专利名称：不等长软硬结合板层压制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造领域，更具体地说，本发明涉及一种软板区不等长设计的软硬结合板层压制作方法。
背景技术：
在软硬结合板工艺中，有时会遇到软板区不等长设计的情况。对于软板区不等长设计的软硬结合板，由于多张软板单片长度不一致，在压合过程受压作用下中间部分软板最长的区域会鼓起，同时在高温高压作用下图形会向两边挤压，导致软板区图形折伤，图形对位不良等问题。具体地说，有多张软板单片的软硬结合板，单方向弯折，若多张单片长度相等，当软板向同一个方向弯折时，由于板厚和层间间隙因素，不同软板的弯折半径不同，造成最外 层软板受到拉伸，最内层软板受到挤压，形成隆起和拉扯(如图I的Ml所示)，这种拉伸和挤压在软硬结合处会形成应力集中点，可能会造成机械应力损伤。为消除弯折后机械应力，将不同层软板设计成弯折区有长度梯度的结构(如图2的M2所示)，弯折后，不出现拉扯和挤压，也就消除了机械应力。软硬结合板软板区不等长设计，带来了后续层压过程制作的困难。层压过程是将多张不等长设计的软板单片、硬板单片以及半固化片组合在高温高压下通过半固化片的粘接作用形成一个整体。但是由于软板区长度不一致，软板区鼓起部分压合过程过度挤压导致图形变形折伤，而且还带来图形对位困难，难以对位在一起的问题。目前，针对该缺陷的解决方法是将软板区挖开，在软板区根据软板区不等长特点填入填充物垫平，让软板区尽可能少受到挤压。该解决方案缺点是操作麻烦，硬板区也需要填充垫高处理，而且当软板区长度相差较大时，软板区鼓起高度高，压合困难，无法实现，不得已采取软板区等长设计以降低工艺难度。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种针对软板区不等长设计的软硬结合板的层压制作方法，解决现有技术压合过程中软板区图形会折伤变形以及层间对位问题。根据本发明，提供了一种不等长软硬结合板层压制作方法，其包括将除最短软板单片之外的所有软板单片沿与长度方向垂直的方向裁开，并按长度方向，将其余软板单片的铆钉孔拉至与最短软板单片相同位置铆合；对外露软板区中间位置相应的硬板单片和压合辅料开窗；在压合时将硬板单片的开窗外围部分挤压固定住；准备衬板及缓冲材料，叠板时在缓冲材料上加衬板辅助，，在缓冲材料下布置软硬结合板，在软硬结合板下方布置缓冲材料；在衬板、缓冲材料和软硬结合板中间铣出一个框以露出外露软板区；进行层压。优选地，在上述不等长软硬结合板层压制作方法中，进行层压时的温度为200-210。。。
优选地，在上述不等长软硬结合板层压制作方法中，进行层压时的压力为400-550Psio优选地，在上述不等长软硬结合板层压制作方法中，进行层压时的升温速率为I. 5-2. 50C /min。优选地，在上述不等长软硬结合板层压制作方法中，压合辅料包括硅胶片和/或缓冲垫。在本发明的不等长软硬结合板层压制作方法中，在设计软板区时根据长度做调整，最短软板单片不裁开，其余软板单片裁开，铆钉孔沿四周布设，靠铆钉对位铆住，从而确保对位精度；并且在软板单片裁开的位置相应的硬板单片、压合辅料开窗，层压叠板时用衬板辅助将软硬结合板垫平层压处理，相应的缓冲材料也进行了开窗设计，由此使中间软板区凸起部分不受压，从而保证了软板区图形不变形折伤。由此，根据本发明的不等长软硬结合板层压制作方法提供了一种层压制作方法， 可以实现软板区不等长设计的软硬结合板层压，使得软板区不变形折伤，并且使层间对位精度满足要求。
结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中图I示意性地示出了软硬结合板等长设计的情况。图2示意性地示出了软硬结合板不等长设计的情况。图3示意性地示出了不等长软硬结合板。图7示意性地示出了根据现有技术的软硬结合板不等长设计的分解图。图4至图6以及图8至图10示意性地示出了根据本发明实施例的不等长软硬结合板层压制作方法。需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
具体实施例方式为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。在根据本发明实施例的不等长软硬结合板层压制作方法中，将不同层软板设计成弯折区有长度梯度的结构。如图3所示，在从软硬结合板的一个结合端至另一结合端的方向上，软板单片长度依次递增。具体地说，在图3的示例中，从软硬结合板的一侧向另一侧，在软板区的弯折区内，软板单片C、软板单片B和软板单片A的单片长度依次递增。每张软板单片均包括外露软板区(图4、图5和图6的虚线之间的区域Al、BI和Cl)、硬板区2、以及硬板区2上的铆钉孔21和对位标靶点22。在本发明实施例的不等长软硬结合板层压制作方法中，首先，在例如进行CAM(computerAided Manufacturing,计算机辅助制造)设计时,需要将除最短软板单片C之外的所有软板单片沿与长度方向垂直的方向裁开，并按长度方向(图5和图6所示箭头方向)，将其余软板单片A、B的铆钉孔拉至与最短软板单片C相同位置铆合。其中，此处的“长度方向”指的是“从软硬结合板的一个结合端至另一结合端的方向”。