用按压断开辊622推顶 形成有划线的基板G部分，并且，利用基板保持断开辊612下压其两 侧部分。在此状态下，基板保持断开辊612和按压断开辊622沿着划 线S分别在基板G的表面和背面滚动。由此，构成划线S的垂直裂缝从基板G的表面侧依次扩宽，垂直 裂缝沿基板G的厚度方向伸展直到基板G的背面，由此分割基板G。第一辅助辊611和第二辅助辊621、以及第三辅助辊"3和第四辅 助辊623分别是具有恒定直径的外周面的圆柱形辊。第一辅助辊611 和第二辅助辊621限制基板G在基板G被分割前的挠曲，防止垂直裂 缝伸展到垂直方向以外的方向。第三辅助辊613和第四辅助辊623限 制基板G在基板G被分割后的挠曲，防止因分割基板G而新形成的基 ^反部分的各分割面Bl和B2纟皮此在倾斜的状态下接触。专利文献l: WO2004/096721但是，由于利用现有的分割装置6分割的各基板部分的各分割面 Bl和B2的位置没有受到任何限制，故显然存在各分割面Bl和B2彼 此接触的问题。因此，由于分割面Bl和B2彼此的按压、摩擦等，导 致在各分割面Bl和B2上产生损伤、缺损等表面缺陷，有时会产生基 板材料的粉尘、碎片等。另外，例如，如杲对通过分割基4反G的一側纟彖部并去除无用部分 的侧缘部来制造产品化的基板的情况加以考虑，则在被分离的侧缘部宽度小的情况下，难于利用上述工作台等保持分离下来的侧缘部。在 此情况下，作为产品的基板部分由吸附工作台等加以保持，而分离的 側缘部丝毫没有得到保持，故会产生下述的不良情况。图16 (a) ~ (c)按照图16 (a)、图16 (b)、图16 (c)的顺序按时间表示分割装置6的断开工序中的各辊通过后的基板G的一个剖 面。各图16 (a) (c)所示的基板部分P是分割后由工作台630保持 的产品基板，侧缘部T是分割后未用工作台等保持的基板部分(无用 部)。分割后的侧缘部T随着上述各辊的移动远离，而在自重的作用 下垂向下方。因此，在图16 (a)和图16 (b)所示的各分割面Bl和 B2彼此接触的部分C1处，侧缘部T的分割面Bl —边与被保持着的基 板部分P的分割面B2摩擦一边向下方移动，故有在两分割面Bl和B2 上产生摩擦损伤的危险。另外，图16 (c)所示的点C2是侧缘部T的分割面Bl的表面角 部与基板部分P的分割面B2的背面角部接触的点，在该点C2处，按 压力容易集中，故有在基板部分P的分割面B2的背面产生缺损的危险。 该按压力集中的点C2的位置随着各辊的移动而发生变化，故在基板部 分P的大致整个分割面B2,都有在分割面B2的背面角部产生缺损等 的危险。这样，在因分割而分离的基板部分的一侧并未由工作台等加 以保持的情况下，有在由工作台等保持的基板部分的分割面上产生损 伤、缺损等表面缺陷的危险，并且，还有因基板材料的粉尘、碎片等 而污染基板部分的危险，这些问题更加显著地显现出来。这样，断开工序中的各分割面Bl和B2彼此的接触有损产品化的 基板的品质，并且，会产生基板材料的粉尘、碎片而成为污染基板的 原因。结杲，成为产品的成品率低、制造成本增加的原因，另外，由 于需要基板清洗装置等额外的设备，故还会成为设备成本增大的主要 原因。 发明内容本发明的目的在于提供一种脆性材料基板分割方法和用于实施该 脆性材料基板分割方法的脆性材料基板分割装置，该方法和装置能够 防止在沿划线连续地分割脆性材料基板的断开工序中存在的分割后的 分割面的接触，从而防止分割面的损伤、缺损等表面缺陷以及因脆性 材料的粉尘、碎片等导致的脆性材料基板的污染。本发明的脆性材料基板分割装置特征在于，具有分割机构和分割 面分离机构，该分割机构在表面预先形成有利用垂直裂缝形成的划线 的脆性材料基板的该划线附近部分，施加可沿着该划线相对移动的压 力，使上述垂直裂缝伸展到上述脆性材料基板的背面，从而将该脆性材料基板分割成第 一基板部分和第二基板部分；该分割面分离机构与 上述第一基板部分的表面和背面抵接，使上述第一基板部分向该第一 基板部分的分割面从上述第二基板部分的分割面分离的方向移动。也可以具有下述特征，即，上述分割面分离机构具有第一辊和第 二辊，该第一辊通过压接于上述第一基板部分的表面而发生弹性变形， 通过在该第一基板部分的表面滚动而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力；该第二辊与上述第 一辊夹着上述第 一基板部分相对配置，通过压接于该第一基板部分的背面而发生弹性变形，通 过在该第一基板部分的背面滚动而产生使上述第一基板部分从上迷第 二基板部分分离的力。也可以具有下迷特征，即，上述第一辊和上述第二辊各自的直径 从轴向的一側向另一側逐渐增加，并且各自的直径减小的部分邻近上 迷分割面配置。也可以具有下述特征，即，上述分割面分离^L构具有第一辊和第 二辊，该第一辊配置成，垂直于旋转轴的方向在上述压力的移动方向 的前方侧与上述划线以锐角相交，该第一辊通过在该前述一基板部分 的表面上滚动而产生使上述第一基板部分从上述笫二基板部分分离的力；该第二辊配置成，与该第一辊夹着上述第一基板部分相对，并且平行于该第 一辊，该第二辊通过在上述第 一基板部分的背面滚动而产 生使上迷第一基板部分从上述第二基板部分分离的力。也可以具有下述特征，即，上述分割面分离机构具有第一带式输 送机构和第二带式输送机构，该第 一带式输送机构在各自的旋转轴平 行的多个车轮上巻绕环状的带，该带的厚度从宽度方向的一侧缘向另 一侧缘逐渐变厚，并且薄的侧缘邻近上述分割面配置，上述带通过压 接于上述第一基板部分的表面而发生弹性变形，通过该带的循环移动而产生使上述第 一基板部分从上述第二基板部分分离的力；该第二带 式输送机构在各自的旋转轴平行的多个车轮上巻绕环状的带，该带的 厚度从宽度方向的一侧缘向另一侧缘逐渐变厚，并且薄的侧缘邻近上述分割面配置，上述带通过压接于上述第 一基板部分的背面而发生弹 性变形，通过该带的循环移动而产生使上述第一基板部分从上述第二 基板部分分离的力。