本实用新型涉及ALD源的生产领域，特别涉及一种ALD源专用惰性气氛循环手套箱循环系统装置。
背景技术：
目前无氧无水循环手套箱一般都未对水、氧分析造成腐蚀的ALD源蒸汽进行吸附，同时在更换活性炭柱及水、氧柱后，是通过箱体气氛对柱内空气份的吹扫，不能彻底除尽空气，影响水、氧净化柱的效能。对手套箱的连续工作造成影响，势必影响产品生产的连续性，增加了生产成本，更减低了产品品质。
又如CN103507086A公开了一种手套箱高净化吸附装置，包括手套箱本体及与所述手套箱本体连接的至少两根不锈钢柱，所述不锈钢柱与所述手套箱本体通过管路连接，所述至少两根不锈钢柱之间通过管路连接，所述不锈钢柱与所述手套箱本体连接处设置有吸附层。超高纯手套箱打破了传统的双柱观念，使得净化材料可以成本增加，极大提高了净化系统的吸附能力，可以使用户得到高纯度的惰性气体。
又如CN104260115A公开了一种除氮气的手套箱系统。它包括手套箱体、连接在手套箱体上的循环管路和设置在循环管路上的循环风机和净化系统；其特征在于：该循环管路上还设置有吸氮装置，该吸氮装置内装有海绵钛并带有加热装置。它特别适用于锂电池生产领域，可以有效去除遗留在手套箱体内的氮气及大小仓开启时残余的氮气，避免这些氮气能与金属锂发生反应，生成氮化锂，严重影响电池的质量。
又如CN104097216A公开了一种除氟化氢的手套箱系统。它包括手套箱体、连接在手套箱体上的循环管路和设置在循环管路上的循环风机和净化系统；其特征在于：该循环管路上还设置有氟化氢吸附器，该氟化氢吸附器设置在净化系统之前。它特别适用于锂电池、电解液生产领域，可以有效去除手套箱体内的氟化氢，并对手套箱系统的玻璃、管道、阀门起到防腐保护作用。
技术实现要素：
为克服上述现有技术的不足，本实用新型提供一种ALD源专用惰性气氛循环手套箱循环系统装置，包括箱体，所述箱体一侧通过管道一和管道二连接活性炭柱箱一；所述活性炭柱箱一另一侧通过管道三、管道四、管道五、管道六连接活性炭柱箱二，所述活性炭柱箱二另一侧通过管道七、管道八与水、氧净化柱箱相连，所述水、氧净化柱箱另一侧通过管道九、管道十与所述箱体另一侧相连；
所述管道一与所述管道二之间设有球阀三，所述管道二通过卡套接口一连接所述活性炭柱 箱一；所述活性炭柱箱一与所述管道三之间设有卡套接口二，所述管道三与所述管道四之间设有球阀四，所述管道四与所述管道五之间设有水分仪和氧分仪，所述管道五与所述管道六设有球阀七，所述管道六通过卡套接口三连接所述活性炭柱箱二；所述活性炭柱箱二与所述管道七之间设有卡套接口四，所述管道七与所述管道八之间设有球阀九，所述管道八通过卡套接口五与所述水、氧净化柱箱连接；所述水、氧净化柱箱与所述管道九之间设有卡套接口六，所述管道九与所述管道十之间设有球阀十三。
优选地，所述管道一与所述管道四设有分支管道一，所述分支管道一与所述管道一、所述管道四之间分别设有球阀一和球阀二。
优选地，所述管道三与所述管道九之间设有分支管道二，所述分支管道二与所述管道三(29)、所述管道九之间分别设有球阀五和球阀十四，所述分支管道二与所述管道七之间设有球阀十，所述分支管道二上设有用于连接真空泵的球阀十一。
优选地，所述管道五与所述管道十之间设有分支管道三，所述分支管道三与所述管道五(31)、所述管道十之间分别设有球阀六和球阀十二，所述分支管道三与所述管道八之间设有球阀八。
本实用新型提供了一种ALD源专用惰性气氛循环手套箱循环系统装置，不仅保护了水、氧分析仪，准确检测箱体气氛；实现对有机溶剂的吸附，保证了水、氧净化柱的净化效能；同时保证了生产连续性及品质的保证。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过本技术方案，其一是，能够及时、准确检测箱体气氛；其二是，能保证ALD源品质的稳定性；其三是，保证生产连续性，减低成本。
