一种掩膜板存储装置的制作方法

本发明涉及液晶面板制造领域，尤其涉及一种掩膜板存储装置。

背景技术：

lcd(liquidcrystaldisplay，液晶显示器)工厂随着客户需求的多样化，曝光机用的掩模板数量也在不断的增加，每开发一种产品，都要多出一套掩模板。以现在fhd(fullhighdefinition，全高清)产品为例，一套掩模板数量可达6个，甚至更多，这样掩模板的存储就会面临很大压力。一般工厂曝光机内部以及现有存储设备只能保证30％左右的掩模板存放在存储盒里，其余70％的掩模板都存放在物流用保护箱中。这样在存储大量掩膜板时，就需要较大的存储空间；同时，根据生产管理的安排，生产型号不断的在变，这样在更换掩模板时就要不断的倒腾保护箱，势必会导致杂质颗粒对掩模板的污染，造成掩膜板生长性不良。

技术实现要素：

本发明的实施例提供一种掩膜板存储装置，能够大大节省掩膜板存储所需空间，同时避免在存储和更换掩膜板时对掩膜板造成污染。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例提供一种掩膜板存储装置，包括：

箱体，所述箱体的侧壁上设置有开口，所述开口处设置有门体，所述门体可封闭所述开口；掩膜板可通过所述开口进入或退出所述箱体；

所述箱体的底壁上设置有搭载台，所述搭载台用于放置所述掩膜板；所述箱体内设置有多组沿竖直方向排布的支撑组件，相邻两组所述支撑组件之间存在间隙；

所述箱体内还设置有驱动单元和与所述驱动单元连接的抓取单元，所述抓取单元用于从所述搭载台上抓取所述掩膜板；所述驱动单元可驱动所述抓取单元移动，使得所述抓取单元将抓取的所述掩膜板移动至所述支撑组件上。

可选的，所述驱动单元包括竖直驱动子单元和水平驱动子单元，所述竖直驱动子单元用于驱动所述抓取单元在竖直方向上移动；所述水平驱动子单元用于驱动所述抓取单元在所述水平方向上移动。

可选的，所述竖直驱动子单元包括垂直于所述箱体底壁设置的四个第一传动丝杠以及驱动所述第一传动丝杠转动的第一电机；四个所述第一传动丝杠围成一个矩形；

每个所述第一传动丝杠上均设置有联动楔块，四个所述联动楔块的设置高度相同；所述联动楔块可沿所述第一传动丝杠上下移动；位于同一侧的两个所述联动楔块之间连接有联动轴；所述抓取单元连接在所述联动轴上。

可选的，所述水平驱动子单元包括第二电机，所述联动轴的一端延伸至所述支撑组件的上方；所述联动轴为第二传动丝杠，所述第二电机驱动所述联动轴旋转，使得所述抓取单元可沿所述联动轴水平移动至所述支撑组件的上方。

可选的，所述抓取单元包括多个装载夹，每个所述联动轴上设置有至少两个所述装载夹；

所述装载夹包括与所述联动轴固定的竖直部分和垂直连接在所述竖直部分的端部的水平部分，所述水平部分用于支撑所述掩膜板的底部；所述水平部分在水平方向上可伸缩。

可选的，连接有所述联动轴的两个联动楔块上还固定有固定载体，所述固定载体上设置有侧导向槽，所述侧导向槽用于对所述装载夹在水平方向上的移动进行导向。

可选的，每组所述支撑组件均包括四个支撑pin，四个所述支撑pin用于支撑所述掩膜板的四角位置。

可选的，还包括多个光电传感器，每个所述支撑pin对应一个所述光电传感器；所述光电传感器用于检测所述支撑pin上是否放置有所述掩膜板。

可选的，所述箱体靠近所述支撑组件的侧壁上设置有观察窗口。

可选的，所述箱体为矩形封闭箱体，所述箱体内设置有空调系统，所述空调系统用于调节所述箱体内的温度和湿度。

本发明实施例提供的掩膜板存储装置，包括箱体，箱体的侧壁上设置有开口，开口处设置有门体，门体可封闭开口；掩膜板可通过开口进入或退出箱体；箱体的底壁上设置有搭载台，搭载台用于放置掩膜板；箱体内设置有多组沿竖直方向排布的支撑组件，相邻两组支撑组件之间存在间隙；箱体内还设置有驱动单元和与驱动单元连接的抓取单元，抓取单元用于从搭载台上抓取掩膜板；驱动单元可驱动抓取单元移动，使得抓取单元将抓取的掩膜板移动至支撑组件上。相较于现有技术，本发明实施例提供的掩膜板存储装置通过设置多组用于支撑掩膜板的支撑组件，利用抓取单元和驱动单元将搭载台上的掩膜板移动至支撑组件上即可进行存储。由于存储掩膜板时不需要存储盒，而是裸存在箱体中，因而大大节省了掩膜板存储所需空间；同时也避免了在存储和更换掩膜板时对掩膜板造成污染，从而提高了液晶面板的生产良率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的掩膜板存储装置右视示意图；