也可以具有下述特征，即，上述分割面分离机构具有第一带式输 送机构和第二带式输送机构，该第一带式输送机构在各自的旋转轴平 行的多个车轮上巻绕环状的带，并且配置成，垂直于上述各旋转轴的在压接于上述第一基板部分的表面的状态下循环移动，从而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力；该第二带式输送机构 在各自的旋转轴平行的多个车轮上巻绕环状的带，该第二带式输送机 构与上述第一带式输送机构夹着上述第一基板部分相对地配置，上述 带在压接于上述第一基板部分的背面的状态下循环移动，从而产生使 上迷第一基板部分从上述第二基板部分分离的力。也可以具有下述特征，即，上述分割面分离才几构与上述第二基板 的表面和背面抵接，能使上述第二基板部分向该第二基板部分的分割 面从上述第一基板部分的分割面分离的方向移动。也可以具有下述特征，即，上述分割面分离机构具有第一辊和第 二辊，该第一辊通过压接于上述第一基板部分和上述第二基板部分的 表面而发生弹性变形，通过其旋转而产生使上述第一基板部分和上述 第二基板部分彼此分离的力；该第二辊通过压接于与该第 一辊压接的 上述第一基板部分和上迷第二基板部分的表面相对应的背面部分而发 生弹性变形，通过其旋转而产生使上述第一基板部分和上述第二基板 部分彼此分离的力。也可以具有下迷特征，即，上述分割面分离机构具有第一辊和第 二辊，该第一辊压接于上述第一基板部分的表面并在该表面上滚动； 该第二辊与上述第一辊夹着上迷第一基板部分相对，并且以与上述第 一基板部分的上述分割面相对的方式配置，外周面与上述第一基板部 分之间的间隔从上述分割面侧朝向上迷第 一基板側逐渐增大。也可以具有下述特征，即，上述第二辊的上述外周面的直径从上 述分割面侧朝向上述第 一基板侧逐渐减小。也可以具有下述特征，即，上述第二辊的上述外周面的直径恒定， 该外周面与上述第 一基板部分之间的间隔从上述分割面侧朝向上述第一基板侧逐渐增大。也可以具有下述特征，即，上述第二辊相对于上述第一辊向上述 压力的移动方向的后方側错开地配置。也可以具有下述特征，即，上述第二带式输送机构相对于上述第 一带式输送机构向上述压力的移动方向的后方側错开地配置。也可以具有下述特征，即，还具有保持上述脆性材料基板的基板 保持机构。也可以具有下述特征，即，上述基板保持机构设置成，能向上述 分割面分离机构使上述脆性材料基板移动的方向自由移动。本发明的脆性材料基板分割方法特征在于，包括分割工序和分割 面分离工序，在该分割工序中，在表面预先形成有利用垂直裂缝形成 的划线的脆性材料基板的该划线附近部分，施加可沿着该划线相对移 动的压力，使上述垂直裂缝伸展到上述脆性材料基板的背面，从而将该脆性材料基板分割成第 一基板部分和第二基板部分；在该分割面分 离工序中，抵接上述第一基板部分的表面和背面，而使上述第一基板 部分向该第一基板部分的分割面从上述第二基板部分的分割面分离的 方向移动。也可以具有下述特征，即，在上述分割面分离工序中，上述第一 基板部分向下方移动。本发明的脆性材料基板分割装置沿着预先形成于脆性材料基板上 的划线而使按压的部位移动、从而连续地分割脆性材料基板，其具有 使因分割而新形成的两个基板部分的各分割面分离的分割面分离机 构。因此，能够防止各分割面彼此的接触，防止在分割面上产生损伤、 缺损等表面缺陷，并且防止因脆性材料的粉尘、碎片等导致的脆性材 料产品的污染。而且，上述分割面分离机构在保持各分割面彼此分离的状态下使 分割开的一側基板部分向上下方向中的任一方移动，从而能够切实地 防止各分割面之间在;f皮此分离后再次接触。


图3是图1所示的分割装置所具有的第一辅助辊的剖面图。 图4是图1所示的分割装置所具有的基板保持断开辊和按压断开 辊的剖面图。图5是用于说明图1所示的分割装置的动作的示意图。 图6是用于说明图2所示的第一分离辊和第二分离辊的动作的示 意图。图7是表示图1所示的分割装置所具有的分割面分离机构的另一 例子的图。图8是表示图1所示的分割装置所具有的分割面分离机构的又一 例子的图。图9是表示图1所示的分割装置所具有的分割面分离机构的再一 例子的图。图IO是表示本发明第二实施方式的分割装置结构的图。 图11是表示本发明第三实施方式的分割装置结构的图。 图12是图11所示的分割装置所具有的分割面分离机构的一个例子、即按压辊和锥形辊的剖面图。图13是用于说明图11所示的分割装置所具有的分割面分离机构的配置和动作的图。图14是表示现有的分割装置结构的图。图15是用于说明图14所示的现有分割装置的动作的示意图。图16是用于说明由图14所示的现有分割装置分割后的基板的动作的图。
具体实施方式
第一实施方式参照图1说明本发明第一实施方式的分割装置。图1所示的分割 装置1是进行用于分割形成有划线的基板G的断开工序的装置，具有 上部辊保持部no、以及配置于该上部辊保持部IIO下方的下部辊保持 部120。基板G是例如玻璃基板等脆性材料基板，载置于工作台130 (参照图5)上。图5所示的工作台130由多个工作台构成部件130a 构成，是作为基板保持机构起作用的真空吸附工作台，其中，在各工 作台构成部件130a上分别设有例如通过真空吸附而保持基板G的机 构。工作台130仅保持基板G的各侧部，以便下部辊保持部120能够通过。
上部辊保持部110和下部辊保持部120以能利用例如马达等移动 机构(未图示)沿图1所示的+X方向和-X方向往复移动的方式设置 在支架(未图示)等上，在分割基板G时，上部辊保持部110和下部 辊保持部120同时沿+X方向一体地移动。
在上部辊保持部110上，从分割时的移动方向即+X方向的下游侧 起，沿着+X方向呈直线状地依次配置有第一辅助辊111、基板保持断 开辊112和第一分离辊113，并分别以由施力保持机构llla、 112a和 113a向下方施力的状态被可旋转地加以保持。对第一辅助辊111和第 一分离辊113施力并加以保持的各施力保持机构llla和113a分别具有 固定于上部辊保持部110上的气缸，能够分别调整第一辅助辊111和 第一分离辊113向下方的作用力、即对基板G的按压力。另外，对基 板保持断开辊112施力并加以保持的施力保持机构112a具有固定于上 部辊保持部110上的马达M,能够调整基板保持断开辊112向下方的 作用力、即对基板G的按压力。