附图说明
图1为一种ALD源专用惰性气氛循环手套箱循环系统装置结构示意图；
具体实施方式
下面结合具体实施方式，进一步阐明本实用新型，应理解下述具体实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。
实施例1
如图所示，一种ALD源专用惰性气氛循环手套箱循环系统装置，包括箱体21，所述箱体21一侧通过管道一27和管道二28连接活性炭柱箱一22；所述活性炭柱箱一22另一侧通过管道三29、管道四30、管道五31、管道六32连接活性炭柱箱二23；所述管道一27与所述管道四30设有分支管道一38，所述分支管道一38与所述管道一27、所述管道四30之间分别设有球阀一1和球阀二2；所述活性炭柱箱二23另一侧通过管道七33、管道八34与水、氧净化柱箱24相连，所述水、氧净化柱箱24另一侧通过管道九35、管道 十36与所述箱体21另一侧相连；所述管道三29与所述管道九35之间设有分支管道二39，所述分支管道二39与所述管道三29、所述管道九35之间分别设有球阀五7和球阀十四20，所述分支管道二39与所述管道七33之间设有球阀十14，所述分支管道二39上设有用于连接真空泵的球阀十一15；所述管道五31与所述管道十36之间设有分支管道三40，所述分支管道三40与所述管道五31、所述管道十36之间分别设有球阀六8和球阀十二18，所述分支管道三40与所述管道八34之间设有球阀八12；
所述管道一27与所述管道二28之间设有球阀三3，所述管道二28通过卡套接口一4连接所述活性炭柱箱一22；所述活性炭柱箱一22与所述管道三29之间设有卡套接口二5，所述管道三29与所述管道四30之间设有球阀四6，所述管道四30与所述管道五31之间设有水分仪25和氧分仪26，所述管道五31与所述管道六32设有球阀七9，所述管道六32通过卡套接口三10连接所述活性炭柱箱二23；所述活性炭柱箱二23与所述管道七33之间设有卡套接口四11，所述管道七33与所述管道八34之间设有球阀九13，所述管道八34通过卡套接口五16与所述水、氧净化柱箱24连接；所述水、氧净化柱箱24与所述管道九35之间设有卡套接口六17，所述管道九35与所述管道十36之间设有球阀十三19。
ALD源在箱体21进行纯化、灌装，循环气体由管道一27及管道二28进入活性炭柱箱一22，经管道三29、管道四30，并通过水分仪25、氧分析26、管道五31、管道六32进入活性炭柱箱二23，继续经过管道七33、管道八34进入水、氧净化柱箱(24)，最后经管道九35和管道十36回到箱体21；活性炭柱箱一22用于对微量操作过程中挥发的ALD源的吸附，保护水分仪25和氧分仪26；活性炭柱箱二23用于对大量有机溶剂吸附，保护水、氧净化柱；更换活性炭柱箱一22内的活性炭柱时，气体改由分支管道一38通过水分仪25、氧分析26进行循环。更换活性炭柱箱二23内的活性炭柱时，气体改由经分支管道三40、管道八34进入水、氧净化柱箱24。更换水、氧净化柱箱24内的水、氧净化柱，气体改由分支管道三40、管道十36进入箱体(21)。更换所有活性炭柱及水、氧净化柱后，柱内空气氛通过分支管道二39和球阀十一(15)连接到真空泵，抽掉空气，并用箱体气氛解除真空。
除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。