专利名称：液体喷出装置及方法、显示装置用面板的制造装置及制造方法
技术领域：
本发明涉及用液体喷出头(例如，喷墨式头)形成或描绘规定的图形的技术。
背景技术：
一般说来，液晶显示装置被安装在个人计算机、字处理机、弹子球游戏机、汽车导航系统、小型电视机等中，近年来需要量增大。可是，液晶显示装置价格高，日益强烈地要求液晶显示装置降低成本。特别是液晶显示装置的构成零件中，滤色片的成本比率大，对滤色片的成本降低要求很高。
液晶显示装置中使用的滤色片是将被着色成红(R)、绿(G)、蓝(B)等的滤色元件排列在透明基板上构成的，为了提高液晶显示装置的显示对比度，再在这些各滤色元件的周围设置遮光的黑矩阵(BM)。关于BM，使用Cr金属薄膜，近年来也有使用黑色树脂的树脂BM。
为了改善平滑性等，在包括滤色单元的着色层上形成由丙烯系列树脂或环氧系列树脂构成的厚度为0.5～2微米的外涂层(保护层)，再在它上面形成透明电极(ITO)膜。
作为使滤色片的滤色单元着色的方法，迄今已知有各种方法，其中有染色法、颜料分散法、电沉积法、印刷法等。
所谓染色法，是将作为染色用的材料的水溶性高分子材料涂敷在玻璃基板上，用光刻法刻蚀成规定的图形后，将其浸渍在染色液中进行着色，反复进行R·G·B各色的着色工序，获得滤色片的一种方法。
所谓颜料分散法，是利用旋转涂敷机等，在透明基板上形成将颜料分散在感光性树脂材料中的层，对R·G·B各色分别各进行一次对其构图的工序，合计反复三次，获得R·G·B滤色片的一种方法。
所谓电沉积法，是在透明基板上对透明电极构图，浸渍在颜料、树脂、电解液等的电沉积涂敷液中进行着色，反复进行R·G·B各色的着色工序，获得滤色片的一种方法。
所谓印刷法，是通过用分散了颜料类色料的热硬化型树脂进行胶版(offset)印刷而着色，反复进行R·G·B各色的着色工序，获得滤色片的一种方法。
上述的滤色片制造方法的共同点是为了进行R·G·B三色的着色，需要反复进行同一工序，浪费成本。另外存在工序数多、产品合格率低的问题。
为了补偿这些缺点，在特开昭59-75205号公报、特开昭63-235901号公报或特开平1-217320号公报等中公开了一种采用喷墨方式的滤色片的制造方法。喷墨方式是用喷墨法将含有R·G·B色料的着色材料喷射到透明基板上，进行着色干燥固定，形成滤色单元的一种方法。由于能同时形成滤色片所必要的R·G·B三色，所以能获得制造工序简单、成本低的效果。另外，与染色法、颜料分散法、电沉积法、印刷法等相比，由于工序数少，所以能实现产品合格率的提高。
可是，在一般的液晶显示装置等中使用的滤色片中，将各像素隔开用的黑矩阵开口部(即像素)的形状呈长方形，与此不同，由于从喷墨头喷出的墨滴的形状大致呈圆形，所以一次喷出一个像素中必要的墨量，且在黑矩阵的全部开口部中使墨均匀地扩散是困难的。因此，使喷墨头相对于基板一边进行主扫描，一边对基板上的一个像素喷出多个墨滴，进行着色。
另外，各像素中填充的墨量的离散越小，越能降低不均匀性，能制造高品位的滤色片。
可是，从喷墨头喷出的墨量，由于构成头的喷嘴或与喷出有关的结构、驱动机构、驱动特性的离散的不同，即使在同一喷出驱动条件下进行喷出驱动，有时各喷嘴之间的喷出量也不同。在此情况下，即使对各像素喷出相同数量的墨，由于所使用的喷嘴不同，各像素的墨填充量离散，该墨填充量的离散造成像素间的不均匀，成为滤色片的品位及合格率下降的原因。
为了解决该浓度不均匀的问题，迄今采取以下两种方法(位修正、色调(shading)修正)。另外，这里说明利用热能喷出墨的喷墨头的情况。
首先，如特开平9-281324号公报中所述，说明图11至图13所示的有多个喷墨嘴的喷墨头IJH的各喷嘴间的喷墨量的差的修正方法(以下称为位修正)。
首先，如图11所示，从喷墨头IJH的例如三个喷嘴即喷嘴1、喷嘴2、喷嘴3将墨喷射到规定的基板上，测定从各个喷嘴喷出的墨在基板P上形成的墨点的大小，测定各喷嘴的墨喷出量。这时，使加在各喷嘴的加热器上的热脉冲呈一定幅度，改变预热脉冲的幅度。因此，获得了图12所示的表示预热脉冲宽度和墨喷出量的关系的曲线。这里，例如假设将各喷嘴的墨喷出量全部统一为20ng，则从图12所示的曲线可知，加在喷嘴1上的预热脉冲宽度为1.0μs，喷嘴2上为0.5μs，喷嘴3上为0.75μs。因此，在各喷嘴的加热器中，通过将这些各幅度大小的预热脉冲相加，如图13所示，能使各喷嘴的墨喷出量全部与20ng一致。这样，将修正各喷嘴的墨喷出量称为位修正。
其次，图14及图15是表示通过调整喷墨嘴的墨喷出密度，来修正喷墨头沿扫描方向的浓度的不均匀的方法(以下称色调修正)的图。例如如图14所示，将喷墨头的喷嘴3的墨喷出量作为基准时，假设喷嘴1的墨喷出量为-10％、喷嘴2的墨喷出量为+20％。这时，如图15所示，一边使喷墨头IJH进行扫描，一边在基准时钟的9次内每一次将热脉冲加在喷嘴1的加热器上，在基准时钟的12次内每一次将热脉冲加在喷嘴2的加热器上，在基准时钟的10次内每一次将热脉冲加在喷嘴3的加热器上。通过这样做，如图14所示，使各喷嘴沿扫描方向的墨喷出数变化，能使滤色片的像素内沿扫描方向的墨密度一定，能防止各像素的浓度不均匀。这样，将修正扫描方向的墨喷出密度称为色调修正。
作为降低浓度不均匀的方法，虽然已知有上述的两种方法，但迄今，例如在特开平8-179110号公报中记载的各色被着色成条状的滤色片中，采用上述的两种方法中的后一种色调修正法，将像素列作为一个单元，调整喷出间距，调整了对一个像素列的喷出量。另外，在该条状的滤色片中，在各色像素列之间设有混色防止壁，以便对一个像素列喷出的规定颜色的墨不会流到不同色的相邻的像素列中。
可是，在上述的各色像素列之间设置混色防止壁，在不是被着色成条状的滤色片中，在像素之间不设置混色防止壁，像素之间的隔壁只是BM(黑矩阵)的滤色片中，如果将一个像素列作为一个单元，将墨喷成线状，则在有疏水性的BM上喷出的墨会流入相邻的像素区域中，所以管理像素内的喷出量非常困难。
就是说，在调整上述色调修正的喷出间隔的方法中，将像素内的墨供给量控制为规定量是困难的。
另外由于滤色片像素的高精细化，像素面积有缩小的倾向，像素内的墨填充量的控制越来越难。
因此，在上述的两个浓度不均匀降低方法中，由使前者的喷出量均匀化的方法(位修正)带来的滤色片的不均匀品位提高的新的对应成为重要的课题。
即，在不将一个像素列作为一个单元，而将一个像素作为一个单元，进行墨填充量的调整的形态中，采用上述位修正进行各像素内的墨填充量的均匀化可以认为是有效的，所以盼望能用极简单的结构实现利用该位修正进行的墨填充量的均匀化的形态。
作为这样制造高品位的滤色片用的第一个课题，能举出利用位修正进行的规定区域(像素)内的液体填充量的均匀化。