在下部辊保持部120上，在第一辅助辊lll、基板保持断开辊112 以及第一分离辊113各自的下方，与它们分别相对地设有第二辅助辊 121、按压断开辊122以及第二分离辊123,并分别以由施力保持机构 121a、 122a和123a向上方施力的状态净皮可4t转地加以保持。对第二辅 助辊121和第二分离辊123施力并加以保持的各施力保持机构121a和 123a分别具有固定于下部辊保持部120上的气缸，能够分别调整第二 辅助辊121和第二分离辊123向上方的作用、即对基板G的按压力。 另外，对按压断开辊122施力并加以保持的施力保持机构122a具有固 定于下部辊保持部120上的马达，能够调整按压断开辊122向上方的 作用力、即对基板G的按压力。
如上所述，在断开工序中，上部辊保持部IIO和下部辊保持部120 一体地向+X方向移动。由此，上述各辊111 113、 121 123与它们的 施力保持机构111a 113a、 121a 123a随着上部辊保持部IIO和下部辊 保持部120的移动而一体地移动，沿着形成于基板G上的划线S,按 照第一辅助辊111和第二辅助辊121、基板保持断开辊112和按压断开 辊122、第一分离辊113和第二分离辊123的顺序，分别在基才反G的表 面和背面5衮动。第一辅助辊111和第二辅助辊121形成相同的形状，如图3所示， 第一辅助辊lll的外周面形成恒定的外径，以便在形成于基板G的划 线上和位于划线两倒的基板部分上滚动，而第二辅助辊121与第一辅 助辊lll同样地，其外周面形成恒定的外径，以便在与第一辅助辊lll 滚动的基板G表面相对应的背面部分上滚动。第一辅助辊111和第二 辅助辊121由氨基甲酸乙酯等硬质橡胶、聚醚醚酮树脂等工程塑料那 样的比较硬质的材料形成。第一辅助辊111和第二辅助辊121分别利 用轴承可旋转地安装于水平设置于施力保持机构Hla和121a下部的 支撑轴(未图示)上。
在图4(a)中，示出了基板保持断开辊112的剖面形状。基板保 持断开辊112利用轴承可旋转地安装于水平设置于施力保持机构112a 下部的支撑轴(未图示)上。在基板保持断开辊112的外周面上形成 截面为V字型的槽部，两侧的側缘部形成恒定的外径，以^更在划线S 的两侧、在相对于划线S具有既定间隔的基板部分上滚动。
在图4(b)中，示出了按压断开辊122的剖面形状。按压断开辊 122利用轴承可旋转地安装于水平设置于施力保持机构122a下部的支 撑轴(未图示)上。在按压断开辊122的轴向中央部设置U字型的槽 部，槽部两侧的外周面呈圆弧状突出的状态。按压断开辊122的U字 型槽部的两侧部分在如下部分上滚动，即，形成有划线S的基板G表 面的相反侧的背面上的、与划线S相对应的部分的邻近部分，也就是 说，与比位于上方的按压断开辊122的各侧缘部所滚动的基板G表面 部分更靠近划线S的部分相对应的背面部分。按压断开辊122也由例 如氨基甲酸乙酯等硬质橡胶、聚醚醚酮树脂等工程塑料那样的比较硬 质的材料形成。
相对于基板保持断开辊112和按压断开辊122位于+X方向的相反 側的第一分离辊113和第二分离辊123形成相同的形状，在图2中示出 了第一分离辊113和第二分离辊123的剖面形状。第一分离辊113和第 二分离辊123分别利用轴承可旋转地安装于水平设置于施力保持机构 113a和123a下部的支撑轴(未图示)上。
在第一分离辊113和第二分离辊123的外周面上形成V字型的槽 部，第一分离辊113和第二分离辊123的轴向中央部的直径最小，直 径朝向轴向两側逐渐增加，在两侧的各侧面，直径达到最大。第一分离辊113和第二分离辊123的轴向各侧部的、成为倾斜状态的外周面 的剖面分别形成呈圆弧状突出的形状。第一分离辊113和第二分离辊 123利用可弹性变形且相对于基板G的表面具有既定的摩擦系数的材 料、例如氨基甲酸乙酯橡胶一体地形成。
若第一分离辊113和第二分离辊123的轴向各侧部分别压接于形 成在基板G表面上的划线的两侧部分，则各自的外周部分发生弹性变 形而彼此分离，利用与基板G表面之间的摩擦而产生作用力，使得位 于划线S两侧的基板部分彼此分离。
图2所示的第一分离辊113和第二分离辊123的轴向各侧部的、成 为倾斜状态的外周面的剖面形成呈圆弧状突出的形状，但是，也可以 形成呈圓弧状凹陷的形状或直线状倾斜的形状。另外，第一分离辊113 和第二分离辊123也可以分别由直径从轴向一侧面向另一侧面逐渐缩 短的一对辊半体构成，并使各辊半体的直径短的侧面彼此紧密贴合。
第一分离辊113和第二分离辊123以及施力保持才几构113a和施力 保持机构123a是在分割基板G时按压基板G并使分割后的基板部分 Gl和G2的各分割面Bl和B2彼此分离的分割面分离机构的 一个例子， 而分割面分离机构的其它例子将在后面加以描述。
在本实施方式中，在断开工序中，采用使上部辊保持部110和下 部辊保持部120向+X方向移动的结构，但是，也可取而代之，采用通 过4吏工作台130向-X方向移动而4吏基板G向-X方向移动的结构。 另外，作为利用马达等移动机构使上部辊保持机构110和下部辊保持 机构120 —体移动的结构的替代形式，可以设置使各辊111-113和 121~123分别旋转的旋转驱动机构，利用旋转驱动机构而使各辊进行旋 转、从而使基板向-X方向或+X方向移动。
图5是用于说明分割装置1进行断开工序的动作的示意图。下面 将说明分割装置1进行断开工序时的大概动作。首先，以上述各辊 1U 113和121-123的轴向中央位置与形成于基板G上的划线S大致一 致的方式将基板G载置于工作台130上。工作台130利用例如真空吸 附等方法吸附保持基板G。接着，分别利用施力机构llla和施力机构 121a使第一辅助辊111和第二辅助辊121位于与基板G的各表面抵接 的位置并加以j呆持。另外，分别利用施力保持才几构112a和113a将基 板保持断开辊112和第 一分离辊113保持在以既定的压力压接在基板G表面的位置上，分别利用施力保持机构122a和123a将按压断开辊122 和第二分离辊123保持在以既定的压力压接在基板G背面的位置上。
