一种硅片切割机的砂浆过滤装置的制作方法

文档序号:11360205阅读:271来源:国知局
一种硅片切割机的砂浆过滤装置的制造方法

本实用新型涉及一种过滤装置,特别涉及一种硅片切割机的砂浆过滤装置。



背景技术:

硅片在采用多线切割之后,切割硅片产生的硅粉颗粒会夹杂在切割液内形成砂浆,为了避免浪费一般都会在切割机外连接过滤装置对砂浆进行过滤,过滤后的砂浆则被当作切割液继续使用。

例如公告号为CN202399417U的专利,公开了一种多线切割机砂浆过滤器,包括设置在多线切割机上的回流缸和热交换器,其中回流缸的出口与砂浆过滤器的进口接头连接,砂浆过滤器的出口接头与热交换器进口连接;所述砂浆过滤器是由设置在圆筒形容器内的滤芯、容器上的进口接头、容器一端头的出口接头构成;过滤器的滤芯是两端带支撑盖的滤网组成;进、出口接头都是卡套式接头,出口接头带法兰盘与容器螺纹连接,法兰盘与容器间设置有O形密封圈,出口支撑端盖与法兰盘之间设置有螺纹导向段;滤网精度是10目。

上述现有技术公开了一种多线切割机砂浆过滤器对硅片在切割过程中产生的砂浆进行过滤,但一些滤网过滤不掉的细硅颗粒会继续夹杂在砂浆内逐渐积累。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种硅片切割机的砂浆过滤装置,将出口接头设置在容器的侧壁,在容器的底部设置通过阀门启闭的外接管道,外接管道和出口接头存在一定的高度差,滤网过滤不掉的细硅颗粒会沉积在容器内底部,可以通过开启外接管道排出容器,从而达到使滤网过滤不掉的细硅颗粒不会继续夹杂在砂浆内逐渐积累的效果。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种硅片切割机的砂浆过滤装置,包括容器、进口接头、出口接头和过滤网,所述进口接头和所述出口接头皆设置于所述容器的侧壁,所述过滤网则位于所述容器内,所述进口接头和所述出口接头分别位于所述容器侧壁的两端,且所述容器连接有所述出口接头一端的侧壁还固定连接有支脚,以所述容器设有所述支脚一端为下端,所述容器的下端底部还设有外接管道,所述外接管道上设有阀门。

通过采用上述方案,由切割液和硅粉颗粒组成的砂浆通过管道连接自进口接头处进入过滤装置的容器内,再由容器内的过滤网进行过滤,过滤过后的砂浆则从容器上的出口接头处排出过滤装置经过冷却后被当作切割液继续使用,过滤装置在长时间的工作后,砂浆内夹杂的直径小于过滤网孔径的细硅颗粒会逐渐在容器内的底部淤积,在容器的底部设置由阀门控制启闭的外接管道,打开阀门,淤积在容器内底部的细硅颗粒会随着过滤过后的砂浆一起从外接管道处被排出,从而达到使滤网过滤不掉的细硅颗粒不会继续夹杂在砂浆内逐渐积累的效果。

本实用新型进一步设置为:所述出口接头与所述容器的底部存在10cm至15cm的高度差。

通过采用上述方案,出口接头设置在容器的侧壁,外接管道设置在容器的底部,出口接头处与容器底部存在10cm至15cm的高度差,可以使砂浆充分的进行沉淀作用,使细硅颗粒沉积在容器内的底部不易从出口接头处被带出容器。

本实用新型进一步设置为:所述容器的上端设有开口,所述容器的下端呈圆头状,所述过滤网亦设置为一端开口另一端为圆头状与所述容器相匹配。

通过采用上述方案,在容器上端设置开口可以便于清理更换容器内的过滤网,若容器的底部面为平面,细硅颗粒会沉积在容器底部的整个面上,不易于沉积的细硅颗粒从外接管道处排出,将过滤网和容器的底部均设为圆头状,容器内沉积的细硅颗粒会由于重力作用沿斜面滑动最终沉积在圆头状的容器的最底端位置,便于沉积的细硅颗粒从容器最底端的外接管道处排出。

本实用新型进一步设置为:所述过滤网的精度为16目。

通过采用上述方案,出于对切割液要求的考虑,将过滤网精度设置为16目能够过滤掉砂浆中绝大部分的硅粉颗粒,使过滤后的砂浆满足作为切割液的要求。

本实用新型进一步设置为:所述容器内位于所述进口接头的下方位置朝内设置有一圈支撑圈,所述支撑圈的上端面为靠近所述容器中心一侧向下倾斜的斜面,所述过滤网支撑在所述支撑圈上。