可是，一个喷嘴的墨喷出量受是否从相邻喷嘴在同一时刻进行墨喷出的影响，相邻喷嘴在同一时刻进行喷出的情况下和不进行喷出的情况下，喷出量不同。另外，在本说明书中，将该现象称为相邻喷嘴串扰。为了使墨喷出量均匀化，消除像素间的不均匀，最好考虑由该相邻喷嘴串扰引起的喷出量变化。
图35中示出作为本发明的动机的、相邻喷嘴串扰的测定结果例。
在图35中，示出了对喷墨头的多个喷嘴(这里为80ch)进行使喷出时刻超前或延迟、或者从喷嘴喷出墨过不喷出墨的控制，通过这些控制，喷出量怎样变化的情况。特别示出了由上述的相邻喷嘴串扰而产生的喷出量变化的影响。详细地说，在图35中，全部喷嘴(80ch)中，着眼于第N个喷嘴(ch12)的喷出量，进行该着眼喷嘴的喷出量测定。该喷出量测定时，在全部测定过程中，保持驱动着眼喷嘴(ch12)的电压、电流、脉冲波形一定。这样对着眼喷嘴(ch12)的喷出、使周边喷嘴的喷出时刻变化的情况示于图35。
在图35中，a是从全部喷嘴(80ch)同时喷出墨时的ch12的喷出量，将它作为100，用右侧的线图表示。
b是从全部喷嘴(80ch)中选择的半数喷嘴(40ch)喷出墨时的ch12的喷出量。在该喷嘴选择中，从作为ch12的相邻喷嘴的ch11、ch13同时进行墨喷出。在此情况下，比a的喷出量少1％。
c是80ch中，从进行了与b不同选择的40ch喷出墨时的ch12喷嘴的喷出量。在该喷嘴选择中，从作为与ch12相邻喷嘴的ch11和ch13不进行墨喷出。在此情况下，比a的喷出量少5％。
d是80ch中，错开进行了与c相同选择的40ch的喷出时刻喷出墨时的ch12喷嘴的喷出量。在该喷嘴选择中，从作为与ch12相邻喷嘴的ch11和ch13不进行墨喷出。另外，这里着眼喷嘴(ch12)以外的剩余喷嘴(39ch)比着眼喷嘴(ch12)延迟10μsec进行墨喷出。在此情况下，比a的喷出量少7％，另外，比c的喷出量少2％e是80ch中，只从ch12单独喷出墨时的喷出量。在该喷嘴选择中，比a的喷出量少12％。反之，在a的80ch同时喷出的情况下，与e的ch单独喷出相比，多12％的喷出量。
f是80ch中，从进行了与d不同选择的40ch喷出墨时的ch12喷嘴的喷出量。在该喷嘴选择中，从作为与ch12相邻喷嘴的ch11和ch13进行墨喷出。这里，着眼喷嘴(ch12)以外的剩余喷嘴(39ch)比着眼喷嘴(ch12)延迟10μsec进行墨喷出。在此情况下，比e的喷出量还少7％。
g是从全部喷嘴(80ch)进行墨喷出，着眼喷嘴(ch12)以外的全部喷嘴(剩余的79ch)也比着眼喷嘴(ch12)延迟10μsec进行墨喷出。在此情况下，比e的喷出量还少9％，从墨液室114至各个液路110的墨的压力波的传播产生的喷嘴之间的串扰，能说明以上现象的发生机理。即，与着眼喷嘴进行的单独喷出e的情况相比，在80ch同时喷出a的情况中，着眼喷嘴(ch12)以外的喷嘴(全部79ch)喷出的压力波助长着眼喷嘴(ch12)的喷出，所以a增加喷出。
b和c由于是40ch同时喷出，所以80ch同时喷出几乎不增加喷出量。另外，b与c相比，由于前者从相邻喷嘴进行墨喷出，所以增加其不同部分的喷出量。即，是否从相邻喷嘴同时进行墨喷出，对着眼喷嘴(ch12)的喷出影响最大。
其次，如果比较a和e和g，则可知如果改变着眼喷嘴(ch12)以外的喷嘴的喷出时刻，就能改变着眼喷嘴(ch12)的喷出量。与e相比，如a所示，如果使其他喷嘴与着眼喷嘴同时喷出，则能增加着眼喷嘴的喷出量，但与e相比，如g所示，如果使其他喷嘴相对于ch12延迟少许时刻进行喷出，则相反地会减少着眼喷嘴的喷出量。这与其他喷嘴产生的压力波的干扰相位相反，其作用是抵消着眼喷嘴的喷出压力。
同样，即使比较b和e和f，也能得知改变了着眼喷嘴以外的其他喷嘴的喷出时刻时，能改变着眼喷嘴的喷出量。
另外，比较了b和e和f的情况，与比较了a和e和g的情况相比，可以说相对于剩余喷嘴的喷出时刻的不同，着眼喷嘴(ch12)的喷出量变化小，只相当于着眼喷嘴(ch12)以外的剩余喷嘴个数少的部分。
另外，相对于剩余喷嘴的喷出时刻的不同，着眼喷嘴(ch12)的喷出量的变化受着眼喷嘴的相邻喷嘴的影响最大，但如果比较c和d，则3个喷嘴或更多的分离的喷嘴产生的影响小。
如上所述，着眼喷嘴以外的其他喷嘴的喷出喷出的有无和喷出时刻对着眼喷嘴的墨喷出量产生影响，但迄今并未考虑该影响。就是说，如果发生使用喷嘴数的变更、或使用喷嘴的组合的变更、或每个喷嘴的喷出时刻的变更，则每个喷嘴的喷出量就变化，有时由于该喷出量变化而在像素之间发生浓度不均匀，所以制造高品位的滤色片时最好考虑上述相邻喷嘴的串扰引起的喷出量变化。
此外，即使在图形形成前或图形描绘前，通过位修正而使各喷嘴的喷出量均匀，有时也会发生上述相邻喷嘴的串扰引起的喷出量变化，所以希望考虑这一点。
这样，作为制造更高品位的滤色片用的第二课题，能举出考虑了相邻喷嘴的串扰产生的喷出量变化以外，在规定区域(像素)内液体填充量的均匀化。
另外，至此，虽然以滤色片为例说明了制造对象物，但不只在滤色片的制造中产生上述第一及第二课题，在需要将基板上的规定区域的液体供给量控制成规定量的情况下，同样产生这样的课题。例如，在用喷液头(喷墨式头)将规定量的EL(电致发光)材料液供给基板上的规定区域，制造EL显示元件的情况下，也产生同样的课题。另外，在用喷液头(喷墨式头)将规定量的导电性薄膜材料液(含有金属元素的液体)供给基板上的规定区域，制造在基板上形成导电性薄膜的电子释放元件或包括多个该元件的显示面板的情况下，也产生同样的课题。
发明内容
因此，本发明就是鉴于上述课题而完成的，其目的在于能用简单的结构，使喷液头(例如，喷墨式头)的各喷嘴的液体喷出量均匀。
另外，本发明的另一个目的在于能用简单的结构，独立地改变各喷嘴的液体喷出量。
另外，本发明的再一个目的在于能简单地将基板上的规定区域(像素)的液体供给量控制成规定量，使规定区域(像素)的液体供给量均匀。而且，因此每个规定区域(像素)的液体填充量均匀，制造满足了各像素所要求的特性的高品位的滤色片和EL显示元件等的显示装置用面板、或电子释放元件及包括该电子释放元件的显示面板。
为了解决上述课题，达到上述目的，本发明的第一方面是一种液体喷出装置，用具有喷出液体用的多个喷嘴的喷液头，将上述液体喷射到媒体上，该液体喷出装置的特征在于具有能分别对上述多个喷嘴个别地变更上述喷液头的多个喷嘴各自的液体喷出量的喷出量可变部件，上述喷出量可变部件包括能变更分别供给上述多个喷嘴的驱动脉冲的驱动电压值的电压控制部件。
另外，本发明的第二方面是一种液体喷出方法，用具有喷出液体用的多个喷嘴的喷液头，将上述液体喷射到媒体上，该液体喷出方法的特征在于具有使用具有只与喷出量可变部件连接的喷嘴的喷液头，从该喷液头喷出液体的工序，上述喷出量可变部件通过变更供给上述喷嘴的驱动脉冲的驱动电压值，能变更上述喷嘴的液体喷出量。
