脆性材料基板的划刻方法以及划刻头单元与流程

文档序号:12678968阅读:来源:国知局
技术总结
本发明的目的在于提供脆性材料基板的划刻方法以及划刻头单元,从而在使用划刻工具对脆性材料基板进行划刻的情况下,提高划刻工具的金刚石划刻尖的耐久性。在本发明涉及的脆性材料基板的划刻方法中,沿着划刻预定线向脆性材料基板涂布润滑剂,在涂布润滑剂后,沿着划刻预定线而由具有金刚石划刻尖的划刻工具进行划刻。这样,通过润滑剂的润滑效果能够使划刻工具的耐久性大幅提高。

技术研发人员:曾山浩;井村淳史
受保护的技术使用者:三星钻石工业股份有限公司
文档号码:201610832521
技术研发日:2016.09.19
技术公布日:2017.06.23

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