在这样的状态下，使上部辊保持部110和下部辊保持部120 —体 地沿着+X方向移动。由此，第一辅助辊111抵接于基板G表面的划线 S上，并且，第二辅助辊121抵接于基板G背面的与划线S相对应的 部分。当第一辅助辊111和第二辅助辊121随着上部辊保持部110和下 部辊保持部120的移动而在基板G的表面和背面滚动时，基板保持断 开辊112和按压断开辊122分别以既定的按压力在基板G的表面和背 面滚动。由此，如下面说明的那样，利用基板保持断开辊112和按压 断开辊122使沿着划线S形成的垂直裂缝向下方伸展直到到达基板G 的背面，从而基板G被分割成划线S两侧的基板部分G1和G2。然后， 第一分离辊113沿着划线S在基板G的表面上滚动，并且，第二分离 滚123在基板G的背面上滚动，从而利用笫一分离辊113和第二分离 辊123使基板部分Gl和G2的各分割面Bl和B2彼此可靠地分离。
下面将详细地说明分割装置1进行断开工序时的各辊的动作。如 上所述，将由划线S隔开的基板G的一侧部分作为基板部分Gl,而将 另一侧部分作为基板部分G2。基板部分Gl和基板部分G2随着基板 保持断开辊112和按压断开辊122的移动而被依次分割开。
基才反保持断开辊112和按压断开辊122在彼此相对并分别以既定 的压力按压基板G的表面和背面的状态下，沿着形成于基板G的划线 S在基板G的表面滚动。在此情况下，基板保持断开辊112按压基板G 表面中相对于划线S具有既定间隔的两侧部分，而按压断开辊122按 压与比基板保持断开辊112压接的部分更靠近划线S的部分相对应的 背面部分。由此，按压断开辊122向上方推顶邻近划线的两侧部分， 而基板保持断开辊112则下压比被推顶的邻近划线的两側部分更靠外 側的两侧部分，结果构成划线S的垂直裂缝沿基板G的厚度方向伸展。 然后，垂直裂缝一直到达基板G的背面，从而基板G被分割成基板部 分G1和G2。
第一辅助辊111和第二辅助辊121限制分割前的基板G的挠曲、 防止垂直裂缝向垂直方向以外的方向伸展。
当基板G在垂直裂缝的作用下被分割成基板部分G1和G2时，第 一分离辊113和第二分离辊123使被分割开的基板部分Gl和基板部分G2向彼此分离的方向移动，从而基板部分Gl和基板部分G2的各分 割面Bl和B2 4皮此分离。
参照图6更加详细地说明第 一 分离辊113和第二分离辊123 4吏基板 部分G1和基板部分G2向彼此分离的方向移动的动作。图6是从第一 分离辊113和第二分离辊123的移动方向上游侧看的剖面图，用箭头 示意地示出了由各自的施力保持机构113a和施力保持机构123a分别 对第一分离辊113和第二分离辊123施加的按压力Fp和Fp，、以及利 用第 一分离辊113和第二分离辊123使基板部分Gl和基板部分G2彼 此分离的各力Fd和Fd，。第一分离辊113和第二分离辊123,其外径 从轴向中央部向两侧的侧缘部逐渐增大，并且，可以弹性变形，故当 第一分离辊113和第二分离辊123在按压力Fp和Fp，的作用下分别压 接于基板部分Gl和G2的表面和背面时，各自的压接部分即外周侧的 侧缘部会向彼此分离的方向弹性变形。由于第一分离辊113和第二分 离辊123各自的两侧的側缘部的压接部分向彼此分离的方向弹性变形， 所以分别对基板部分Gl和G2作用朝彼此离开的方向的力Fd和Fd，。 第一分离辊113和第二分离辊123相对于基板G的表面和背面具有既 定的摩擦系数，故在这些力Fd和Fd，的作用下，第一分离辊113和第 二分离辊123分别压接的基板部分Gl和基板部分G2的各分割面Bl 和B2彼此分离i也移动。
这样，第一分离辊113和第二分离辊123,基于由各自的施力保持 机构113a和123a所施加的各按压力Fp和Fp，，能够对基板部分Gl 和基板部分G2分别作用使各分割面Bl和B2彼此离开的方向的力Fd 和Fd，。各按压力Fp和Fp，的大小相应于第一分离辊113和第二分离 辊123的材料、被分割的基板G的材料等适当地设定，以使得第一分 离辊113和第二分离辊123变形、各分割面Bl和B2彼此分离。
此时，优选地，工作台130的保持基板部分G1和基板部分G2的 部分向彼此离开的方向移动，以不阻碍基板部分G1和基板部分G2的 分离动作。具体地说，可以将工作台130的保持基板部分G1和基板部 分G2的部分设置成，能向平行于所载置的基板G的表面且垂直于划 线的方向移动，从而在第一分离辊113和第二分离辊123对基板部分 Gl和基板部分G2作用的力Fd和Fd，的作用下，与基板部分Gl和基 板部分G2—同移动。此时，优选地，在第一分离辊113和第二分离辊123通过之前，工作台130的保持基板部分Gl和基板部分G2的部分 一直停止在既定的位置上，在第一分离辊113和第二分离辊123通过 时，才分别与基板部分G1和基板部分G2—起移动。因此，工作台130 例如如下构成，直到第一分离辊113和第二分离辊123通过为止，在 利用弹性体、气缸等施力机构而以比由第一分离辊113和第二分离辊 123使基板部分G1和基板部分G2移动的力(图6中的力Fd和Fd，) 小的力施力的状态下，利用卡止部件等将保持基板部分G1和基板部分 G2的部分保持在既定位置上，而通过施加图6中的力Fd和Fd，，解除 卡止部件的保持而使得保持基板部分G1和基板部分G2的部分向既定 方向移动。施力才几构也可以采用电驱动才几构。另外，也可以构成为，设置使工作台130的保持基板部分G1和基 板部分G2的部分移动的气缸等移动机构，通过与上部辊保持部110和 下部辊保持部120的移动同步地控制移动才几构，在第一分离辊113和 第二分离辊123通过前，将工作台130的保持基板部分G1和基板部分 G2的部分保持于既定的位置，在第一分离辊113和第二分离辊123通 过后，使工作台130的保持基板部分G1和基板部分G2的部分向各分 割面Bl和B2分离的方向移动。此时，例如检测上部辊保持部110、 下部辊保持部120等的位置，根据该检测结果来控制气缸等移动机构。 例如，在移动^i构为气缸的情况下，以利用电磁阀等切换向气缸供给 压缩空气或停止向气缸供给压缩空气的方式进行控制。