专利名称：晶棒粘接装置的制作方法
技术领域：
晶棒粘接装置技术领域[0001]本实用新型涉及晶体制造，LED衬底基材的生产及半导体制造技术领域，特别涉及 晶体加工行业的晶棒粘接装置。
背景技术：
[0002]目前，在LED生产制造领域或者半导体领域中，常会使用到长度固定的晶棒，通常 晶棒的长度在40-300mm。现有晶棒生产加工的设备只能满足300mm切割工艺，所形成的晶 棒往往长度长短不一，即很多晶棒不符合晶棒使用的长度要求，需要多根晶棒粘接在一起。[0003]为了避免对于不符合晶棒使用长度要求的此类晶棒的浪费，现有工艺中常使用晶 棒粘接工艺，将不符合晶棒使用长度要求的多根短晶棒粘接在一起，使得粘接后的晶棒满 足晶棒加工长度要求。由此，便可使用粘接后的晶棒，从而将不符合晶棒使用长度要求的短 晶棒利用起来了，避免了对于此类晶棒的浪费。[0004]为了使得短晶棒粘接在一起，常常首先需要对这些短晶棒根据工艺要求定向后固 定起来，然后使得固定后的短晶棒对接在一条料板上，最后涂敷粘接剂使得短晶棒粘接起 来。现有工艺中，尚没有使得短晶棒粘接在一起的装置，对于实现晶棒的粘接非常的不方 便。因此，提供一套能够实现晶棒粘接的装置，成了本领域技术人员亟待解决的问题。实用新型内容[0005]本实用新型的目的在于提供一种晶棒粘接装置，以解决现有技术中晶棒粘接不方 便的问题。[0006]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶棒粘接装置，包括平台；设置于所 述平台上的粘接台；设置于所述平台上的导向台；以及多个固定所述晶棒的固定夹，所述 多个固定夹能够沿着导向台运动。[0007]可选的，在所述的晶棒粘接装置中，所述导向台包括方箱及固定于所述方箱上的第一线轨。[0008]可选的，在所述的晶棒粘接装置中，所述固定夹包括外固定块、设置于所述外固定 块中的内固定块、以及连接外固定块与内固定块的连接螺丝。[0009]可选的，在所述的晶棒粘接装置中，所述连接螺丝为内六角沉头螺丝。[0010]可选的，在所述的晶棒粘接装置中，所述固定夹还包括连接外固定块与内固定块 的微分头。[0011]可选的，在所述的晶棒粘接装置中，还包括设置于所述平台上的限位螺杆，所述固 定夹运动到一定位置后，固定于所述限位螺杆上。[0012]可选的，在所述的晶棒粘接装置中，还包括限位螺母，所述固定夹通过所述限位螺 母固定于所述限位螺杆上。[0013]可选的，在所述的晶棒粘接装置中，还包括设置于平台上的第二线轨，所述粘接台 或者所述导向台能够沿着所述第二线轨运动。[0014]在本实用新型提供的晶棒粘接装置中，利用多个固定夹固定多根晶棒，其中，每个 固定夹固定一根晶棒；每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止；粘接台粘接多个固 定夹中的多根晶棒，由此，可方便地实现晶棒粘接，即简化了晶棒粘接工艺，提闻了晶棒粘 接效率，从而降低生产成本。
[0015]图1是本实用新型实施例的晶棒粘接装置的结构示意图。
具体实施方式
[0016]
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的晶棒粘接装置作进一步详细说 明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均 采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实 施例的目的。[0017]请参考图1，其为本实用新型实施例的晶棒粘接装置的结构示意图。如图1所示， 所述晶棒粘接装置I包括[0018]平台10 ;设置于所述平台10上的粘接台11 ;设置于所述平台10上的导向台12 ； 以及多个固定所述晶棒2的固定夹13，所述多个固定夹13能够沿着导向台12运动。[0019]在本实施例中，所述固定夹13的数量为三个，可以实现将三个(短)晶棒2粘接在 一起。通常的，粘接后的晶棒的长度为300_，当然，根据实际生产的需要，粘接后的晶棒长 度也可以不同，例如为250mm、280mm、300mm等,本申请对此并不做限定。此外,在本实用新 型的其他实施例中，所述固定夹13的数量也可以为更多个或者更少个，例如，所述固定夹 13的数量可以为两个、四个或者五个等。