具体地说，如图4所示，无需裁开最短软板单片C。如图5所示，软板单片B的外露软板区BI下方的硬板区被沿与长度方向垂直的方向裁开，并且拉开裁开之后的软板单片B使软板单片B上的铆钉孔21与最短软板单片C的铆钉孔21位置铆合。类似地，如图6所示，软板单片A的外露软板区Al下方的硬板区被沿与长度方向垂直的方向裁开，并且拉开裁开之后的软板单片A，使软板单片A上的铆钉孔21与最短软板单片C的铆钉孔21位置铆合。 此处的表述“铆钉孔位置铆合”指的是，当两个软板单片层叠在一起时，上下两层的单片的铆钉孔位置相对应。在对软板单片进行叠板时，根据铆钉孔的位置铆合固定。为防止外露软板区高出部分蓬松，对外露软板区中间位置(例如，软板单片B的外露软板区BI下方的硬板区位置以及软板单片A的外露软板区Al下方的硬板区位置)相应的硬板单片3和压合辅料(未示出)(辅料指压合时要用到的一些缓冲材料如硅胶片、缓冲垫等)开窗。这样，在压合时将硬板单片3的开窗外围部分(“开窗外围部分”指的是将开窗区域之外的软板区图形)挤压固定住，防止该软板区图形由于不受限制随意移动，以减少软板区开窗外围部分的凸起高度。图7示意性地示出了根据现有技术的软硬结合板80不等长设计的分解图。其中示出了两个软板单片B、C的情况。图8示意性地示出了根据本发明实施例的软硬结合板8不等长设计的分解图。实际上，图8所示的结构是在图7的结构上的硬板单片3 (上下两个硬板单片3将软板单片B、C夹在中间)进行开窗23。此后，在层压叠板时利用辅助衬板(图10所示的衬板6)。在叠板时，上部布置一块较厚的衬板6 (厚度要超出中间凸起的高度)，衬板6下布置缓冲材料7，缓冲材料7下布置软硬结合板8，而软硬结合板8下方布置缓冲材料9。由此，可通过衬板6将软硬结合板8垫平。缓冲材料9上叠板各层(衬板6、缓冲材料7、软硬结合板8)中间铣出一个框(露出外露软板区)。经过上述处理后，软板区图形基本处于悬空不受压状态，这样软板区图形就不会变形折伤。最后进行层压，层压按照需要的半固化片压制参数进行，温度200-210°C，压力400-550Psi，升温速率 I. 5-2. 5°C /min。在本发明实施例的不等长软硬结合板层压制作方法中，在设计软板区时根据长度做调整，最短软板单片不裁开，其余软板单片裁开，铆钉孔沿四周布设，靠铆钉对位铆住，从而确保对位精度；并且在软板单片裁开的位置相应的硬板单片、压合辅料开窗，层压叠板时用衬板辅助将软硬结合板垫平层压处理，相应的缓冲材料也进行了开窗设计，由此使中间软板区凸起部分不受压，从而保证了软板区图形不变形折伤。由此，根据本发明实施例的不等长软硬结合板层压制作方法提供了一种层压制作方法，可以实现软板区不等长设计的软硬结合板层压，使得软板区不变形折伤，并且使层间对位精度满足要求(对位度+/-0. Imm以内)。可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对 以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
权利要求
1.一种不等长软硬结合板层压制作方法，其特征在于包括 将除最短软板单片之外的所有软板单片沿与长度方向垂直的方向裁开，并按长度方向，将其余软板单片的铆钉孔拉至与最短软板单片相同位置铆合； 对外露软板区中间位置相应的硬板单片和压合辅料开窗； 在压合时将硬板单片的开窗外围部分挤压固定住； 准备衬板及缓冲材料，叠板时在缓冲材料上加衬板辅助，，在缓冲材料下布置软硬结合板，在软硬结合板下方布置缓冲材料； 在衬板、缓冲材料和软硬结合板中间铣出一个框以露出外露软板区进行层压。
2.根据权利要求I所述的不等长软硬结合板层压制作方法，其特征在于，进行层压时的温度为200-21 (TC。
3.根据权利要求I或2所述的不等长软硬结合板层压制作方法，其特征在于，进行层压时的压力为400_550Psi。
4.根据权利要求I或2所述的不等长软硬结合板层压制作方法，其特征在于，进行层压时的升温速率为I. 5-2. 50C /min。
5.根据权利要求I或2所述的不等长软硬结合板层压制作方法，其特征在于，压合辅料包括硅胶片和/或缓冲垫。
全文摘要
本发明提供了一种不等长软硬结合板层压制作方法，包括将除最短软板单片之外的所有软板单片沿与长度方向垂直的方向裁开，并按长度方向，将其余软板单片的铆钉孔拉至与最短软板单片相同位置铆合；对外露软板区中间位置相应的硬板单片和压合辅料开窗；在压合时将硬板单片的开窗外围部分挤压固定住；准备衬板及缓冲材料，叠板时在缓冲材料上加衬板辅助，在缓冲材料下布置软硬结合板，在软硬结合板下方布置缓冲材料；在衬板、缓冲材料和软硬结合板中间铣出一个框以露出外露软板区；进行层压。根据本发明提供了不等长软硬结合板层压制作方法，可以实现软板区不等长设计的软硬结合板层压，使得软板区不变形折伤，并且使层间对位精度满足要求。
文档编号B32B37/10GK102873964SQ2012103964
公开日2013年1月16日 申请日期2012年10月17日 优先权日2012年10月17日
发明者吴小龙, 穆敦发, 吴梅珠, 徐杰栋, 刘秋华, 胡广群, 梁少文, 陈文录 申请人:无锡江南计算技术研究所