1.一种脆性材料基板的划刻方法,其特征在于,
对脆性材料基板沿着划刻预定线涂布润滑剂,
将使用了金刚石的划刻工具的划刻尖按压在所述划刻预定线上,通过使脆性材料基板与划刻工具相对地移动来进行划刻。
2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的划刻方法,其中,
包括在向所述脆性材料基板涂布润滑剂之前对划刻预定线进行清洁的步骤。
3.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板的划刻方法,其中,
包括在对所述脆性材料基板进行划刻之后去除润滑剂被膜的步骤。
4.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板的划刻方法,其中,
包括在结束所述划刻之后对划刻工具的划刻尖进行清扫的步骤。
5.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板的划刻方法,其中,
所述润滑剂为糊状或液体状。
6.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板的划刻方法,其中,
所述润滑剂为润滑油、醇、表面活性剂以及水中的任一种。
7.一种划刻头单元,其以规定的载荷将划刻工具的划刻尖向脆性材料基板的划刻预定线上按压,通过使脆性材料基板与划刻工具相对地移动来进行划刻,
所述划刻头单元的特征在于,具备:
划刻工具,其具有使用了金刚石的一个或多个划刻尖;
工具支架,其用于固定所述划刻工具;以及
润滑剂涂布机构,其用于将润滑剂涂布在划刻预定线上。
8.根据权利要求7所述的划刻头单元,其中,
所述划刻头单元具有沿着划刻预定线进行脆性材料基板的异物去除的异物去除机构。
9.根据权利要求8所述的划刻头单元,其中,
所述异物去除机构具备:
异物去除支架;以及
异物去除构件,其设置在所述异物去除支架的下端。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的划刻头单元,其中,
所述润滑剂涂布机构具备:
润滑剂供给支架;以及
润滑剂涂布构件,其设置在所述润滑剂供给支架的下端。
11.根据权利要求7至9中任一项所述的划刻头单元,其中,
所述润滑剂涂布机构具有周期性地供给润滑剂的喷射单元。
12.根据权利要求7至9中任一项所述的划刻头单元,其中,
所述润滑剂涂布机构具有润滑剂槽。