另外，本发明的第三方面是一种显示装置用面板的制造装置，用具有喷出液体用的多个喷嘴的喷液头，将液体从该喷液头喷射到基板上，制造显示装置用面板，该显示装置用面板的制造装置的特征在于具有能分别对上述多个喷嘴个别地变更上述喷液头的多个喷嘴各自的液体喷出量的喷出量可变部件，上述喷出量可变部件包括能变更分别供给上述多个喷嘴的驱动脉冲的驱动电压值的电压控制部件。
另外，本发明的第四方面是一种显示装置用面板的制造方法，用具有喷出液体用的多个喷嘴的喷液头，将液体从该喷液头喷射到基板上，制造显示装置用面板，该显示装置用面板的制造方法的特征在于使用具有只与能变更供给喷嘴的驱动脉冲的驱动电压值的喷出量可变部件连接的喷嘴的喷液头，从该喷液头喷出液体，制造显示装置用面板。
另外，本发明的第五方面是一种液体喷出装置，备有具有包含能变更液体喷出量的喷嘴的多个喷嘴的喷液头，该液体喷出装置的特征在于具有伴随与能变更液体喷出量的规定喷嘴相邻的相邻喷嘴的喷出条件的变更，对包括供给上述规定喷嘴的驱动脉冲的电压值及脉冲宽度中的至少一个条件的喷出量控制值进行变更的喷出量控制部件。
另外，本发明的第六方面是一种液体喷出方法，用具有包括能变更液体喷出量的喷嘴的多个喷嘴的喷液头，将液体喷射到媒体上，该液体喷出方法的特征在于具有伴随使用的喷嘴的组合、使用的喷嘴的个数、不良喷嘴的有无、喷嘴和基板的相对移动方向、以及喷嘴和基板的相对移动速度中的至少一个条件的变更，对包括供给上述规定喷嘴的驱动脉冲的电压值及脉冲宽度中的至少一个条件的喷出量控制值进行变更的喷出量控制工序。
另外，本发明的第七方面是一种显示装置用面板的制造方法，用具有包括能变更液体喷出量的喷嘴的多个喷嘴的喷液头，将液体从该喷液头喷射到基板上，制造显示装置用面板，该显示装置用面板的制造方法的特征在于具有伴随使用的喷嘴的组合、使用的喷嘴的个数、不良喷嘴的有无、喷嘴和基板的相对移动方向、以及喷嘴和基板的相对移动速度等至少一个条件的变更，对包括供给上述规定喷嘴的驱动脉冲的电压值及脉冲宽度中的至少一个条件的喷出量控制值进行变更的喷出量控制工序。
如果采用以上结构，则由于将喷出量可变部件分别连接在多个喷嘴上，能独立地变更各喷嘴的喷出量，所以能简单地使各喷嘴之间的喷出量均匀化，因此能将规定区域(例如，像素)内的液体填充量控制得均匀。
另外，由于考虑到相邻喷嘴的喷出/不喷出的状态和使用的喷嘴个数，控制供给各喷嘴的驱动电压值和脉冲宽度等驱动条件，所以能使各喷嘴的喷出量高精度地与所希望的量一致。
另外，由于能简单地将基板上的规定区域(例如，像素)的液体供给量控制成规定量，所以能使规定区域(例如，像素)的液体供给量均匀化，能制造高品位的滤色片和EL显示元件等的显示装置用面板、电子释放元件和包括该电子释放元件的显示面板。
另外，在本发明中，作为喷液头虽然使用喷墨方式的头，但根据制造对象物的不同，有时喷出墨以外的液体。例如，如果制造对象物是滤色片，则喷出墨，但如果制造对象物是EL元件，则喷出EL材料液，如果制造对象物是电子释放元件，则喷出导电性薄膜材料液。这样，本说明书中定义的喷液头包括喷出墨以外的液体的头，但作为喷出形式采用喷墨方式，所以在本说明书中，即使喷出的液体不是墨，也将该喷液头称为喷墨头。
通过下面的结合附图的描述，本发明的其它特征和优点将显而易见。附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的部件。
图1是表示滤色片的制造装置的一实施例的结构的概略图。
图2表示控制滤色片的制造装置的工作的控制部的结构图。
图3是表示滤色片的制造装置中使用的喷墨头的结构图。
图4是表示加在喷墨头的加热器上的电压波形的图。
图5A～F是表示滤色片的制造工序的图。
图6是表示安装了实施例的滤色片的彩色液晶显示装置的基本结构的剖面图。
图7是表示安装了实施例的滤色片的液晶显示装置的基本结构的另一例的剖面图。
图8是表示液晶显示装置使用的信息处理装置的图。
图9是表示液晶显示装置使用的信息处理装置的图。
图10是表示液晶显示装置使用的信息处理装置的图。
图11是说明减轻滤色片的各像素的浓度不均匀的现有的方法的说明图。
图12是说明减轻滤色片的各像素的浓度不均匀的现有的方法的说明图。
图13是说明减轻滤色片的各像素的浓度不均匀的现有的方法的说明图。
图14是说明减轻滤色片的各像素的浓度不均匀的现有的另一方法的说明图。
图15是说明减轻滤色片的各像素的浓度不均匀的现有的另一方法的说明图。
图16是表示滤色片的像素排列的结构图。
图17说明第一实施例的滤色片描绘方法的一例。
图18是说明喷出控制电路结构的图。
图19是说明驱动信号的电压可变时概略的图。
图20A、B是说明喷出量修正前后的喷出状态的图。
图21是说明喷出量修正顺序的图。
图22是表示喷出量和驱动信号电压的关系的图。
图23是表示进行了喷嘴之间的喷出量修正前后的状态的图。
图24是表示滤色片描绘时未修正时的头喷出状态的喷出量的状态的图。
图25是说明滤色片描绘时对头使用的喷嘴修正时的喷出量的状态的图。
图26是表示由一个玻璃基板制造像素的大小不同的多个滤色片的状态的图。
图27是表示由一个玻璃基板制造像素的大小不同的多个滤色片的状态的图。
图28是表示由一个玻璃基板制造像素的大小不同的多个滤色片的状态的图。
图29是表示描绘装置的控制方法的实施例的流程图。
图30是表示描绘装置的控制方法的另一实施例的流程图。
图31是表示描绘装置的控制方法的又一实施例的流程图。
图32是表示描绘装置的控制方法的又一实施例的流程图。
图33是表示描绘装置的控制方法的又一实施例的流程图。
图34是表示描绘装置的控制方法的又一实施例的流程图。
图35是表示喷墨头的相邻喷嘴串扰量的测定例的图。
图36是说明喷出量修正顺序的图。
图37是表示EL元件的结构之一例图。
图38A～D是表示EL元件的制造工序之一例图。
图39A、B是表示表面传导型电子释放元件的结构例图。
图40A～D是表示制造表面传导型电子释放元件的工序之一例图。
图41是表示包括制造表面传导型电子释放元件用的液体喷出装置的制造装置的外观图。
图42是表示包括多个电子释放元件的显示面板之一例图。
具体实施例方式
以下，参照附图详细说明本发明的优选实施例。另外，在以下的实施例中，虽然说明滤色片或EL元件等的显示装置用面板、电子释放元件或包括该元件的面板制造时的喷出量修正方法，但本发明不限定于它们的制造时的喷出量修正。在要求用简单的结构高精度地使各喷嘴的液体喷出量均匀化的情况下，也能应用本发明，例如，在将墨喷射到普通纸或OHP纸等媒体上打印图像的民用打印机中的喷出量修正中也适用本发明。
另外，本发明中定义的所谓显示装置用面板，是一种包括备有例如利用有着色部的滤色片或自行发光的材料形成的发光部的EL元件、包含多个有导电性薄膜部的电子释放元件的显示面板等的显示装置中使用的面板。