如上所述，本实施方式的分割装置1所具有的第一分离辊113和 第二分离辊123配置于基板保持断开辊112和按压断开辊122的移动方 向后方，；故按压于分割的基板部分Gl和G2,两側的侧缘部从轴向中 央向两侧的外側变形，从而使得基板部分G1和G2分别从第一分离辊 113和第二分离辊123的轴向中央向两側的外侧移动。因此，第一分离 辊113和第二分离辊123与基板保持断开辊112和按压断开辊122 — 同、在按压于基板G的状态下在基板G上滚动，从而使刚分割后的基 板部分Gl和G2向彼此分离的方向移动，4吏各分割面Bl和B2彼此分 离。因此，能够防止在断开工序中被分割的脆性材料基板的分割面Bl 和B2的彼此接触，并能够防止因各分割面B1和B2彼此的接触所导致 的脆性材料基板的分割面Bl和B2以及表面的破损和污染。在本实施方式中，分割面分离机构具有第一分离辊113和第二分 离辊123(参照图2)，所述第一分离辊113和第二分离辊123分别以 直径从轴向中央部朝两側的各侧面逐渐增大的方式以既定的材料一体 形成。但是，也可以将第一分离辊113和第二分离辊123分别形成为 直径从轴向 一侧面向另 一侧面逐渐减小的结构。图7是该结构的第一分离辊H3D和第二分离辊123D的剖面图。 具体地说，第一分离辊113D和第二分离辊123D是将图2所示的第一 分离辊113和第二分离辊123分别在轴向中央一分为二的形状。第一分离辊113D和第二分离辊123D以直径变小的一侧面分别邻 近划线S的状态夹着基板G彼此相对的方式配置。通过使一对第一分 离辊113D和第二分离辊123D按压基板、沿着划线S移动，能够使第 一分离辊113D和第二分离辊123D分别按压的一側基板部分Gl向远 离另一侧基板部分G2的方向移动。此时，未由一对第一分离辊113D 和第二分离辊123D按压的另一侧基板部分G2,优选利用工作台等以不移动的方式加以保持。另外，作为本实施方式的分割装置所具有的分割面分离机构的另一例子，第一分离辊和第二分离辊也可以分别由倾斜辊构成，该倾斜方向)倾斜既定角度。参照图8说明具有作为第一分离辊和第二分离辊的、旋转轴相对 于移动方向倾斜既定角度的倾斜辊的分割面分离机构。图8是表示作 为第 一分离辊113和第二分离辊123使用的倾斜辊114的移动方向和旋 转轴的位置关系的平面示意图。图8所示的倾斜辊114的旋转轴A并 不与断开工序中的倾斜辊114的移动方向(上部辊保持部110和下部 辊保持部120移动的+X方向)、即划线S垂直，与倾斜辊114的旋转 轴A垂直的方向在断开工序中的倾斜辊114的移动方向前方側与划线S 以锐角相交。在作为第一分离辊113和第二分离辊123而分别使用倾斜辊114 的结构中，通过使作为第一分离辊113和第二分离辊123的倾斜辊114 分别压接于基板G的表面和背面中的邻近划线S的部分、并沿着划线 S移动，使得各倾斜辊114所压接的基板部分G1向离开另一侧基板部 分G2的方向移动。分割面分离机构不限于分别用 一个倾斜辊114作为第 一分离辊113 和第二分离辊123的结构，也可以是分别用一对倾斜辊114作为第一 分离辊113和第二分离辊123的结构。在此情况下，作为第一分离辊 113和第二分离辊123分别使用的一对倾斜辊114以相对于划线S对称 的方式分别以相对于划线S倾斜的状态配置。另外，作为以相对于划 线S对称的方式配置一对倾斜辊114的结构的替代，也可以由倾斜辊 114和图7所示剖面形状的分离辊113D来构成一对分离辊。这样，作为第一分离辊113和第二分离辊123，即使采用旋转轴不 与移动方向垂直的、滚动方向倾斜的倾斜辊114，也可以使倾斜辊H4 压接着的基板部分Gl和另 一側的基板部分G2分离。设定倾斜辊114的旋转轴A和划线S的倾斜角度，以便可获得使 倾斜辊114压接着的基板部分G1能够与另一侧的基板部分G2分离地 移动的力，并且，该倾斜角度可根据基板G的材料等进行适当的变更。另外，倾斜辊114的材料必须具有在与基板G压接时能获得使压 接的基板部分G1与另一側基板部分G2分离的力的、相对于基板G的 摩擦系数，使用例如氨基甲酸乙酯等硬质橡胶。另外，倾斜辊114的 与基板G接触的外周面可以是外径恒定的状态、外径在轴向上变化的 状态中的任一种，例如可以是与图7所示的分离辊113D的外周面相同 的形状。在此情况下，倾斜辊114压接于基板部分Gl而发生弹性变形， 从而倾斜辊114压接的基板部分Gl能够更切实地移动。另外，作为本实施方式的分割装置的分割面分离机构的再一例子， 也可以分别使用在多个车轮115a上巻绕环状的带115b的带式输送机 构115来代替第一分离辊113和第二分离辊123。参照图9来说明用作分割面分离机构的带式输送机构115。该带式 输送机构115例如并未设置驱动装置，各车轮115a可自由地旋转。带 式输送机构115例如使用可弹性变形且相对于基板G具有既定的摩擦 系数的带115b，带115b的剖面形状为带115b的宽度方向中央部薄而 越朝向两側的侧缘部越厚，将这样一对带式输送机构115以夹着基板G 相对并使各带的宽度方向中央部沿着基板G的划线S的方式配置。这 样， 一对带式输送机构115的各带的各侧缘部因与基板G的表面和背 面压接而发生弹性变形，在此状态下，各带115b与基板G的表面和背 面接触而循环移动，由此，上下相对的各带115b的侧缘部分别压接的基板部分G1和G2彼此分离地移动。或者，使用可弹性变形且相对于基板G具有既定的摩擦系数的带 115b,带115b的剖面形状为带115b的厚度从一侧缘部朝向另一侧缘 部逐渐变厚，将这样一对带式输送机构115以夹着基板G相对并使各 带115b的薄的一側缘部沿着基板G的划线S的方式配置。此时也同样 地， 一对带式输送机构115的各带115b的各侧缘部因与基板G的表面 和背面压接而发生弹性变形，在此状态下，各带115b与基板G的表面 和背面接触而循环移动，由此，上下相对的各带115b的侧缘部压接的 基板部分G1以离开另一侧基板部分G2的方式移动。而且，也可以使上下一对带式输送机构115的分别巻绕带115b的 各车轮115a的旋转轴相对于划线S倾斜，以垂直于各旋转轴的方向在 断开工序中的移动方向前方侧与划线S交叉成锐角的方式，相对于划 线S倾斜地配置。