图2为本发明实施例提供的掩膜板存储装置结构示意图；

图3为本发明实施例提供的掩膜板存储装置正视示意图；

图4为本发明实施例提供的掩膜板存储装置俯视示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种掩膜板存储装置，如图1至图4所示，包括：箱体10，箱体10的侧壁上设置有开口，所述开口处设置有门体11，门体11可封闭所述开口；掩膜板12可通过所述开口进入或退出箱体10；箱体10的底壁上设置有搭载台13，搭载台13用于放置掩膜板12；箱体10内设置有多组沿竖直方向排布的支撑组件，相邻两组所述支撑组件之间存在间隙；箱体10内还设置有驱动单元和与所述驱动单元连接的抓取单元，所述抓取单元用于从搭载台13上抓取掩膜板12；所述驱动单元可驱动所述抓取单元移动，使得所述抓取单元将抓取的掩膜板12移动至所述支撑组件上。

其中，箱体10一般为矩形封闭箱体，箱体10内通常设置有用于调节箱体10内的温度和湿度的空调系统23。

参考图1和图2所示，为了提高所述掩膜板存储装置的智能化程度，在门体11上还可设置触控面板24，通过触控所述触控面板24可以控制门体11的打开和关闭。

在实际应用中，一般利用搬运车27运送掩膜板12和存放有掩膜板12的存储盒。当利用搬运车27运送存储盒到所述掩膜板存储装置的门体11前时，打开门体11，并打开存储盒顶盖26，然后取出掩膜板12放置到箱体10内的搭载台13上，或者将存储盒底座25和掩膜板12一起推放至搭载台13上，本发明实施例对此不做限定。较佳的，将存储盒底座25和掩膜板12一起推放至搭载台13上，这样方便施行，同时避免了单独将掩膜板12从存储盒中取出并放置到搭载台13上的过程中，人工对掩膜板12造成污染。

所述支撑组件用于支撑掩膜板12，掩膜板12就存放在箱体10内的所述支撑组件上；一组所述支撑组件上存放一个掩膜板12。

这样一来，相较于现有技术，本发明实施例提供的掩膜板存储装置通过设置多组用于支撑掩膜板的支撑组件，利用抓取单元和驱动单元将搭载台上的掩膜板移动至支撑组件上即可进行存储。由于存储掩膜板时不需要存储盒，而是裸存在箱体中，因而大大节省了掩膜板存储所需空间；同时也避免了在存储和更换掩膜板时对掩膜板造成污染，从而提高了液晶面板的生产良率。

进一步的，所述驱动单元包括竖直驱动子单元和水平驱动子单元，所述竖直驱动子单元用于驱动所述抓取单元在竖直方向上移动；所述水平驱动子单元用于驱动所述抓取单元在所述水平方向上移动。

所述抓取单元可通过所述竖直驱动子单元和所述水平驱动子单元的驱动将掩膜板12从搭载台13上移动至所述支撑组件上，或者从所述支撑组件上移动至搭载台13上；参考图1和图2所示，所述抓取单元可在掩膜板存储装置的前半区域垂直方向任意移动，在后半区域内掩膜板存储位置的水平高度上沿水平方向移动。

具体的，参考图1和图2所示，所述竖直驱动子单元包括垂直于箱体10底壁设置的四个第一传动丝杠14以及驱动第一传动丝杠14转动的第一电机15；四个第一传动丝杠14围成一个矩形；每个第一传动丝杠14上均设置有联动楔块16，四个联动楔块16的设置高度相同；联动楔块16可沿第一传动丝杠14上下移动；位于同一侧的两个联动楔块16之间连接有联动轴17；所述抓取单元连接在联动轴17上。当抓取单元抓取了掩膜板12后，第一电机15启动，第一电机15的电机轴带动第一传动丝杠14转动，第一传动丝杠14上的联动楔块16沿第一传动丝杠14上移或下移，从而带动联动轴17上移或下移，进而带动所述抓取单元和掩膜板12上移或下移。

进一步的，参考图1和图2所示，所述水平驱动子单元包括第二电机，联动轴17的一端延伸至所述支撑组件的上方；联动轴17为第二传动丝杠，所述第二电机驱动联动轴17旋转，使得所述抓取单元可沿联动轴17水平移动至所述支撑组件的上方。当抓取单元和掩膜板12一起上移至预设高度时，所述第二电机驱动联动轴17转动，使得连接在联动轴17上的所述抓取单元可将掩膜板12沿联动轴17水平移动至所述支撑组件的上方，进而存放在所述支撑组件上。其中所述预设高度为与某一掩膜板存放位置的水平高度相同的高度。

在实际应用中，所述抓取单元可以是包含多个装载夹18的结构，利用装载夹18夹取掩膜板12，也可以是具有吸附功能的吸附面板，利用其上具有的多个真空吸附孔可以将掩膜板12紧紧吸附在吸附面板上，完成掩膜板12的抓取，本发明实施例对此不做限定。较佳的，选用利用装载夹18夹取掩膜板12的方式，这样可以使得掩膜板12的抓取更加稳固和安全。具体的，参考图1至图4所示，所述抓取单元包括多个装载夹18，每个联动轴17上设置有至少两个装载夹18；装载夹18包括与联动轴17固定的竖直部分和垂直连接在所述竖直部分的端部的水平部分，所述水平部分用于支撑掩膜板12的底部；所述水平部分在水平方向上可伸缩。当在抓取和移动掩膜板12时，装载夹18的水平部分伸出用以支撑掩膜板12的底部；其余时候可将装载夹18的水平部分缩回，便于装载夹18自身移动。

