本实用新型涉及一种夹具。
背景技术：
硅片加工前，要先将硅晶板切割分体成块状。现有的硅片切割设备中，对硅晶板的夹紧方式，普遍采用固定气缸夹紧、移动气缸夹紧或无杆气缸夹紧等方式。上述夹紧方式中，固定夹紧方式应用最为普遍，但其成本高；无杆气缸移动速度慢，且由于是单边夹紧，夹紧力不均匀，容易使硅晶板划损，且出现加工的硅晶块不规范，如切缝与表面不垂直等现象；移动气缸夹紧虽然克服了上述现象，但存在成本高的问题。
有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的切割硅片用夹具，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现要素：
为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种切割硅片用夹具。
本实用新型的技术方案如下：
一种切割硅片用夹具，其特征在于：包括上夹具(1)和下夹具(2)，所述上夹具(1)和下夹具(2)用于夹紧待切割硅片，所述上夹具(1)中均有间距设置有多个夹紧装置，所述夹紧装置用于和所述下夹具(2)配合夹紧硅片；所述夹紧装置为气缸(11)，所述气缸(11)设置有气缸杆(111)，所述气缸杆(111)连接压板(112)；所述下夹具(2)设置有中间层(22)和下柔性层(21)，所述下柔性层 位于所述下夹具(2)上部，所述中间层(22)位于所述下柔性层(21)下方，所述中间层(22)内设置有多个弹簧(221)。
进一步的，所述上夹具(1)外侧还设置有一层上柔性层(12)。
进一步的，所述压板(112)上还设置有一层橡胶(113)。
借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
本实用新型装置用于夹紧硅片，由于硅片较为精密，在切割过程中容易由于切割力度大会损坏硅片，本实用新型上夹具和下夹具均设置了柔性层，同时压板上也设置了橡胶，能够夹紧硅片的同时，能够保证硅片在外力切割下有形变不会损伤硅片。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图中：1-上夹具；11-气缸；111-气缸杆；112-压板；113-橡胶；12-上柔性层；2-下夹具；21-下柔性层；22-中间层；221-弹簧。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
参见图1，本实用新型一较佳实施例所述的一种切割硅片用夹具，包括上夹具1和下夹具2，所述上夹具1和下夹具2用于夹紧待切割硅片，所述上夹具1中均有间距设置有多个夹紧装置，所述夹紧装置 用于和所述下夹具2配合夹紧硅片；所述夹紧装置为气缸11，所述气缸11设置有气缸杆111，所述气缸杆111连接压板112；所述下夹具2设置有中间层22和下柔性层21，所述下柔性层位于所述下夹具2上部，所述中间层22位于所述下柔性层21下方，所述中间层22内设置有多个弹簧221。
-所述上夹具1外侧还设置有一层上柔性层12。
-所述压板112上还设置有一层橡胶113。
本实用新型至少具有以下优点：
本实用新型装置用于夹紧硅片，由于硅片较为精密，在切割过程中容易由于切割力度大会损坏硅片，本实用新型上夹具和下夹具均设置了柔性层，同时压板上也设置了橡胶，能够夹紧硅片的同时，能够保证硅片在外力切割下有形变不会损伤硅片。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。