由此，各带115b在与基板G的表面和背面压接的状 态下循环移动，从而各带115b压接的基板部分Gl以离开另一侧基板 部分G2的方式移动。在此情况下，还可以采用在另一侧基板部分G2的表面和背面上分 别压接带115b的另一对带式输送机构115的结构，或者采用在另一侧 基板部分G2的表面和背面上分别压接图7所示剖面形状的分离辊 113D的结构，或者采用在另一侧基板部分的表面和背面上分别压接图 8所示的倾斜辊114的结构。第二实施方式上述的本发明第一实施方式的分割装置所具有的分割面分离机构 使断开工序中已经分割开的基板向彼此分开的方向移动。本实施方式的分割装置所具有的分割面分离机构在此基础上还具有如下特征，即， 使分割后的 一侧基板部分还向其上下方向移动。图10所示的本实施方式的分割装置2中，作为图l所示的第一实 施方式的分割装置1的第一分离辊113和第二分离辊123,采用图7所 示的剖面形状的分离辊113D。配置于基板G上方的第一分离辊113D 和配置于基板G下方的第二分离辊113D相对于划线S配置于同一侧 的側方(在图10中，对应于纸面近前侧的基板部分Gl)。第一分离 辊113D较之第二分离辊113D配置于分割装置1的移动方向后方。具 体地说，通过施力机构113a保持于上部辊保持部IIO上的第一分离辊113D的旋转轴的位置，较之第二分离辊H3D的旋转轴的位置，向其 移动方向的后方(-X方向)隔开不足各分离辊113D直径的距离地配 置。分割装置2的其它结构与分割装置1相同，采用同样的附图标记 并省略其说明。配置于基板G上方的第一分离辊113D的旋转轴的位置，较之配置 于基板G下方的第二分离辊113D的旋转轴的位置，配置于移动方向的 后方。因此，基板部分G1的位于两分离辊113D之间的部分被第一分 离辊113D向下方按压，位于比第一和第二分离辊113D分别接触的部 位的中间位置更靠后方的基板处于比该中间位置更靠下方的位置，从 而该中间位置的后方部分成为倾斜的状态。由此，分别由两分离辊113D 按压的分割后的基板部分Gl的分割面Bl向离开另一侧基板部分G2 的分割面B2的方向移动，同时，以向另一侧基板部分G2的下方倾斜 的方式移动。在本实施方式中，工作台130 (参照图5)优选仅吸附保持基板部 分G2。在此情况下，基板部分G1在第一分离辊U3D的作用下向下方 移动，在分离后，保持该状态向下方落下。另外，也可以采用基板部分G1也由工作台130吸附保持的结构。 在此情况下，保持基板部分G1的工作台130优选构成为，不仅可以在 沿着基板G表面的方向、还可以向下方自由地移动。若采用该结构的 工作台，则在基板部分G1向离开另一側基板部分G2的方向移动时， 不会有妨碍基板部分G1向下方移动的危险。如上所述，根据本实施方式的分割装置2，在利用第一和第二分离 辊113D使各基板部分G1和G2的分割面Bl和B2彼此分离地移动期 间，分割后的各基板部分G1和G2的上下方向位置错开，从而能够切 实地防止各基板部分Gl和G2的分割面Bl和B2彼此接触。另外，在 第一分离辊113D通过后，即使基板部分Gl向靠近基^1部分G2的方 向移动，由于各分割面Bl和B2成为彼此在上下方向错开的状态，所 以也能够切实地防止分割面Bl和B2彼此接触。在上述本实施方式的分割装置2中，还可以追加配置分离辊，以 按压基板部分G2、使其不向上下方向移动而仅向从另一侧基板部分 Gl的分割面分离的方向移动。另外，本实施方式的分割面分离机构采用图7所示剖面形状的一对第一和第二分离辊113D，但是，作为其替代，也可以采用图8所示 形状的一对倾斜辊114。另外，也可以使用图9所示形状的一对带式输 送机构115。而且，可以使用从图7所示剖面形状的分离辊113D、图8 所示形状的倾斜辊114、以及图9所示形状的带式输送机构115中选择 的一对。第三实施方式上迷本发明的第一和第二实施方式的分割装置所具有的分割面分 离机构，与基板抵接的辊或带变形、或者旋转轴相对于移动方向倾斜 设置，由此使得断开工序中分割的基板彼此离开。作为其替代，本实 施方式的分割装置所具有的分割面分离机构的特征在于，利用按压基 板G表面的辊和外周面因外径沿轴向逐渐减小而倾斜的辊来夹持#_分 割的一侧基板部分、限制其位置，从而使分割的基板部分分别移动。图11所示的本实施方式的分割装置3，是将图1所示的第一实施 方式的分割装置1的第一分离辊113和第二分离辊123分别变成图12 (a)所示的下压辊313和图12 (b)所示的锥形辊323而成的。下压 辊313和锥形辊323以夹着一側基板部分Gl相对的方式上下配置。分 割装置3的其它结构与分割装置1相同，故采用同样的附图标记并省 略其说明。图12 (a)所示的下压辊313的外径沿轴向恒定，外周面形成与旋 转轴平行的平坦面。下压辊313不限于这样的形状，只要能通过压接 于基板部分Gl的表面而向下方按压，则可以采用任何形状。下压辊 313由例如氨基甲酸乙酯等硬质橡胶、聚醚醚酮树脂等工程塑料、金属 等材料形成。图12( b )所示的锥形辊323是直径从一側面向另 一侧面逐渐减小、 即外周面的剖面形状为锥形的辊。直径比另 一侧面大的 一側面称为大 径面323L,将另一侧面称为小径面323S。锥形辊323由例如聚醚醚酮 树脂等工程塑料、金属等材料形成。在图12 (a)和(b)中，还记载 了用于旋转自如地支撑下压辊313和锥形辊323的轴承。下面，参照图13对下压辊313和锥形辊323的配置、以及断开工 序中以基板部分Gl和基玲反部分G2的分割面Bl和B2彼此分离的方式 移动基4反部分Gl的动作进4亍i兌明。图13是从断开工序的下压辊313 的移动方向看的剖面图。图13示出了下压辊313和锥形辊132的位置，利用下压辊313和锥形辊323使得基板部分Gl和基板部分G2的各分 割面Bl和B2成为分离的状态。锥形辊323的外周面位于一側基板部分G1的分割面Bl的下方， 大径面323L比小径面323S更靠另 一侧基板部分G2地配置。更具体地 说，锥形辊323的大径面323L位于另一侧基板部分G2的下方，小径 面323S位于一侧基板部分Gl的下方。