[0020]优选的，所述平台10的材料为金属，具体的，所述平台10可以铸铁件。由此，所述 平台10能够稳定的承载粘接台11、导向台12、固定夹13等部件，并在进行晶棒粘接时保持 稳定，从而提闻晶棒粘接的可罪性。[0021]其中，所述粘接台11用以提供晶棒粘接的粘接剂，此粘接台11为现有技术，本申 请对此不再赘述。在本申请中，将这一粘接台11与其他部件有机的结合，从而可以方便、精 准地实现对于晶棒的粘接，简化工艺操作，提高粘接精度及可靠性。[0022]进一步的，所述导向台12包括方箱121及固定于所述方箱121上的第一线轨122。 具体的，所述固定夹13沿着第一线轨122运动/滑动到特定位置，以便于对晶棒的粘接。优 选的，所述方箱121及所述第一线轨122的材料均为金属，具体的，所述方箱121为铸铁件、 所述第一线轨122为钢材。通过将方箱121选为铸铁件,可保持方箱121的稳定,从而向固 定夹13提供稳定的导向。而通过将第一线轨122选为钢材，可防止第一线轨122生锈，由 此，便于固定夹13沿着第一线轨122运动到特定位置。[0023]在本实施例中，所述固定夹13包括外固定块131、设置于所述外固定块131中的内 固定块132、以及连接外固定块131与内固定块132的连接螺丝133。具体的，当利用固定 夹13固定晶棒2时，将晶棒2置于内固定块132中，利用连接螺丝133将晶棒2固定于内 固定块132中，同时紧固内固定块132与外固定块131。由此，避免了连接螺丝133与晶棒 2的直接接触，从而避免了固定晶棒2时对晶棒2造成任何损伤，进而提闻了晶棒粘接的可靠性。优选的，所述连接螺丝133为内六角沉头螺丝。[0024]进一步的，所述固定夹13还包括连接外固定块131与内固定块132的微分头134。 通过所述微分头134能够调整所述晶棒2的晶面，由此，使得粘接后的晶棒晶面一致，从而 提高晶棒粘接的可靠性。具体的，将晶棒2置于内固定块132中，通过连接螺丝133固定晶 棒2之后，再通过微分头134对晶棒2的晶面进行一定的调整，由此，可以得到符合需要的 晶棒晶面设置。[0025]在此，先通过连接螺丝133对晶棒2进行固定，再利用微分头134对晶棒2进行调 整，由此可以对晶棒2进行精细化调整，从而提闻晶棒粘接精度及可罪性。特别的，防止对 晶棒晶面调整的过程中，晶棒2发生较大位置的滑动/变动等，由此提高了对于晶棒晶面调 整的可靠性。[0026]进一步的，所述晶棒粘接装置I还包括设置于所述平台10上的限位螺杆14，所述 固定夹13运动到一定位置后，固定于所述限位螺杆14上。由此，实现对于固定夹13有效、 可靠地固定。在此，固定夹13夹持着晶圆2，当固定夹13运动到一定位置时，也即晶圆2运 动到一定位置；而通过限位螺杆14将固定夹13限定在特定位置时，也即将晶圆2限定在特 定位置。在晶圆2位置被限定/固定后，便可通过粘接台11对晶圆进行粘接。[0027]进一步的，所述晶棒粘接装置I还包括限位螺母15，具体的，所述固定夹13通过所 述限位螺母15固定于所述限位螺杆14上。由此，可方便的实现固定夹13固定于特定位置 的目的，其中，固定夹13运动到特定位置的目的是为了便于晶棒粘接，通常的，所述特定位 置指两个晶棒晶面相贴合。此外，对于第一个固定夹13(具体的，在晶棒粘接过程中第一个 被使用的固定夹13)而言，其可以直接运动至平台10表面，当然，其也可以与平台10表面 具有一定距离，本申请对此并不做限定。优选的，第一个固定夹13运动至平台10表面，由 此可通过平台10对于第一个固定夹13起到一定支持作用，从而使得晶棒的粘接更可靠。[0028]在本实施例中，所述晶棒粘接装置I还包括设置于平台10上的第二线轨16，所述 粘接台11或者所述导向台12能够沿着所述第二线轨16运动。在此,通过所述粘接台11 或者导向台12沿着第二线轨16运动，可以使得所述粘接台11与固定夹13贴近，从而便于 粘接台11向固定夹13中固定的晶棒2提供粘接剂，进而使得各(短)晶棒2粘接成符合长 度要求的晶棒。优选的，通过所述导向台12沿着第二线轨16运动，从而使得所述粘接台11 与固定夹13贴近。[0029]相应的，本实施例还提供一种利用上述晶棒粘接装置I进行晶棒粘接的方法。