专利名称：一种大型号研磨机修整轮的装卸装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及到一种半导体技术领域，特别涉及到一种用于大型号硅片研磨机的修整轮的装卸装置。
背景技术：
在IC制造的前道工序中，需要将硅单晶棒切割成的晶片加工成具有高面型精度和表面质量的原始硅片或光片，为光刻等工序准备平坦化、超光滑、低损伤的趁低表面。硅片切割后，表面会残留切痕和微裂纹，损伤层可达10 - 50 μ m，通常采用双面研磨工艺来消除切痕、减小损伤层深度和改善面型精度。研磨机的工作效率由其盘面大小决定，盘面小，一次研磨的数量少，盘面大，一次研磨的数量就多，生产效率就高。在硅片研磨中，往往由于各种原因需要修正上下盘面，这个时候就要用到修整轮，一套修整轮是四个，小研磨机的修整轮半径小，一个只有2.5公斤到5公斤，人工手动比较安全，而一般工厂都是用到大型研磨机，一个修整轮的半径是30厘米，重量更是达到25公斤左右。据目前所知，装卸这种修整轮还是人工手动装卸，这时装卸修整轮就很不方便，装卸一套修整轮需耗费大量时间，而且很不安全，一不小心就会受伤。为此，引导出本实用新型构思。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种大型号研磨机修整轮的装卸装置，以解决上述现有技术中存在的装卸难题和安全隐患，提供了一种安全方便，省时省力的装卸装置。本实用新型的技术方案是:一种装卸装置，其特征在于固定于研磨机台的底座F，旋转轴G可以在底座F上360度旋转，以便灵活的控制按装或卸下修整轮；通过控制手摇柄E控制空心钢管H中的·钢丝线I的长短，空心钢管H要足够长，使得旋转范围足够大，装卸方便，并用吊钩J勾住吊环C，通过空心铁柱体D与修整轮受力连接，控制修整轮的升降。铁棒A焊接于空心铁柱体D的内壁，吊环C焊接于铁棒A的中点，与吊钩J配套。如图1所示，修整轮中①为上表面沟槽，②为下表面沟槽，由于焊接于空心铁柱体D外表面的六角螺母厚0.5cm，所以空心铁柱体D的外直径比修整轮空心部分③的直径小Icm左右。在空心铁柱体D的最底端内外表面每隔90度分别焊接同样的六角螺母B，一共八个，每两个分别与修整轮的沟槽相对应，螺母B的空心直径小于等于修整轮沟槽直径；将空心铁柱体放置于修整轮的空心部分③中，插销K为90度弯曲的钢性材料，90度弯曲是为了方便插取，插销直径略小于螺母B空心直径，只要插进去不受阻力即可。用插销K直接从空心铁柱体D内表面的螺母插入，再通过外表面的螺母，最后插进修整轮下表面的沟槽。检查好四个插销K都插好，这样用吊钩J勾住吊环C，摇动手摇柄E，使修整轮上升或下降。本实用新型的有益效果在于:本实用新型提供的大型研磨机修整轮装卸装置不仅安全方便，而且省时省力，有效提高生产效率。
[0007]图1是修整轮结构示意图；图2、图3分别是空心铁柱体的侧视和俯视时的结构不意图；图4是本实用新型提供的装卸装置结构示意图；图5为装卸修整轮时用的插销K示意图。
具体实施方式
以下结合附图进一步说明本实用新型的进步和特点。实施例1参见图1一图4，本实用新型包括固定于研磨机台的底座F，旋转轴G可以在底座F上360度旋转，灵活的控制按装或卸除修整轮；通过控制手摇柄E控制空心钢管H中的钢丝线I的长短，并用吊钩J勾住吊环C，控制空心铁柱体的升降。由于空心铁柱体D与修整轮受力连接，所以间接控制修整轮的升降。修整轮中①为上表面沟槽，②为下表面沟槽，修整轮不分正反，所以①与②可以互换。空心铁柱体D的直径略微小于修整轮空心部分③的直径，在空心铁柱体D的最底端内外表面每隔90度分别焊接一个六角螺母B，一共八个，每两个分别与修整轮的沟槽相对应，六角螺母B的空心直径小于或等于修整轮沟槽直径；铁棒A焊接于空心铁柱D的内壁，吊环C焊接于铁棒A的中点，与吊钩J配套。
