真空贴合的吸合稳固结构的制作方法

本实用新型专利涉及真空贴合的技术领域，具体而言，涉及真空贴合的吸合稳固结构。

背景技术：

在制造加工中，许多加工产品对加工的环境具有特殊要求，比如真空环境。将容器内的空气抽取出来，使得容器内部气压减小，形成真空腔室，将产品放入真空腔室内进行加工，使产品符合加工要求。

现有的真空贴合过程中，通过治具板的内腔室产生真空将产品吸附，进而实现对产品的搬运和移动，通过治具板真空吸附产品搬运到真空腔室内进行产品的贴合。

上述的真空贴合操作，由于治具板的内腔室的压力大于真空腔室内的压力，当治具板将产品吸附搬运到真空腔室内时，由于内腔室与真空腔室的压差，进行真空贴合时治具板对产品的吸合不稳固，产品容易从治具板上掉落，导致贴合失败。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供真空贴合的吸合稳固结构，旨在解决现有技术中，真空贴合过程中治具板对产品的吸合不稳固的问题。

本实用新型是这样实现的，真空贴合的吸合稳固结构，包括处于真空腔室内的治具板，所述治具板内设有内腔室；所述治具板上具有吸合面，所述吸合面上设置有静电吸片以及真空吸孔，所述真空吸孔与内腔室连通；所述治具板上设有多个连接管道，所述连接管道一端连通所述内腔室，另一端连通真空电磁阀，所述真空电磁阀与平衡管道连接，多个所述平衡管道连通所述真空腔室；当所述内腔室内的压力大于所述真空腔室内的压力时，所述真空电磁阀导通所述连接管道以及所述平衡管道，所述内腔室与所述真空腔室连通。

进一步地，所述治具板上设有两个所述连接管道，两个所述连接管道与两个所述平衡管道分别通过所述真空电磁阀连接。

进一步地，两个所述真空电磁阀处于所述治具板的同一侧。

进一步地，两个所述平衡管道呈相向布置，且处于两个所述真空电磁阀之间。

进一步地，所述真空电磁阀连接有真空管道，所述真空管道连通真空气泵；当所述真空电磁阀切换至导通所述连接管道以及所述真空管道时，启动真空气泵，对所述治具板的内腔室进行抽真空。

进一步地，所述真空管道延伸至所述真空腔室的外部，所述真空气泵置于所述真空腔室的外部。

进一步地，所述真空管道上设有负压电磁阀，所述负压电磁阀控制所述真空管道的通断。

进一步地，所述负压电磁阀连接正压管道，所述正压管道连接有正压气泵；当所述负压电磁阀切换至导通所述真空管道以及所述正压管道，且所述真空电磁阀导通所述连接管道以及所述真空管道时，所述正压气泵与所述治具板的内腔室连通。

进一步地，所述正压管道设有正压电磁阀，所述正压电磁阀控制所述正压管道的通断。

进一步地，所述真空腔室的侧壁上具有连通孔，所述真空管道穿过所述连通孔延伸至所述真空腔室的外部，所述连通孔与所述真空管道之间呈密封布置。

与现有技术相比，本实用新型提供的真空贴合的吸合稳固结构，治具板的吸合面上设有静电吸片以及真空吸孔，真空吸孔与内腔室连通，将内腔室抽真空后，静电吸片配合真空吸孔将产品吸附在治具板上；治具板将产品移动至真空腔室后，真空电磁阀导通连接管道以及平衡管道，使得内腔室与真空腔室连通，保证内腔室与真空腔室的压力一致，治具板通过静电吸片吸附产品进行真空贴合加工，避免产品从治具板上掉落，增强了真空贴合过程中治具板对产品吸合的稳固性。