具 体的，所述晶棒粘接方法包括[0030]利用多个固定夹13固定多根晶棒2，其中，每个固定夹13固定一根晶棒2 ；[0031]每个固定夹13沿着导向台12运动到一定位置后停止，具体的，固定夹13通过限 位螺母15固定于限位螺杆14上，从而实现固定夹13运动到一定位置后停止并静止于该位 置；[0032]粘接台11粘接多个固定夹13中的多根晶棒2，具体的，先使得粘接台11或者导向 台12沿着第二线轨16运动,从而粘接台11与晶棒2贴合。[0033]在此，所述固定夹13的数量为三个，当进行晶棒粘接时，可先使得三个固定夹13 固定三根晶棒2，接着，每个固定夹13沿着导向台12运动到一定位置后停止；也可以一个 固定夹13固定一根晶棒2之后，该固定夹13沿着导向台12运动到一定位置后停止，接着第二个固定夹13固定第二根晶棒2，该第二个固定夹13沿着导向台12运动到一定位置后 停止，直至第三个固定夹13完成上述动作。其最终目的/本质动作均是利用多个固定夹 13固定多根晶棒2，其中，每个固定夹13固定一根晶棒2 ;每个固定夹13沿着导向台12运 动到一定位置后停止。[0034]具体的，每个固定夹13沿着导向台12中的第一线轨122运动；利用多个固定夹 13固定多根晶棒2时包括将晶棒2置于内固定块132中；利用连接螺丝133将晶棒2固 定于内固定块132中，同时紧固内固定块132与外固定块131 ;及利用微分头134调整内固 定块132的角度，以调整晶棒2的角度，即调整晶棒2的晶面。[0035]综上，通过晶棒粘接装置，利用多个固定夹固定多根晶棒，其中，每个固定夹固定 一根晶棒；每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止；粘接台粘接多个固定夹中的多 根晶棒，由此，可方便地实现晶棒粘接，即简化了晶棒粘接工艺，提闻了晶棒粘接效率，从而 降低生产成本。[0036]上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限 定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要 求书的保护范围。
权利要求1.一种晶棒粘接装置，其特征在于，包括平台；设置于所述平台上的粘接台；设置于所述平台上的导向台；以及多个固定所述晶棒的固定夹，所述多个固定夹能够沿着导向台运动。
2.如权利要求1所述的晶棒粘接装置，其特征在于，所述导向台包括方箱及固定于所述方箱上的第一线轨。
3.如权利要求1所述的晶棒粘接装置，其特征在于，所述固定夹包括外固定块、设置于所述外固定块中的内固定块、以及连接外固定块与内固定块的连接螺丝。
4.如权利要求3所述的晶棒粘接装置，其特征在于，所述连接螺丝为内六角沉头螺丝。
5.如权利要求3所述的晶棒粘接装置，其特征在于，所述固定夹还包括连接外固定块与内固定块的微分头。
6.如权利要求1所述的晶棒粘接装置，其特征在于，还包括设置于所述平台上的限位螺杆，所述固定夹运动到一定位置后，固定于所述限位螺杆上。
7.如权利要求6所述的晶棒粘接装置，其特征在于，还包括限位螺母，所述固定夹通过所述限位螺母固定于所述限位螺杆上。
8.如权利要求1所述的晶棒粘接装置，其特征在于，还包括设置于平台上的第二线轨， 所述粘接台或者所述导向台能够沿着所述第二线轨运动。
专利摘要本实用新型提供了一种晶体加工过程晶棒粘接装置，所述晶棒粘接装置包括平台；设置于所述平台上的粘接台；设置于所述平台上的导向台；以及多个固定夹，所述多个固定夹能够沿着导向台运动。在此，利用多个固定夹固定多根晶棒，其中，每个固定夹固定一根晶棒；每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止；粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒，由此，可方便地实现多根晶棒的粘接，即简化了晶棒粘接工艺，提高了对晶体加工中晶向要求的准确性以及晶棒粘接效率，从而降低生产成本。
文档编号B28D7/00GK202826112SQ20122053974
公开日2013年3月27日 申请日期2012年10月19日 优先权日2012年10月19日
发明者于新现, 李斗, 张 杰 申请人:西安神光安瑞光电科技有限公司