将空心铁柱体放置于修整轮的空心部分③中，用直径略小于螺母B空心直径的插销K通过两个螺母插进修整轮下表面的沟槽，检查好四个插销K都插好，这样用吊钩J勾住吊环C，摇动手摇柄E，使修整轮平稳上升。当修整轮上升到高于研磨机下磨盘3 -5厘米时，通过旋转轴G将修整轮旋转至研磨机下磨盘上表面，然后轻轻的回放手摇柄E，使修整轮平稳的放置于研磨机下磨盘上，此时取走吊钩J，取出四只插销K，拿出空心铁柱体D，按装过程完毕。与现有人工手动操作方式相比，不仅安全方便而且省时省力，提高生产效率。实施例2参见图1一图4，本实用新型包括固定于研磨机台的底座F，旋转轴G可以在底座F上360度旋转，灵活的控制按装或卸除修整轮；通过控制手摇柄E控制空心钢管H中的钢丝线I的长短，并用吊钩J勾住吊环C，控制空心铁柱体的升降。由于空心铁柱体D与修整轮受力连接，所以间接控制修整轮的升降。修整轮中①为上表面沟槽，②为下表面沟槽，修整轮不分正反，所以①与②可以互换。空心铁柱体D的直径略微小于修整轮空心部分③的直径，在空心铁柱体D的最底端内外表面每隔90度分别焊接一个六角螺母B，一共八个，每两个分别与修整轮的沟槽相对应，螺母B的空心直径小于等于修整轮沟槽直径；铁棒A焊接于空心铁柱体D的内壁，吊环C焊接于铁棒A的中点，与吊钩J配套。在研磨机大盘停止后，升起上磨盘，将空心铁体柱放置于修整轮的空心部分③中，用直径略小于螺母B空心直径的插销K通过两个螺母插进修整轮下表面的沟槽，检查好四个插销K都插好，这样用吊钩J勾住吊环C，摇动手摇柄E，使修整轮略微上升。当修整轮上升至研磨机底下磨盘3 - 5厘米时，通过旋转轴G将修整轮旋转至研磨机外面，然后轻轻的回放手摇柄E，使修整轮平稳的下降，直至下降到修整轮放置台上，此时取走吊钩J，取出四只插销K，拿出空心铁柱体D，此时卸除过程完毕。与现有 人工手动操作方式相比，不仅安全方便而且省时省力，提高生产效率。
权利要求1.一种大型号研磨机修整轮的装卸装置，其特征在于，包括，固定于研磨机台的底座(F)，旋转轴(G)在底座(F)上360度旋转；通过控制手摇柄(E)控制空心钢管(H)中的钢丝线(I)的长短，钢丝线另一端设有吊钩(J)，吊钩(J)勾住吊环(C)，控制空心铁柱体(D)的升降；空心铁柱体(D)与修整轮受力连接。
2.按权利要求1所述的装置，其特征在于吊环(C)焊接于铁棒(A)的中点，铁棒(A)焊接于空心铁柱体(D)的内腔；空心铁柱体(D)的最底端内外表面每隔90度分别焊接同样大小的六角螺母。
3.按权利要求2所述的装置，其特征在于空心铁柱体(D)的直径略小于修整轮中央的空心部分。
4.按权利要求1或3所述的装置，其特征在于修整轮中的上表面沟槽和下表面沟槽可以互换。
5.按权利要求2所述的装置，其特征在于: ①所述的六角螺母一共为8个，每两个分别与修整轮的沟槽相对应； ②所述六角螺母的空 心直径小于或等于修整轮的沟槽直径。
专利摘要本实用新型涉及一种大型号研磨机修整轮的装卸装置，其特征在于，包括，固定于研磨机台的底座(F)，旋转轴(G)在底座(F)上360度旋转；通过控制手摇柄(E)控制空心钢管(H)中的钢丝线(I)的长短，钢丝线另一端设有吊钩(J)，吊钩(J)勾住吊环(C)，控制空心铁柱体(D)的升降；空心铁柱体(D)与修整轮受力连接。吊环(C)焊接于铁棒(A)的中点，铁棒(A)焊接于空心铁柱体(D)的内腔；空心铁柱体(D)的最底端内外表面每隔90度分别焊接同样大小的六角螺母。空心铁柱体(D)的直径略小于修整轮中央的空心部分。修整轮中的上表面沟槽和下表面沟槽可以互换。所述的六角螺母一共为8个，每两个分别与修整轮的沟槽相对应。本实用新型解决了现有大型号研磨机修整轮装卸过程中存在的难题和安全隐患。
文档编号B25B27/00GK203141411SQ201320131840
公开日2013年8月21日 申请日期2013年3月22日 优先权日2013年3月22日
发明者谌虹毅, 陈杰, 刘浦锋, 宋洪伟, 陈猛 申请人:上海超硅半导体有限公司