附图说明

图1是本实用新型提供的真空贴合的吸合稳固结构的连接示意图；

图2是本实用新型提供的真空贴合的吸合稳固结构的部分示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

参照图1-2所示，为本实用新型提供的较佳实施例。

本实施例提供的真空贴合的吸合稳固结构，可以运用在真空腔体中，当然，其也可以运用在其他真空装置中，不仅限制于本实施例中的运用。

真空贴合的吸合稳固结构，包括处于真空腔室17内的治具板11，治具板11内设有内腔室；治具板11上具有吸合面，吸合面上设置有静电吸片12以及真空吸孔13，真空吸孔13与内腔室连通；治具板11上设有多个连接管道14，连接管道14一端连通内腔室，另一端连通真空电磁阀15，真空电磁阀15与平衡管道16连接，多个平衡管道16连通真空腔室17；当内腔室内的压力大于真空腔室17内的压力时，真空电磁阀15导通连接管道14以及平衡管道16，内腔室与真空腔室17连通。

上述的真空贴合的吸合稳固结构，治具板11的吸合面上设有静电吸片12以及真空吸孔13，真空吸孔13与内腔室连通，将内腔室抽真空后，静电吸片12配合真空吸孔13将产品吸附在治具板11上；治具板11将产品移动至真空腔室17后，真空电磁阀15导通连接管道14以及平衡管道16，使得内腔室与真空腔室17连通，保证内腔室与真空腔室17的压力一致，治具板11通过静电吸片12吸附产品进行真空贴合加工，避免产品从治具板11上掉落，增强了真空贴合过程中治具板11对产品吸合的稳固性。

治具板11上设有两个连接管道14，两个连接管道14与两个平衡管道16分别通过真空电磁阀15连接，设置两个连接管道14和平衡管道16，加快了内腔室与真空腔室17的压力平衡速度，提高产品生产效率。

两个真空电磁阀15处于治具板11的同一侧，节约真空电磁阀15与治具板11在真空腔室17内占据的空间。

两个平衡管道16呈相向布置，且处于两个真空电磁阀15之间，使得两个平衡管道16有序排布，且节约两个平衡管道16在真空腔室17内占据的空间。

真空电磁阀15连接有真空管道18，真空管道18连通真空气泵19；当真空电磁阀15切换至导通连接管道14以及真空管道18时，启动真空气泵19，对治具板11的内腔室进行抽真空。

当治具板11处于真空腔室17的外部时，通过真空气泵19对治具板11的内腔室进行抽真空，真空吸孔13与治具板11的内腔室连通；将产品放置在治具板11的吸合面上，静电吸片12与真空吸孔13同时将产品吸合，加强对产品的吸合作用，避免将治具板11移动至真空腔室17的过程中，产品发生掉落。

真空管道18延伸至真空腔室17的外部，真空气泵19置于真空腔室17的外部，避免真空气泵19在真空腔室17内部受到真空影响，损坏真空气泵19。

真空管道18上设有负压电磁阀20，负压电磁阀20控制真空管道18的通断，当治具板11处于真空腔室17内部时，真空电磁阀15切换至导通连接管道14以及平衡管道16，同时负压电磁阀20控制真空管道18断开，避免由于真空电磁阀15失效而导致连接管道14依然与真空管道18连通，增强了管道连接的有效性和安全性。

负压电磁阀20连接正压管道21，正压管道21连接有正压气泵22；当负压电磁阀20切换至导通真空管道18以及正压管道21，且真空电磁阀15导通连接管道14以及真空管道18时，正压气泵22与治具板11的内腔室连通。

当产品在真空腔室17内真空贴合完成后，将产品移动到真空腔室17外部的收集仓，负压电磁阀20切换至导通真空管道18以及正压管道21，真空电磁阀15导通连接管道14以及真空管道18，正压气泵22与治具板11的内腔室连通，正压气泵22对治具板11的内腔室注入正压气体，真空吸孔13对产品产生推力，当推力大于静电吸片12对产品的吸合力时，产品从治具板11上掉落到收集仓，完成产品的收集。

正压管道21设有正压电磁阀23，正压电磁阀23控制正压管道21的通断，当治具板11吸合产品时，正压电磁阀23控制正压管道21断开，避免正压管道21与真空管道18连通而导致产品掉落。

真空腔室17的侧壁上具有连通孔，真空管道18穿过连通孔延伸至真空腔室17的外部，连通孔与真空管道18之间呈密封布置。

连通孔与真空管道18的间隙之间填充有密封圈，避免真空腔室17与外部连通，导致真空环境失效。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。