另外，本发明中定义的所谓滤色片，是备有着色部和基体的滤色片，是能获得改变了输入光的特性的输出光的滤色片。作为具体例，能举出在液晶显示装置中通过使背照光透过，从背照光获得R、G、B或C、M、Y三原色的光的滤色片。另外，这里所说的基体，是包括玻璃或塑料等制的基板、另外还包括板状以外的形状的基体。
(第一实施例)图1是表示滤色片的制造装置的实施例的结构的概略图。
在图1中，51表示装置工作台，52表示配置在工作台51上的XYθ载物台，53表示放置在XYθ载物台52上的滤色基板，54表示在滤色基板53上形成的滤色片，55表示进行滤色片54的着色的R(红)、G(绿)、B(蓝)喷墨头，58表示控制滤色片的制造装置90的总体工作的控制器，59表示作为控制器的显示部的示教操纵台(teaching pendant)(个人计算机)，60表示作为示教操纵台59的操作部的键盘。
图2是滤色片制造装置90的控制器的结构图。59是作为控制器58的输入输出部件的示教操纵台，62是显示制造的进行状况及头的异常的有无等信息的显示部，60是指示滤色片制造装置90的工作等的操作部(键盘)。
58表示控制滤色片制造装置90的总体工作的控制器，65表示与示教操纵台进行数据的收发的接口，66表示进行滤色片制造装置90的控制的CPU，67表示存储使CPU66工作用的控制程序的ROM，68表示存储生产信息等的RAM，70表示控制对滤色片的各像素内的墨的喷出的喷出控制部，71表示控制滤色片制造装置90的XYθ载物台的动作的载物台控制部，90表示连接在控制器58上、根据其指示进行工作的滤色片制造装置。
图3是表示喷墨头IJH的一般结构的图。
在图1所示的装置中，喷墨头55对应于R、G、B三色设置三个，但由于这三个头的结构分别相同，所以图3中代表性地示出了这三个头中的一个的结构。
在图3中喷墨头IJH由加热墨用的多个加热器形成的基板即加热板104、以及覆盖在该加热板104上的天花板106简略地构成。在天花板106上形成多个喷出口108，在喷出口108的后方形成连通该喷出口108的隧道状的液路110。各液路110利用隔壁112与相邻的液路隔绝。各液路110在其后方共同连接在一个墨液室114上，墨通过墨供给口116被供给墨液室114，该墨从墨液室114被供给各个液路110。
加热板104和天花板106配置成，各加热器102位于对应于各液路110的位置上，被安装成图3所示的状态。在图3中虽然只示出了两个加热器102，但加热器102与各个液路110一一对应地配置。在图3所示组装的状态下，如果将规定的驱动脉冲供给加热器102，则加热器102上的墨沸腾，形成气泡。由于该气泡的体积膨胀，所以墨被从喷出口108挤出而喷出墨。因此控制加在加热器102上的驱动脉冲，调节气泡的大小，能控制从喷出口喷出的墨的体积。作为控制参数，有供给加热器的功率等。
图4是说明使这样加在加热器上的功率变化，控制墨的喷出量的方法用的图。
在该实施例中，为了调整墨的喷出量，将两种低压脉冲加在加热器102上。所谓两种脉冲，如图4所示，是预热脉冲和主热脉冲(以下，简称热脉冲)。预热脉冲是实际上喷出墨之前将墨加热到规定的温度用的脉冲，被设定为比喷出墨所必要的最低脉冲宽度t5短的值。因此，利用该预热脉冲不能喷出墨。之所以将预热脉冲加在加热器102上，是为了通过使墨的初始温度上升到一定的温度，然后在施加一定的热脉冲时使墨的喷出量经常保持一定。另外，相反地通过调节预热脉冲的波长，来预先调节墨的温度，即使在施加了同一热脉冲的情况下，也能使墨的喷出量不同。另外，通过在施加热脉冲之前使墨升温，具有在施加热脉冲时能使喷出墨所需的时间上升得快、响应性好的作用。
另一方面，热脉冲是实际上喷出墨用的脉冲，设定得比喷出上述墨所需要的最低的脉冲宽度t5长。加热器102产生的能量与热脉冲的宽度(加热时间)成正比，所以通过调节该热脉冲的宽度，能调节加热器102的特性的离散。
另外，调节预热脉冲和热脉冲的间隔，来控制预热脉冲产生的热扩散状态，也能调节墨的喷出量。
从以上的说明可知，通过调节预热脉冲和热脉冲的施加时间，也能调节墨的喷出量，另外通过调节预热脉冲和热脉冲的施加间隔，也能调节墨的喷出量。因此，根据需要，通过调节预热脉冲和热脉冲的施加时间或预热脉冲和热脉冲的施加间隔，能自如地调节墨的喷出量或墨的喷出对施加脉冲的响应性。特别是在使滤色片着色的情况下，意味着抑制色不均匀的发生，最好使各滤色元素之间或一个滤色元素内的着色浓度(色浓度)大致均匀，为此，有时将各喷嘴的墨喷出量控制得相同。如果每个喷嘴的墨喷出量相同，则进入各滤色元素中的墨量相同，所以能使滤色元素之间的着色浓度大致相同。另外，还能降低一个滤色元素内的不均匀。因此，欲将每个喷嘴的墨喷出量调节得相同时，进行上述的墨喷出量的控制即可。
其次，图5A～F是表示滤色片的制造工序的图。参照图5A～F说明滤色片54的制造工序。
图5A表示备有构成光透射部9和遮光部10的黑矩阵2的玻璃基板1。首先，在形成了黑矩阵2的基板1上涂敷树脂组成物，该树脂组成物本身富有墨相容性，但在某一条件下(例如光照、或光照和加热时)墨的相容性下降，同时在某一条件下具有硬化的特性，根据需要，进行预烘，形成树脂组成物3(图5B)。形成树脂组成物3时，能采用旋转涂敷、辊涂、条(bar)涂、喷涂、浸涂等涂敷方法，不特别限定。
其次，使用光掩模4，预先对光透射部9上的树脂层进行构图曝光，使树脂层降低一部分墨相容性(图5C)，在树脂组成物层3上形成墨相容性部分6和墨相容性低的部分5(图5D)。另外，喷墨头在基板上一边相对地进行多次扫描，一边喷出墨时，将喷墨头固定，使基板移动，进行相对的扫描的情况，以及将基板固定，使喷墨头移动，进行相对的扫描的情况都是可能的。
然后采用喷墨方式，将R(红)、G(绿)、B(蓝)各色墨喷射到树脂组成物层3上，一次进行着色(图5E)，根据需要，进行墨的干燥。作为喷墨方式，能举出利用热能的方式或利用机械能的方式，任何一种方式都能适用。作为所使用的墨，只要是能作为墨使用的都可以，不特别限定，作为墨的着色剂，能从各种染料或颜料中适当地选择适合于R、G、B各像素所要求的透射光谱的材料。另外在从喷墨头喷出的墨附着在树脂组成物层3上的时刻，虽然可以呈滴状，但最好不从喷墨头分离成滴状，而是在柱状的状态下附着。
其次，进行光照或光照和加热处理，使着色了的树脂组成物层3硬化，根据需要，形成保护层8(图5F)。为了使该树脂组成物层3硬化，可以采用与先前的疏墨化处理时的条件不同的条件，例如增大光照中的曝光量、或使加热条件严格、或并用光照和加热处理等方法。
图6及图7是表示装入了上述滤色片的彩色液晶显示装置30的基本结构的平面图。