通过这样配置，由下压辊313 向下方按压的一侧基板部分G1的分割面B2的下端部切实地与锥形辊 323的外周面接触。优选地，下压辊313以其外周面与一側基板部分G1的表面接触而 不与另一側基板部分G2接触的方式、以邻近划线S的状态配置。由于 锥形辊323的大径面323L位于另一侧基板部分G2的下方，另 一侧基 板部分G2的分割面B2正下方的锥形辊323的外周面和下压辊313的 邻近划线S的侧面的下端之间的上下方向间隔，是小于基板G的厚度 t的间隔Ll 。通过这样配置下压辊313和锥形辊323,利用下压辊313压下由这 些下压辊313和锥形辊323夹持的一侧基板部分G1、将其按压到锥形 辊323的外周面上。在此情况下，当将一侧基板部分G1的分割面Bl 的下端部的角部按压到锥形辊323的外周面上时，由于最先受到角部 按压的锥形辊323的外周面位置与下压辊313之间的上下方向间隔是 小于基板G的厚度t的间隔Ll，所以按压的角部将向锥形辊323的小 径面323S側滑动，移动到与下压辊313之间的上下方向间隔为基板G 的厚度t的锥形辊323的外周面位置。结果， 一側基板部分Gl的分割面Bl与另一侧基板部分G2的分 割面B2分离， 一侧基板部分Gl的分割面Bl与另 一側基板部分G2的 分割面B2的分离间隔D因一側基板部分G1的倾斜等而存在或多或少 的变动，但是，可以根据锥形辊323的外周面的倾斜角度e、 一侧基板 部分G1的厚度t以及两辊的间隔Ll，通过下式(l)来规定该分离间 隔D。D= (t - Ll) tan0 (1)因此，根据本实施方式的分割装置3的分割面分离机构，可以根 据下压辊313和锥形辊323的形状和配置来规定一侧基板部分G1和另 一側基板部分G2之间的分离间隔D,故能够更加切实地使分割的基板部分G1和G2的各分割面Bl和B2彼此分离。在本实施方式中，优选固定地保持基板部分G2，使其不向上下方 向和水平方向移动。为此，可以将基板部分G2吸附保持在工作台(未 图示)等上。另外，也可以在锥形辊323的大径面323L的外周部分的 上方追加配置其它辊，由锥形辊323的大径面323L的外周部分和配置 于其上方的其它辊来夹持基板部分G2并限制其位置。由此，能够更切 实地使分割的基板部分Gl和G2的各分割面Bl和B2彼此分离。已经例示了工程塑料、金属等作为构成锥形辊323的材料，但是， 在与锥形辊323接触的一侧基板部分G1为无用的端部等的情况下，即 使基板部分G1有损伤也没有关系，故以锥形辊323的耐久性为先，优 选采用例如不锈钢等金属构成。在此情况下，为了防止大径面323L的 外周部分与另一侧基板部分G2相接触而产生损伤，也可以沿着大径面 323L的外周侧部分设置不使另 一侧基板部分G2产生损伤的例如橡胶、 工程塑料等部件。另外，在将与锥形辊323接触的 一侧基板部分Gl作为产品使用的 情况下，为了防止该基板部分G1端面的损伤，锥形辊323优选使用工 程塑料等比较柔软的部件。另外，不管是何种材料，通过在其表面进 行镀敷、涂敷等，可以使之具有所希望的硬度和耐久性。作为上述锥形辊323的替代，也可以采用使具有平行于旋转轴的 外周面的辊相对于基板G的表面倾斜地设置的结构。本发明的分割装置可适用于例如作为平板显示面板的 一种的液晶 面板、等离子体显示面板、有机EL面板、无才几EL面板、透射型投影 仪基板、反射型投影仪基板的分割。而且，本发明的分割装置可以适用于例如一片基板(例如玻璃基 板、石英基板、蓝宝石基板、半导体晶片、陶瓷基板、太阳能电池基 板、液晶显示面板、有机EL面板、无机EL面板、透射型投影仪基板、 反射型投影仪基板)的分割。而且，也可以有效地适用于贴合多个基 板而成的贴合基板的分割。产业上的可利用性本发明的分割装置，在连续地分割形成有划线的脆性材料基板的 断开工序中，使连续生成的分割面彼此不接触地分离。因此，能够防 止因分割脆性材料基板时被分割的基板分割面彼此接触而导致的分割面的损伤、缺损等的品质不良的发生。
权利要求
1.一种脆性材料基板分割装置，其特征在于，具有分割机构和分割面分离机构，该分割机构在表面预先形成有利用垂直裂缝形成的划线的脆性材料基板的该划线附近部分，施加可沿着该划线相对移动的压力，使上述垂直裂缝伸展到上述脆性材料基板的背面，从而将该脆性材料基板分割成第一基板部分和第二基板部分；该分割面分离机构与上述第一基板部分的表面和背面抵接，使上述第一基板部分向该第一基板部分的分割面从上述第二基板部分的分割面分离的方向移动。
2. 如权利要求1所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于， 上述分割面分离机构具有第 一辊和第二辊， 该第一辊通过压接于上述第一基板部分的表面而发生弹性变形，通过在该第一基板部分的表面滚动而产生使上述第一基板部分从上述 第二基板部分分离的力；该第二辊与上述第一辊夹着上述第一基板部分相对配置，通过压接于该第一基板部分的背面而发生弹性变形，通过在该第一基板部分 的背面滚动而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的 力。
3. 如权利要求2所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，上 述第 一辊和上述第二辊各自的直径从轴向的 一侧向另 一侧逐渐增加， 并且各自的直径减小的部分邻近上述分割面配置。
4. 如权利要求l所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，上 述分割面分离机构具有第 一辊和第二辊，该第一辊配置成，垂直于旋转轴的方向在上述压力的移动方向的 前方侧与上述划线以锐角相交，该第 一辊通过在该前述一基板部分的 表面上滚动而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力；该第二辊配置成，与该第一辊夹着上迷第一基板部分相对，并且 平行于该第 一辊，该第二辊通过在上述第 一基板部分的背面滚动而产 生使上迷第一基板部分从上述第二基板部分分离的力。