进一步的，参考图1和图2所示，连接有联动轴17的两个联动楔块16上还固定有固定载体19，固定载体19上设置有侧导向槽20，侧导向槽20用于对装载夹18在水平方向上的移动进行导向。这样可以减少装载夹18夹取的掩膜板12在水平方向上移动时产生晃动，使得水平移动更加平稳。

需要说明的是，装载夹18的竖直移动和水平移动还可利用齿轮和电机配合结构实现，或利用其它结构实现，本发明实施例对此不做限定。

进一步的，参考图3所示，每组所述支撑组件均包括四个支撑pin21，四个支撑pin21用于支撑掩膜板12的四角位置。在实际应用时，支撑pin21的支撑位置一般设置在装载夹18与掩膜板12底部保护薄膜最外侧之间，直接接触掩膜板周边石英玻璃的背面。这样不但可以保证支撑的较为稳固，而且避免了支撑pin21支撑在对掩膜板12底部保护薄膜或保护薄膜内侧的图案上时，对掩膜板12底部保护薄膜和掩膜板12上的图案造成损坏。

较佳的，参考图4所示，所述掩膜板存储装置还包括多个光电传感器22，每个支撑pin21对应一个光电传感器22；光电传感器22用于检测支撑pin21上是否放置有掩膜板12。当掩膜板12放置在某一支撑组件上时，所述支撑组件的四个支撑pin21中，对应的光电传感器22有一个或多个检测出支撑pin21上没有放置掩膜板12，则表示掩膜板12放置位置不当，可能发生了偏斜，需利用抓取单元重新调整掩膜板12的放置位置，直到四个光电传感器22均检测出其对应的支撑pin21上放置有掩膜板12为止。

在实际应用中，一般会在箱体10靠近所述支撑组件的侧壁上设置观察窗口。通过所述观察窗口，可以方便的确认掩膜板实时位置；并且在掩膜板存储装置出现故障时，可以通过所述观察窗口进行简单维修。

本发明实施例中存储掩膜板12的流程一般如下：人工用搬运车27将掩膜板储存盒搬运至所述掩膜板存储装置前，打开存储盒顶盖26；将掩膜板12和存储盒底座25一起推放至搭载台13上，将搬运车27抽离；关闭门体11，初始化装载夹18的位置，使其位于搭载台13处；通过操作控制面板，驱动四个装载夹18将搭载台13上的掩膜板12抓起，垂直升至空的存储位置前，再驱动装载夹18顺着侧导向槽20在水平方向移至四个支撑pin21的正上方，支撑pin21周边的光电传感器22确认掩膜板12到达设定位置后，驱动装载夹18下降，掩膜板12最终落在四个支撑pin21上；完成后可再驱动四个装载夹18顺着侧导向槽20在水平方向移动至垂直驱动区域，至此掩膜板12存储完毕。

当需要取出待生产的掩膜板12时，首先驱动装载夹18垂直方向移动至需要生产的掩膜板12所在存储槽位置前，再驱动装载夹18顺着侧导向槽20在水平方向移至该存储位置正上方，然后驱动装载夹18下降至设定夹取位置，夹取该需要生产的掩膜板12后上升至装载位置；接着驱动装载夹18顺着侧导向槽20在水平方向移动至垂直驱动区域，如图1所示的左侧区域；打开门体11，用搬运车27将存储盒底座25放置在搭载台13上，然后抽离搬运车27；接着驱动装载夹18垂直下降，将待生产的掩膜板12落在存储盒底座25上；最后用搬运车将待生产的掩膜板12和存储盒底座25一起抽离搭载台13，并在装置外部盖上存储盒顶盖26，至此完成了掩膜板12取出。

本发明实施例提供的掩膜板存储装置，包括箱体，箱体的侧壁上设置有开口，开口处设置有门体，门体可封闭开口；掩膜板可通过开口进入或退出箱体；箱体的底壁上设置有搭载台，搭载台用于放置掩膜板；箱体内设置有多组沿竖直方向排布的支撑组件，相邻两组支撑组件之间存在间隙；箱体内还设置有驱动单元和与驱动单元连接的抓取单元，抓取单元用于从搭载台上抓取掩膜板；驱动单元可驱动抓取单元移动，使得抓取单元将抓取的掩膜板移动至支撑组件上。相较于现有技术，本发明实施例提供的掩膜板存储装置通过设置多组用于支撑掩膜板的支撑组件，利用抓取单元和驱动单元将搭载台上的掩膜板移动至支撑组件上即可进行存储。由于存储掩膜板时不需要存储盒，而是裸存在箱体中，因而大大节省了掩膜板存储所需空间；同时也避免了在存储和更换掩膜板时对掩膜板造成污染，从而提高了液晶面板的生产良率。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。