彩色液晶显示装置一般是通过将滤色基板和相对基板21配合起来，封入液晶化合物18形成的。在液晶显示装置的一个基板21的内侧，呈矩阵状地形成TFT(Thin Film Transistor)(图中未示出)和透明的像素电极20。另外，在另一个基板1的内侧，在与像素电极相对的位置上配置排列着RGB色材料的滤色片54，在其一面上形成透明的相对电极(公用电极)16。通常在玻璃基板1一侧形成黑矩阵2(参照图6)，但在BM(黑矩阵)阵列(on-array)型的液晶面板中，在相对的TFT基板一侧形成黑矩阵2(参照图7)。另外，在两基板的画内形成取向膜19，通过对它进行摩擦处理，能使液晶分子沿一定方向排列。另外，偏振片11、12被粘接在各个玻璃基板的外侧，液晶化合物18被填充在这些玻璃基板的间隙(2～5微米左右)中。另外，作为背照光，一般采用荧光灯(图中未示出)和散射片(图中未示出)的组合，通过使液晶化合物具有作为使背照光的透射率变化的光闸功能进行显示。
参照图8至图10，说明将这样的液晶显示装置用于信息处理装置中的情况的例。
图8是表示将上述的液晶显示装置应用于字处理机、个人计算机、传真装置、有作为复印装置的功能的信息处理装置中的情况的概略结构的框图。
图中，1801是进行装置总体控制的控制部，备有微处理机等CPU和各种I/O端口，通过将控制信号或数据信号等输出给各部，输入来自各部的控制信号或数据信号，进行控制。1802是显示部，在其显示画面上显示各种菜单或文件信息、以及用图像阅读器1807读取的图像数据等。1803是设置在显示部1802上的透明的压敏式的触摸面板，通过用手指等按压其表面，能在显示部1802上进行项目输入或坐标位置输入等。
1804是FM(调频)声源部，将用音乐编辑器等作成的音乐信息作为数字数据存储在存储部1810或外部存储装置1812中，再从这些存储器等中读出，进行FM调制。来自FM声源部1904的电信号由扬声部1805变换成可听音。打印部1806被作为字处理机、个人计算机、传真装置、复印装置的输出终端用。
1807是以光电方式读取并输入原稿数据的图像阅读部，设置在原稿的输送路径中，进行传真原稿或复印原稿以及其他各种原稿的读取。
1808是用图像阅读部1807读取的原稿数据的传真发送、或接收被发送来的传真信号后进行复印的传真(FAX)收发部，有与外部连接的功能。1809是具有通常的电话功能或留言电话功能等各种电话功能的电话部。
1810是包括存储系统程序或管理程序及其他应用程序等或字体及词典等的ROM、以及存储从外部存储装置1812装入的应用程序或文件信息的视频RAM等的存储部。
1811是输入文件信息和各种命令等的键盘部。
1812是将软盘或硬盘等作为存储媒体的外部存储装置，在该外部存储装置1812中存储着文件信息和音乐或声音信息、用户的应用程序等。
图9是图8所示的信息处理装置的概略模式外观图。
图中，1901是利用上述的液晶显示装置的平板显示器，显示各种菜单或图形信息及文件信息。在该存储器1901上，通过用手指等按压触摸面板1803的表面，能进行坐标输入或项目指定输入。1902是装置作为电话机的功能起作用时使用的送受话器。键盘1903通过软线可装卸地与主体连接，能进行各种文件功能和各种数据输入。另外，在该键盘1903上设有各种功能键1904等。1905是至外部存储装置1812的软盘插入口。
1906是放置用图像阅读部1807读取的原稿的纸放置部，被读取的原稿被从装置后部排除。另外，接收传真等时，由喷墨打印机1907进行打印。
在使上述信息处理装置作为个人计算机或字处理机的功能起作用的情况下，由控制部1801按照规定的程序处理从键盘部1811输入的各种信息，作为图像输出给打印部1806。
在作为传真装置的接收机的功能起作用的情况下，由控制部1801按照规定的程序对通过通信线路从FAX收发信部1808输入的传真信息进行输入处理，作为接收图像输出给打印部1806。
另外，在作为复印装置的功能起作用的情况下，由图像阅读部1807读取原稿，被读取的原稿数据通过控制部1801，作为复印图像输出给打印部1806。另外，在作为传真装置的接收机的功能起作用的情况下，由控制部1801按照规定的程序对由图像阅读部1807读取的原稿数据进行发送处理后，通过FAX收发信部1808发送给通信线路。
另外，如图10所示，上述的信息处理装置也可以将喷墨打印机安装在本体内而构成一体型，在此情况下，能进一步提高可携带性。
在该图中，具有与图9相同功能的部分标以对应的标记。
图18是表示本实施例的喷出量控制电路结构的图。在该图18中，全部喷嘴分别连接在头喷嘴驱动电路(包括DA变换器和放大电路的电压变更部件)上，全部喷嘴成为喷出量可变更喷嘴。
在图18中，描绘控制部311将图像串行数据319供给图像数据串行并行变换电路322，将数据锁存信号318供给图像数据锁存输出电路321，将驱动时序信号317供给驱动信号图形发生电路320。另外，该描绘控制部311还将设定控制电压的指令供给头喷嘴驱动电路304。根据来自该描绘控制部311的各种信号，进行喷出量控制。具体地说，首先，选择各喷嘴(ch)的喷出·非喷出的图像串行数据319由图像数据串行并行变换电路322变换成并行数据。然后，利用数据锁存信号318，该变换数据被锁存在图像数据锁存电路321中。根据该锁存数据，选择各喷嘴。然后，来自驱动信号图形发生电路320的驱动时序信号317被供给喷嘴驱动电路304，根据该驱动时序信号，从喷嘴驱动电路304将驱动信号供给上述选择的喷嘴的喷出驱动元件309。
另外，在气泡喷射(bubble-jet，注册商标)方式的头中，喷出驱动元件相当于加热器。另外，在压电方式的头中，相当于喷嘴在墨室中的喷出驱动用侧壁中使用的压电元件。
在上述喷出量控制电路中，通过控制供给喷嘴的驱动信号的电压，进行喷出量控制。在头喷嘴驱动电路304中进行该电压控制，头喷嘴驱动电路304包括电压控制电路313、信号基准电压电路314、输出电压放大电路315及输出充放电电路316。电压控制电路313及信号基准电压电路314从描绘控制部311接收设定控制电压值的指令，设定各喷嘴的描绘控制电压。详细地说，信号基准电压电路314设定驱动电压的中心值，信号电压控制电路313对各喷嘴的驱动电压的中心值设定修正电压。就是说，由该信号电压控制电路313修正驱动电压，变更电压值。
输出电压放大电路315根据修正的电压值，将驱动电压供给输出充放电电路316。
如上，从输出充放电电路316对各喷嘴输出供给修正了的驱动信号，进行喷嘴的喷出量的控制。另外，进行电压控制的头喷嘴驱动电路304，由于是变更驱动信号的电压值用的电路，所以也可以称为变电电路。
图19表示修正了供给各喷嘴(喷嘴1～3)的驱动信号的电压值的情况，图20A、B表示驱动电压被修正前和修正后的描绘状态。图19中任意的喷嘴1(标号324)、喷嘴2(标号325)、喷嘴3(标号326)修正前的状态相当于图20A中的“修正前”，在图20A中，喷嘴2的目标喷出量成为比喷嘴1的目标喷出量少的喷出量、而比喷嘴3的目标喷出量多的喷出量。
因此，作为样供给各喷嘴的驱动信号的电压，对喷嘴1(标号324)供给为了比喷嘴2(标号325)的驱动电压V2高ΔV1而修正的值的驱动电压(V2+ΔV1)，对喷嘴3(标号326)供给为了比喷嘴2(标号325)的驱动电压V2低ΔV2而修正的值的驱动电压(V2-ΔV2)。