通过采用上述方案,在容器内设置支撑圈支撑过滤网,可以使过滤网和容器之间存在一定的间隙用于过滤后的砂浆的排放,将支撑圈的上端面设置为靠近所述容器中心一侧向下倾斜的斜面,支撑圈上端面的硅粉颗粒会沿斜面进入过滤网内,从而使砂浆内的硅粉颗粒不易堆积在支撑圈上。

本实用新型进一步设置为:所述容器一端设有用以封闭所述容器开口的封盖,所述封盖铰接于所述容器,且所述封盖朝向所述容器一端面设有一圈凸边,所述容器上亦设有与所述凸边相匹配的凹槽。

通过采用上述方案,在封盖上设置凸边,在容器的开口处设置相对应的凹槽,当封盖封闭容器开口时,凸边卡嵌在凹槽内,契合面呈阶梯状可以提高封盖对容器开口的密封性。

本实用新型进一步设置为:所述容器在与所述封盖的相接处设有一层弹性密封垫。

通过采用上述方案,封盖上设置凸边,容器上设置凹槽,封盖对容器开口进行密封时凸边无法完全的卡嵌在凹槽内,在封盖和容器的相接处设置弹性密封垫可以封堵封盖和容器之间的缝隙加强两者间契合程度,加强封盖对容器开口的密封效果。

本实用新型进一步设置为:所述容器靠近所述封盖一端的侧壁设有若干铰接座,所述铰接座铰接有固定杆,所述固定杆背离所述铰接座一端螺纹连接有螺帽,所述封盖的侧边延伸有卡座,所述固定杆卡嵌配合于所述卡座,且所述螺帽抵接于所述卡座的上端面。

通过采用上述方案,旋转固定杆使固定杆卡嵌在卡座内,再旋紧螺帽可以将封盖牢牢的固定在容器上,固定效果好,且通过旋松螺帽可以转动固定杆从而打开封盖,操作简单方便。

本实用新型进一步设置为:所述螺帽侧壁固定连接有环状把手,所述环状把手的两端固定连接于所述螺帽的对立侧壁,且所述环状把手背向所述铰接座沿所述螺帽轴向设置。

通过采用上述方案,通过在螺帽上设置圆环状把手,增大了转动螺帽的力矩,故便于转动螺帽。

本实用新型进一步设置为:所述封盖上设有用于测试过滤装置内压力的压力表。

通过采用上述方案,通过压力表数值可以观察容器内的压力是否正常,从而判断容器与出口接头的通道是否被堵住,使工作人员能够对堵塞情况做出及时的反应。

综上所述,本实用新型具有以下有益效果:砂浆在进入容器内之后经过过滤网的过滤后,由于重力作用,过滤后的砂浆内残留的细硅颗粒会逐渐沉积在容器内底部可以通过外接管道排出,细硅颗粒沉积过后的砂浆再从出口接头处排出容器,可以有效防止过滤网过滤不掉的细硅颗粒夹杂在砂浆内随着循环逐渐积累。

附图说明

图1是实施例的总体结构示意图;

图2是图1中A部分的放大图;

图3是实施例的剖视图。

附图标记:1、容器;2、进口接头;3、出口接头;4、过滤网;5、支脚;6、外接管道;7、阀门;8、支撑圈;9、封盖;10、凸边;11、凹槽;12、弹性密封垫;13、铰接座;14、固定杆;15、螺帽;16、卡座;17、环状把手;18、压力表。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图1和图3所示,一种硅片切割机的砂浆过滤装置,包括圆筒状的容器1和过滤网4、管状的进口接头2和出口接头3,进口接头2设置在容器1侧壁的上端,出口接头3设置在容器1侧壁的下端,过滤网4精度为16目且安装在容器1内,容器1下端的侧壁还设有支脚5为容器1整体提供支撑,容器1的底部则外接有外接管道6,外接管道6上设有启闭外接管道6的阀门7,容器1底部和出口接头3的高度差为10cm至15cm。

硅片切割产生的砂浆自进口接头2处流入容器1内,由容器1内的过滤网4过滤掉砂浆中夹杂的直径大于过滤网4孔径的硅粉颗粒,直径小于过滤网4孔径的细硅颗粒则继续夹杂在经过过滤网4过滤后的砂浆内,过滤后的砂浆先是通过重力作用使其中夹杂的细硅颗粒沉淀在容器1内底部,沉淀过后的砂浆再从出口接头3处排出容器1被当作切割液继续使用,转动阀门7开启外接管道6,沉淀在容器1内底部的细硅颗粒则可以自外接管道6处随着砂浆被一起排出容器1。

