专利名称：石英坩埚内表面喷涂装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及属于拉制单晶硅棒用石英坩埚的制造领域，特别是一种专门设计的石英坩埚内表面喷涂装置，可自动完成14” 28”的单晶石英坩埚内表面喷涂。
背景技术：
石英玻璃坩埚是拉制太阳能、半导体单晶硅棒的重要辅件。在石英坩埚的制作过程中，一般采用电弧高温熔融法生产。即在旋转的石墨模具腔体内倒入高纯石英砂，采用刮砂成型治具成型，使石英砂均布在石墨模具腔体内形成石英坩埚坯体；然后将石墨电极伸入腔体内，通上大电流使石墨电极短路燃烧释放出高温电弧对坯体进行熔融，一定熔融时间后坯体形成石英坩埚。该石英坩埚在后续生产中还需对内外表面清洗干净，且烘干 后的坩埚进行内表面喷涂某种溶液，目前采用人工进行喷涂喷涂前需把坩埚整体加热到300°C左右，坩埚口子朝上放置，操作人员戴上防高温手套，手拿喷枪进行内表面的喷涂作业，喷涂持续一分钟。该种喷涂方式务必会有人为的主观控制，每个人手拿喷枪手势、喷枪嘴离坩埚内表面距离和角度、准确的喷涂时间、喷涂的均匀性等无法一致，造成坩埚喷涂质量得不到保证，同时作业人员长期的近距离高温作业对作业人员也是不好的。
发明内容为了克服现有手动喷涂坩埚内表面的不足，本实用新型提供了一种石英坩埚内表面喷涂装置。本实用新型采用的技术方案是石英坩埚内表面喷涂装置，其特征在于包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪机构，所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转，所述喷枪机构包括喷嘴和连接杆，所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上，另一端螺纹连接所述喷嘴，所述导轨支架和所述回转平台分别与所述驱动装置相连。进一步，所述支撑平台上安装有支撑挡圈，所述支撑挡圈与待喷涂坩埚底部相接。进一步，所述喷嘴前端的管道上安装有恒压器。进一步，所述支撑平台的厚度为20_40mm。本实用新型使用时，是先把要喷涂的坩埚口朝上放到支撑平台上的支撑挡圈上，用液压叉车连同支撑平台一起铲入烘箱加热到300°C，再用液压叉车铲到回转平台上，回转平台带动支撑平台和坩埚一起旋转，用喷嘴在坩埚内部往复上下运动负责喷涂坩埚内表面，喷涂数分钟。坩埚内表面进行全覆盖、不留死角喷涂作业。本实用新型的有益效果体现在每只坩埚均能保证在一致的喷涂压力、坩埚旋转速度、喷涂时间和喷涂均一的条件下完成，坩埚内表面可进行全覆盖、不留死角喷涂作业。
图I是本实用新型结构示意图。
具体实施方式
参照图1，石英坩埚内表面喷涂装置，包括驱动装置、回转平台I、支撑平台2和喷枪机构3，所述支撑平台2设在所述回转平台I上且可随所述回转平台I旋转，所述喷枪机构3包括喷嘴和连接杆，所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上，另一端螺纹连接所述喷嘴，所述导轨支架和所述回转平台I分别与所述驱动装置相连。进一步，所述支撑平台2上安装有支撑挡圈，所述支撑挡圈与待喷涂坩埚4底部相接。进一步，所述喷嘴3前端的管道上安装有恒压器。进一步，所述支撑平台2的厚度为20-40mm。本实用新型使用时，是先把要喷涂的坩埚口朝上放到支撑平台2上的支撑挡圈·上，用液压叉车连同支撑平台2 —起铲入烘箱加热到300°C，再用液压叉车铲到回转平台2上，回转平台2带动支撑平台2和坩埚4 一起旋转，用喷嘴机构3在坩埚4内部往复上下运动负责喷涂坩埚内表面，喷涂数分钟。坩埚4内表面进行全覆盖、不留死角喷涂作业。本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举，本实用新型的保护范围不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本实用新型的保护范围也及于本领域技术人员根据本实用新型构思所能够想到的等同技术手段。
权利要求1.石英坩埚内表面喷涂装置，其特征在于包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪，所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转，所述喷枪机构包括喷嘴和连接杆，所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上，另一端螺纹连接所述喷嘴，所述导轨支架和所述回转平台分别与所述驱动装置相连。
2.如权利要求I所述的石英坩埚内表面喷涂装置，其特征在于所述支撑平台上安装有支撑挡圈，所述支撑挡圈与待喷涂坩埚底部相接。
3.如权利要求I所述的石英坩埚内表面喷涂装置，其特征在于所述喷嘴前端的管道上安装有恒压器。
4.如权利要求I所述的石英坩埚内表面喷涂装置，其特征在于所述支撑平台的厚度为 20_40mm。
专利摘要本实用新型公开了一种石英坩埚内表面喷涂装置，包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪，所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转，所述喷枪包括喷嘴和连接杆，所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上，另一端螺纹连接所述喷嘴，所述导轨支架和所述回转平台分别与所述驱动装置相连。本实用新型均能保证在一致的喷涂压力、坩埚旋转速度、喷涂时间和喷涂均一的条件下完成内表面喷涂，喷嘴能沿坩埚内表面均匀移动进行喷涂，100%喷涂到坩埚内表面，并且来回多次循环喷涂坩埚内表面。
文档编号C03C17/00GK202730000SQ20122032353
公开日2013年2月13日 申请日期2012年7月4日 优先权日2012年7月4日
发明者涂永文, 周勇, 吴洪联, 吴伟华 申请人:杭州先进石英材料有限公司