如上处理后，表示电压修正了的喷出量状态相当于图20B中的“修正后”。
其次，图21中示出了使各喷嘴的喷出量与目标值一致用的喷出量修正顺序。
每当控制各喷嘴的喷出量时，首先求出表示各喷嘴的喷出量和可变条件(这里，为驱动电压)的关系的可变特性。
该可变特性能按照图21中的(1)～(3)的顺序求得。首先，如(1)所述，使用描绘时能使用的范围内的驱动电压值被变更后获得的多个不同的驱动电压值，喷出墨。就是说，描绘分别对应于不同的驱动电压值的多个墨点。例如，至少对两个点以上的多个点设定喷出量少的电压值和喷出量多的电压值，在描绘时使用的相同脉冲宽度的驱动信号的条件下，在玻璃基板上进行描绘。对全部喷嘴个别地进行该墨点的描绘。
其次，如(2)所述，测定在玻璃基板上描绘的墨点的透射光量，根据该测定结果，求出各墨的喷出量。
其次，如(3)所述，根据喷出量多的点Vd2和少的点Vd1两点之差、以及这时的电压值V2和V1的差，算出使电压可变时的喷出量的变化量(这里称为修正灵敏度)。另外，电压值和与其对应的墨喷出量的关系如图22所示，上述修正灵敏度K相当于图中所示的直线的斜率。这里，对各喷嘴测定了驱动信号电压为18V、20V、24V时的喷出量。
其次，如(4)所述，测量了实际描绘时使用的驱动条件下的全部喷嘴的喷出量，算出全部喷嘴的平均喷出量Vdx。根据各喷嘴的喷出量VdnN和平均喷出量Vdx的差、以及上述的修正灵敏度K，对每个喷嘴算出修正量VdnNY。在图18所示的信号电压控制电路313中设定这样求得的修正量VdnNY。设定后，进行墨喷出，根据其描绘结果，进行图21中的(4)、(5)项的修正处理，直至目标喷出量被修正为止。
其次，图23中示出了图21所示的修正顺序执行前的状态下的消光度离散(喷出量离散)和修正顺序执行后的状态下的消光度离散(喷出量离散)的关系。修正前的喷出量离散数据是表示将全部驱动电压设定为19V时的喷出量离散的数据，离散达到+4％。另一方面，如图21中所述，算出全部喷嘴的平均喷出量，根据该平均喷出量和各喷嘴的喷出量的差、以及上述的修正灵敏度K，算出各喷嘴的修正量，在用该修正量进行了修正的情况下，该修正后的喷出量离散能被抑制在±1％以内。另外，在本实施例的情况下，将信号设定电压作为100mV左右的设定分辨率，能使喷出量改变1％，另外通过减小设定分辨率，能进行0.5％左右的喷出量控制。
以上处理是修正各喷嘴的墨喷出量。下面描述将该喷出量修正灵活地应用于滤色片的描绘时的情况。图16是表示滤色片的像素的排列图形的图，图17是表示进行了喷出量修正后的描绘状态的图。这里，个别地控制各喷嘴的喷出量，使各喷嘴的墨喷出量与目标值一致，使各像素内填充的墨量均匀。详细地说，如图17所示，进行驱动电压的修正，以便各喷嘴的墨喷出量相同，因此，使从各喷嘴喷出的每一滴的喷出量均匀化，使各像素内的墨填充量相等。如果采用该结构，则由于能使像素内的墨填充量相同，所以能制造没有浓度不均匀的高品位的滤色片。
另外，在使用的喷嘴中，在发生了不能喷出墨的不喷出喷嘴的情况下，如图17右侧的两个像素所示，通过增加每一滴墨的喷出量，补充与不喷出喷嘴的发生相伴随的喷出量的减少，将像素内的墨喷出量修正为目标值(本来应喷射到一个像素内的墨量)。详细地说，在图17中，使5个喷嘴与一个像素相对，从这5个喷嘴分别喷出一滴墨，完成对一个像素的墨填充(参照图中左侧的3个像素)。上述的5个喷嘴中，在一个喷嘴成为不喷出喷嘴的情况下，来自4个喷嘴的4滴墨形成一个像素(参照从右侧开始的第二个像素)。设定了与喷出5滴墨的通常的情况没有变化的墨喷出量，当然，像素内的墨填充量减少了。因此，为了用4滴墨也能完成上述目标量，方法是增加每一滴的墨喷出量。该例的情况与对一个像素喷出5滴的通常的情况相比，最好使每一滴墨的喷出量为5/4之倍。同样，在对应于一个像素的5个喷嘴中，两个喷嘴成为不喷出喷嘴，用3滴墨形成一个像素的情况下(参照从右侧开始的第一个像素)，与通常的情况相比，最好使每一滴墨的喷出量为5/3之倍，使像素内的墨喷出量与目标量一致。另外，这样设定各喷嘴的驱动电压，以便即使在发生不喷出喷嘴、增加墨喷出量的情况下，也能使从各喷嘴喷出的每一滴墨的墨量均匀化。
另外，与图17中的滤色片不同，即使是制造像素列沿着相对于头的扫描方向垂直的方向排列的滤色片，也同样能适用。
这里，示出了实际的滤色片描绘时的喷出量修正的效果。
图24表示未修正时的各喷嘴的喷出量离散的状态。这是任意的一个头的喷出量分布的一例。如图所示，在修正前的状态下，各喷嘴之间的喷出量离散大。
另一方面，图25示出了根据上述的喷出量修正方法，对描绘中使用的喷嘴进行了喷出量修正时修正后的喷出量离散的状态。如图所示，对描绘时使用的喷嘴，能将修正后的喷出量离散抑制在±1％以下，在该条件下描绘，能制造不均匀少的、品位高的滤色片。
另外，在以上的实施例中，作为用来使墨喷出量可变的喷出量可变部件，使用能将驱动信号的电压值设定为可变的电压控制部件，对应于各喷嘴设置该电压控制部件，通过改变驱动信号的设定电压，实现了各喷嘴的喷出量的可变，但作为喷出量可变部件不限定于上述的电压控制部件。例如，也可以通过使电压一定而改变驱动信号的脉冲宽度，进行喷出量调整。在该情况下，作为喷出量可变部件，使用能可变地设定驱动信号的脉冲宽度的驱动脉冲控制部件，对应于各喷嘴设置该驱动脉冲控制部件。
另外，还能在对每一个喷嘴独立地将驱动信号的驱动电压和脉冲宽度任意地组合的可变条件下进行喷出量控制。
如上所述，如果采用该第一实施例，则由于将喷出量可变部件(详细地说，能使分别供给多个喷嘴的驱动脉冲的驱动电压值变更的电压控制部件)分别连接在多个喷嘴上，独立地变更各喷嘴的喷出量，所以能简单地使各喷嘴之间的喷出量均匀化，因此能均匀地控制像素内的墨填充量。而且，为了修正色调，不需要进行墨喷出间隔的调整。另外，进行色调修正时，虽然通过墨喷出间隔(墨喷出数)的调整，只修正一个像素内的墨填充量，但有时不能使一个像素内的墨填充量高精度地与目标值一致。可是，在该第一实施例中，由于调整各喷嘴各自的驱动电压和驱动脉冲，能变更每一滴的墨喷出量，所以能高精度地使一个像素内的墨填充量与目标值一致。因此，与采用色调调整制造滤色片的情况相比，能制造各像素之间的墨填充量的离散更小的高品位的滤色片。
(第一实施例的变形例)在该变形例中，说明用一个玻璃基板制造其大小不同的多个滤色片时的喷出量修正方法。
图26是表示用一个玻璃基板制造其大小不同的多个滤色片(有像素A的滤色片、有像素B的滤色片)时的图。