将过滤网4精度设置在16目,过滤网4能够过滤掉砂浆中绝大部分的硅粉颗粒,使经过过滤网4过滤后的砂浆满足再次作为切割液的要求;将容器1底部和出口接头3处的高度差设置在10cm至15cm,可以使砂浆充分的进行沉淀作用,沉淀过后携带细硅颗粒较少的砂浆则可以从出口接头3处排出容器1,通过阀门7可以控制出口接头3的启闭,过滤网4过滤不掉的细硅颗粒则沉积在容器1内底部,不易夹杂在砂浆内从出口接头3处排出容器1继续随着砂浆进行循环,从而达到了使过滤网4过滤不掉的细硅颗粒不会继续夹杂在砂浆内逐渐积累的效果。

过滤网4和容器1都设置为上端开口,由于过滤网4在过滤砂浆之后,砂浆内夹杂的硅粉颗粒大部分都被过滤网4过滤沉积在过滤网4内,在过滤网4长时间工作之后,过滤网4内的硅粉颗粒逐渐累积会对过滤网4的过滤效果产生影响,将过滤网4和容器1都设置为上端开口,便于从开口处对过滤网4进行清理或者更换;若容器1的底部面为平面,沉淀下来的细硅颗粒容易沉积在整个底面上,在打开外接管道6进行排放时,细硅颗粒沉积在整个底面不便于从外接管道6处排出,将容器1和过滤网4的底部设置为圆头状,容器1内底部沉积的细硅颗粒会由于重力作用沿斜面逐渐滑动最终沉积在圆头状容器1内的最底端位置,便于沉积在容器1底部的细硅颗粒从外接管道6排出容器1。

容器1内侧壁设有一圈凸起的支撑圈8,支撑圈8位于进口接头2的下方位置,支撑圈8上端面为靠近容器1中心一侧向下倾斜的斜面,过滤网4支撑在支撑圈8上,设置支撑圈8支撑过滤网4可以使过滤网4和容器1之间产生一定的间隙不会与容器1直接接触,通过过滤网4过滤后的砂浆则存在于间隙之间,便于从出口接头3处排出容器1;将支撑圈8的上端面设置为斜面,当砂浆从进口接头2处进入容器1内时,砂浆内的硅粉颗粒落在支撑圈8上时会随着斜面滑入过滤网4内,故将支撑圈8上端面设置为斜面可以使砂浆内的硅粉颗粒不易堆积在支撑圈8上。

结合图1、图2和图3所示,容器1的上端开口处还铰接有用以封堵开口的封盖9,封盖9的侧壁延伸有卡座16,容器1侧壁上端设有铰接座13,铰接座13上铰接有固定杆14,固定杆14背离铰接座13一端则螺纹连接有螺帽15,转动固定杆14使固定杆14卡嵌在卡座16内,旋紧螺帽15使螺帽15抵接在卡座16的上表面可以将封盖9和容器1的相对位置固定封住开口,固定效果极佳,需要打开封盖9时,只需旋松螺帽15转动固定杆14即可开启封盖9,操作简单方便;为了便于转动螺帽15,在螺帽15的对立侧壁上还连接有环状把手17,环状把手17增大了螺帽15的力矩,使旋动螺帽15所需要的力更小,故便于旋动螺帽15。

封盖9上还设有一个压力表18,压力表18可以显示容器1内的压力大小,通过压力表18显示的压力大小可以知道容器1的压力是否正常,从而判断容器1上出口接头3处是否被堵住,在出现问题时使工作人员能够及时的做出反应。

为了提高封盖9和容器1接触的密封性,在封盖9朝向容器1的一端面设置一圈凸边10,容器1上则在对应位置设置一圈与凸边10相匹配的凹槽11,当封盖9封闭容器1开口时,凸边10卡嵌在凹槽11内,封盖9与容器1的契合面呈阶梯状,可以提高封盖9对容器1开口的密封性。

在封盖9和容器1两者的相接处还设有一层弹性密封垫12,弹性密封垫12位于两者之间,当凸边10卡嵌在凹槽11内时,两者之间会存在一定的缝隙,通过在两者之间设置弹性密封垫12则可以封堵这些缝隙,加强两者间的契合程度,加强封盖9对容器1开口的密封效果,防止容器1内的砂浆从两者相接处渗出。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释,其并不是对本实用新型的限制,本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改,但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

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