5. 如权利要求1所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，上述分割面分离机构具有第 一带式输送机构和第二带式输送机构，该第 一带式输送机构在各自的旋转轴平行的多个车轮上巻绕环状 的带，该带的厚度从宽度方向的一侧缘向另一侧缘逐渐变厚，并且薄 的侧缘邻近上述分割面配置，上述带通过压接于上述第一基板部分的 表面而发生弹性变形，通过该带的循环移动而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力；该第二带式输送机构在各自的旋转轴平行的多个车轮上巻绕环状 的带，该带的厚度从宽度方向的一侧缘向另一侧缘逐渐变厚，并且薄 的侧缘邻近上述分割面配置，上述带通过压接于上述第一基板部分的 背面而发生弹性变形，通过该带的循环移动而产生使上述第一基板部 分从上迷第二基板部分分离的力。
6. 如权利要求l所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于， 上述分割面分离机构具有第一带式输送机构和第二带式输送机构，该第一带式输送机构在各自的旋转轴平行的多个车轮上巻绕环状 的带，并且配置成，垂直于上述各旋转轴的方向在上述压力的移动方 向的前方侧与上述划线以锐角相交，上述带在压接于上述第一基板部 分的表面的状态下循环移动，从而产生使上述第一基板部分从上述第 二基才反部分分离的力；该第二带式输送机构在各自的旋转轴平行的多个车轮上巻绕环状 的带，该第二带式输送机构与上述第 一带式输送机构夹着上述第 一基 板部分相对地配置，上述带在压接于上述笫一基板部分的背面的状态 下循环移动，从而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力。
7. 如权利要求1至6中任一项所述的脆性材料基板分割装置，其 特征在于，上述分割面分离机构与上述第二基板的表面和背面抵接， 能使上述第二基板部分向该第二基板部分的分割面从上述第一基板部 分的分割面分离的方向移动。
8. 如权利要求7所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，上 述分割面分离机构具有第 一辊和笫二辊，该第一辊通过压接于上述第一基板部分和上述第二基板部分的表 面而发生弹性变形，通过其旋转而产生使上述第一基板部分和上述第二基板部分彼此分离的力；该第二辊通过压接于与该第一辊压接的上述第一基板部分和上述第二基板部分的表面相对应的背面部分而发生弹性变形，通过其旋转而产生使上述第一基板部分和上述第二基板部分彼此分离的力。
9. 如权利要求1所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，上述分割面分离机构具有第 一辊和第二辊，该第一辊压接于上述第一基板部分的表面并在该表面上滚动； 该第二辊与上述第一辊夹着上述第一基板部分相对，并且以与上述第一基板部分的上述分割面相对的方式配置，外周面与上述第一基 板部分之间的间隔从上述分割面侧朝向上述第 一基板侧逐渐增大。
10. 如权利要求9所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于， 上述第二辊的上述外周面的直径从上述分割面側朝向上述第一基板侧 逐渐减小。
11. 如权利要求9所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于， 上述第二辊的上述外周面的直径恒定，该外周面与上述第一基板部分 之间的间隔从上述分割面側朝向上述第 一基板側逐渐增大。
12. 如权利要求2、 4、 8中任一项所述的脆性材料基板分割装置， 其特征在于，上述第二辊相对于上迷第一辊向上述压力的移动方向的 后方側错开地配置。
13. 如权利要求5或6所述的脆性材料基板分割装置，其特征在 于，上述第二带式输送机构相对于上述第一带式输送机构向上述压力 的移动方向的后方侧错开地配置。
14. 如权利要求1所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于， 还具有保持上述脆性材料基板的基板保持机构。
15. 如权利要求14所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于， 上述基板保持机构设置成，能向上述分割面分离机构使上述脆性材料 基板移动的方向自由移动。
16. —种脆性材料基板分割方法，其特征在于，包括分割工序和 分割面分离工序，在该分割工序中，在表面预先形成有利用垂直裂缝形成的划线的 脆性材料基板的该划线附近部分，施加可沿着该划线相对移动的压力， 使上述垂直裂缝伸展到上述脆性材料基板的背面，从而将该脆性材料基板分割成第一基板部分和第二基板部分；在该分割面分离工序中，抵接上述第一基板部分的表面和背面， 而使上述第一基板部分向该第一基板部分的分割面从上述第二基板部 分的分割面分离的方向移动。
17.如权利要求16所述的脆性材料基板分割方法，其特征在于， 在上述分割面分离工序中，上述第一基板部分向下方移动。
全文摘要
本发明提供一种能够防止在连续分割脆性材料基板的断开工序中存在的分割后的分割面接触问题、从而防止因该接触所导致的脆性材料基板的损伤和污染的脆性材料基板分割方法和分割装置。脆性材料基板分割装置具有在形成于基板(G)上的划线(S)附近施加按压力来分割按压部分的基板(G)的分割机构(112、122)、以及保持分割机构并与上述划线(S)大致平行地移动的保持部，该分割装置沿着划线(S)连续地分割基板(G)。该分割装置具有设置于保持部上的分割面分离机构(113、123)，该分割面分离机构夹持并按压被分割的基板(G)的至少一个部位，使基板(G)向大致平行于基板(G)主面且使分割而成的相向的分割面彼此分离的方向移动。
文档编号B28D5/00GK101232982SQ20068002801
公开日2008年7月30日 申请日期2006年5月26日 优先权日2005年5月30日
发明者井上修一, 熊谷透, 西坂雄毅, 音田健司 申请人:三星钻石工业株式会社