这样在对大小不同的像素喷出墨的情况下，有必要根据像素的大小改变喷嘴的墨喷出量。在图26的情况下，9号喷嘴对像素A和像素B两者进行墨喷出，所以对各个像素喷出墨时，必须改变喷出量。这里，虽然说明了只用9号喷嘴进行两个像素的描绘，实际上9号喷嘴以外的喷嘴也进行两个像素的描绘。另外，如果所制造的滤色片的种类不同，当然，进行多种像素的描绘的喷嘴也不同。为了对应于各种形态，全部喷嘴都能独立地变更喷出量的结构成为必要。另外，在该变形例中，不能个别地控制每个喷嘴的墨喷出量来使全部喷嘴的喷出量均匀化。可是，在对相同大小的像素进行描绘时，将喷出量控制得相同。就是说，这样进行喷出量的控制对像素A用喷出量A进行墨喷出，对像素B用喷出量B进行墨喷出。这样，使对应于相同大小的像素的墨喷出量均匀化，这一点与第一实施例相同。
图27是表示将喷墨头的扫描方向设定为像素的纵向的情况的图。在该情况下，由于5号喷嘴描绘像素A和像素B两者，所以有必要变更每一滴墨的喷出量。另外，在该情况下，不仅墨的喷出量、而且扫描次数也需要变更。即，对像素A进行4次扫描，而对像素B进行2次扫描。
图28表示每个喷嘴的扫描次数、喷出量都必须变更的情况。
如上所述，如果采用该变形例，则由于使喷出量可变部件对应于各喷嘴，能独立地变更各喷嘴的喷出量，所以即使对于比同一喷嘴大的不同的像素进行墨喷出时，也能用对应于像素大小的喷出量来喷出墨，所以不管对哪个像素都能填充目标量的墨。因此，能用简单的方法从一个基板获得像素大小不同的多种滤色片。即，能用简单的方法实现像素大小不同的多种滤色片。
(第二实施例)如上所述，各喷嘴的墨喷出量受相邻喷嘴的喷出/非喷出的状况和使用的喷嘴数的影响。因此，在第二实施例中，特征在于考虑它们的影响，控制供给各喷嘴的驱动电压值和脉冲宽度等驱动条件。另外，除此以外的结构(例如，图18所示的喷出量控制电路等)与上述第一实施例相同，所以其说明从略。就是说，在该第二实施例中，喷出量可变部件对应于各喷嘴设置，以便各喷嘴独立地变更墨喷出量。
图29中示出了表示本实施例的特征的滤色片的描绘流程。在图29中所谓程序变更，表示作成的滤色片54的大小、分辨率、玻璃基板53的形状、大小等切换(步骤S501)。如果其中的任何一个条件变化，所使用的喷嘴组合就变化。与其对应地变更描绘各喷嘴用的图像数据(步骤S502)。
可是，如果所使用的喷嘴的组合变化，则如发明目的部分所述，对于相邻喷嘴的使用/非使用的条件变化的喷嘴来说，即使在电气相同的驱动条件下进行墨喷出，由于相邻喷嘴串扰的影响，所以喷出量也变化。因此，考虑相邻喷嘴串扰的影响，设定与其均衡的喷出量控制值(步骤S503)。具体地说，在从图35中的b所示的喷嘴使用条件变更到了图35中的c所示的喷嘴使用条件的情况下，与着眼喷嘴(ch12)相邻的喷嘴(ch11、ch13)的使用/非使用的条件变化，与其相伴随而受到相邻串扰的影响，这时，着眼喷嘴的喷出量减少。因此，为了补充该减少部分，是设定必要的条件(喷出量控制值)。因此，作为喷出量控制值，是能修正由于相邻串扰的影响而引起的喷出量的变化部分的条件值即可，例如，是驱动电压值或脉冲宽度等条件。预先求出该喷出量控制值。
如上进行了喷出量控制值的设定后，进行滤色片描绘(步骤S504)。只要不变更相邻喷嘴串扰条件(步骤S505“是”)，就能使用同一喷出量控制值，反复进行若干次滤色片描绘。
另一方面，如果作成的滤色片54的大小、分辨率、玻璃基板53的形状、大小等切换，则即使用同一喷墨头在电气相同的驱动条件下进行喷出，但由于相邻喷嘴串扰的影响，喷出量发生变化，所以再次设定与其均衡的喷出量控制值(步骤S506“是”)。
如果采用以上的结构，则即使喷嘴的使用条件变更了，但由于几乎不受相邻喷嘴串扰的影响，所以喷嘴的喷出量不变，滤色片的各像素上的墨喷出量也保持一定。
另外，在使用单独的喷嘴或多个喷嘴对滤色片的一个像素进行多次墨喷出的情况下，为了将滤色片的某特定的像素上的喷出量保持一定，不一定必须将各喷嘴的各喷出量保持一定。就是说，也可以调整多次喷出中的任意的喷出时的墨喷出量，以便对某特定的像素的多次喷出获得的喷出总量达到目标量。
图30是表示另一实施例的描绘流程图。在图30中，示出了使用喷嘴数的条件切换时的对应情况。例如，假设有160个喷嘴排列成一列的喷墨头。在使用该头描绘滤色片的情况下，虽然使用全部160个喷嘴进行描绘，但由于滤色片的大小和喷嘴个数的关系，对最后的扫描区域扫描时，扫描幅度变小，有时出现不使用的剩余的喷嘴。在此情况下，只是最后的扫描描绘时，变成例如只使用160个喷嘴中的100个喷嘴进行描绘。
假设存在用所使用的喷嘴数P(160个)进行描绘的情况、以及用所使用的喷嘴数Q(100个)进行描绘的情况，在Q的情况下，使用从第一个至第100个喷嘴，从第101个至160个不使用。这里如果着眼于第100个喷嘴，则在P的情况下，从两个相邻的喷嘴大致同时喷出墨，所以第100个喷嘴的喷出量大。另一方面，在Q的情况下，第99个喷嘴大致同时进行墨喷出，由于不使用第101个喷嘴，所以与P的情况相比，第100个喷嘴(着眼喷嘴)的喷出量变小。
因此，在P的情况和Q的情况下，如图30所示，有必要设定并修正对各喷嘴设定的喷出量控制值。在P、Q各自的条件下预先尝试着描绘，测定喷出量(步骤S511、步骤S513)，根据其结果计算控制值(步骤S512、步骤S514)。即，对第100个喷嘴来说，只在最后的扫描区域的扫描时，通过切换成喷出量增大的修正值，将着眼喷嘴的喷出量保持一定。另外，在步骤S511～步骤S514中，对P、Q值的多种组合作成数据。
在步骤S514以后的步骤中，在步骤S515中，对照至此制造的滤色片，变更图像数据，在步骤S516中，根据在步骤S512、514中求得的数据，设定各喷嘴的喷出量控制值，再在步骤S517中进行滤色片的描绘。在步骤S518、步骤S519中，判断是否用与至此使用的喷嘴数相同的喷嘴数再进行滤色片描绘，或者是否变更喷嘴而用其他的喷嘴数进行描绘，在用同一喷嘴数继续描绘的情况下，不进行喷出量控制值的变更，在用其他的喷嘴数进行描绘的情况下，变更喷出量控制值，返回步骤S515。
这样，通过伴随使用喷嘴数的变更，适当地切换喷出量控制值，即使相邻喷嘴串扰的影响情况变更，但不导致喷出量的变化，所以滤色片的像素上的墨喷出量能保持一定。
图31是表示另一个实施例的描绘流程图。在图31中，示出了每一描绘的扫描中使用喷嘴的组合切换时的对应情况。详细地说，考虑在头第一次通过基板进行扫描的第一遍、以及在头第二次通过基板进行扫描的第二遍中，使用的喷嘴不同的情况。
这里，着眼于第一遍也好第二遍也好所使用的某一个喷嘴A。该喷嘴A(着眼喷嘴)的相邻喷嘴是否被使用的条件有时在第一遍和第二遍中不同。就是说，在第一遍中使用喷嘴A的相邻喷嘴，在第二遍中不使用喷嘴A的相邻喷嘴，或者相反。如果是这样，则由于用图35说明的相邻喷嘴串扰的影响，喷嘴A的喷出量在第一遍和第二遍中不同。
因此，为了在第一遍和第二遍中使喷嘴A的喷出量分别等于所规定的希望值，分别在第一遍和第二遍中，将喷嘴A的喷出量控制值设定为不同的值。对在第一遍和第二遍中相邻喷嘴串扰变化的全部喷嘴进行这样的喷出量控制值的变更。
即，如图31所示，在每一遍中，通过对应于各喷嘴的相邻喷嘴喷出条件，适当地变更设定喷出量控制值，使第一遍和第二遍中各喷嘴的喷出量相等，能实现喷嘴喷出量的均匀化。
采用这样的方法，即使在描绘的每一遍中使用的喷嘴的组合变更的情况下，各喷嘴的喷出量也能保持一定，对滤色片的像素的喷出量也能保持一定。
具体地说，在图31所示的步骤S521中开始进行滤色片的扫描，如果一次扫描结束，则在步骤S522中，使喷墨头的位置向副扫描方向偏移。这时，如果采用第一遍用的图形(步骤S523“是”)，则在步骤S525中读入第一遍用的图像图形，在步骤S526中对在第一遍中使用的各喷嘴分别设定最佳的第一喷出量控制值，在步骤S527中进行滤色片的描绘。另一方面，在步骤S523、步骤S524中，在断定为第二遍用的图形的情况下，在步骤S529中对在第二遍中使用的各喷嘴，分别设定最佳的第二喷出量控制值，在步骤S530中进行滤色片的描绘。
如果采用该结构，则在各遍之间使用的喷嘴不同的情况下，在各喷嘴之间适当地变更喷出量控制值，所以在各遍之间即使在相邻喷嘴的使用状况变化的喷嘴(着眼喷嘴A)中，也不会导致喷出量的变化。
图32是表示另一个实施例的描绘流程图。在图32中，示出了作为喷墨头的一个喷嘴B变得不良而不使用喷嘴B进行描绘时的对应情况。
不使用喷嘴B描绘滤色片的方法虽然有几种，但这里，考虑使全部喷嘴的一次喷出量一定，用另一喷嘴(作为不喷出喷嘴B的相邻喷嘴的喷嘴A或喷嘴C等)补充完成本来应由喷嘴B扫描的像素的情况。
如果不使用喷嘴B，则根据上述的图35中的相邻喷嘴串扰的原理，与使用喷嘴B时相比，相邻的喷嘴A、喷嘴C的喷出量减少。
因此如图32所示，确定不良喷嘴B，对不良喷嘴B进行了不喷出处理后，再进行一次试描绘(步骤S531)，改变并求出相邻喷嘴A、相邻喷嘴C的喷出量均匀化修正系数(步骤S532)，设定修改了该喷出量均匀化修正系数后(步骤S533)，再开始进行滤色片描绘(步骤S534)。这时，设定喷嘴A、喷嘴C的喷出量控制值，以便喷嘴A、喷嘴C的喷出量成为与其他喷嘴相同的所希望的值。另外，进行步骤S524的描绘时，继续进行描绘异常的检测(步骤S535)，在检测了描绘异常的情况下(步骤S536“是”)，在步骤S538中进行不良喷嘴的确定，对在步骤S539中确定的不良喷嘴进行了不喷出处理后，返回步骤S531。另外，在步骤S536中未检测到描绘异常的情况下，进入步骤S537，在预定一组个数的滤色片的制造结束之前，反复执行步骤S531～步骤S537。
采用该图32中的方法，即使在喷嘴B变得不良而被使用喷嘴B进行滤色片描绘时，相邻喷嘴A、相邻喷嘴C的喷出量也能保持一定，滤色片的像素上的喷出量能保持一定。
图33是表示另一个实施例的描绘流程图。在图33中，示出了通过使各喷嘴的喷出时序前后错开少许，修正每个喷嘴的着墨位置时的对应情况。
由于喷墨式头的制造精度离散，即使全部喷嘴同时驱动，有时每个喷嘴的着墨位置也会发生离散。在此情况下，有必要通过使各喷嘴的喷出时序前后错开少许，修正每个喷嘴的着墨位置。这里，设想这样的情况。
即使使用同一喷嘴B，如果使与该喷嘴B相邻的喷嘴A、喷嘴C的驱动时序前后错开，则如用图35所述，由于相邻串扰的影响，喷嘴A、喷嘴C的喷出量变化。为了补偿其误差量，在预先使喷嘴A、喷嘴C的驱动时序前后错开的条件下，测定喷嘴B喷出量，根据该测定值，求得喷嘴B的喷出量控制值。这时，设定喷嘴B的喷出量控制值，以便喷嘴B的喷出量成为与其他喷嘴相同的所希望的值。
另外，即使在使用同一喷墨式头进行描绘的情况下，例如如果滤色片的形状、大小、材质不同，则描绘时喷墨头的移动速度(扫描速度)也变化。与其相伴随，着墨位置补偿用的喷出时序也变化。于是相邻串扰的影响情况变化，喷出量也变化。假设移动速度变慢，相邻喷嘴的驱动时序的偏移增大，在此情况下一般说来喷出量减少。如果喷墨头的移动速度确定，就能确定该减少量，能确定各喷嘴的喷出量为一定的所希望的值的喷出量控制值。
采用该图33的方法，改变喷墨式头的移动速度，从而即使修正着墨位置用的喷出时序的偏移量变化时，各喷嘴的喷出量也能保持一定，对滤色片的像素的喷出量保持一定。
具体地说，首先进行第一次试描绘(步骤S541)，测定各喷嘴的着墨位置(步骤S542)，根据该测定结果，进行着墨位置的修正(步骤S543)。然后，进行第二次试描绘(步骤S544)，测定各喷嘴的喷出量(步骤S545)，设定各喷嘴的喷出量控制值(步骤S546)，然后，进行滤色片描绘(步骤S548“是”)，反复进行滤色片描绘。另外，如果是在其他条件下描绘滤色片(步骤S549“是”)，则返回步骤S541，反复进行同一工作。
图34是表示另一实施例的描绘流程图。在图34中，示出了通过将各喷嘴的喷出时序前后错开少许，修正每个喷嘴的着墨位置时，在分别在喷墨式头移动的去路和回路中在滤色片上进行描绘时的对应情况。
与图33的情况相同，由于喷墨头的制造精度离散，所以即使同时驱动全部喷嘴，有时每个喷嘴的着墨位置也发生离散，所以将每个喷嘴的喷出时序前后错开少许，修正每个喷嘴的着墨位置。
如果欲缩短滤色片的描绘时间，则最好在喷墨头的往复移动中，在往返两个方向都进行描绘。在此情况下，某个喷嘴B的着墨位置修正用的喷出时序偏移量正负相反。即，例如，为了修正喷嘴B的着墨位置，在前往的描绘中，假设相对于喷嘴A及喷嘴C超前1微秒驱动喷嘴B，在返回的描绘中必须相对于喷嘴A及喷嘴C延迟1微秒驱动喷嘴B。对喷嘴B来说，相邻喷嘴A、喷嘴C的驱动快和慢1微秒时，喷嘴B的喷出量不同，一般说来慢1微秒时喷出量变小。
在图34中，预先进行喷墨头的前往试描绘和返回试描绘，求出各种情况下的各喷嘴的喷出量控制值(步骤S551～步骤S557)。然后，在进行前往的描绘时(步骤S559“是”)，设定前往方向描绘的喷出量控制值(步骤S562～步骤S563)，进行返回的描绘时(步骤S561“是”)，设定返回方向描绘的喷出量控制值(步骤S565～步骤S566)。如上，能补偿前往和返回的相邻喷嘴串扰的影响，对于同一喷嘴来说，前往的描绘时的喷出量和返回的描绘时的喷出量相等。
采用该图34的方法，通过使各喷嘴的喷出时序前后错开少许，修正每个喷嘴的着墨位置时，即使分别在喷墨头移动的前往路途和返回路途中再在滤色片上进行描绘的情况下，各喷嘴的喷出量也保持一定，对滤色片的像素的喷出量保持一定。
如上所述，如果采用该第二实施例，则由于考虑与喷嘴的喷出条件的变更相伴随的相邻喷嘴串扰的影响，伴随喷出条件的变更，适当地变更喷出量控制值(驱动电压值和脉冲宽度等)，所以几乎不受相邻喷嘴串扰的影响，不会使各喷嘴的喷出量变化。特别是进行着眼喷嘴的喷出量控制时，伴随与该着眼喷嘴相邻的相邻喷嘴的喷出条件(相邻喷嘴也同时被驱动、或在附近时刻被驱动、或不被驱动)的变更，适当地切换该着眼喷嘴的喷出量控制值，所以能使各喷嘴的喷出量经常保持均匀，能描绘没有斑点的图像。
另外，如果采用该方法制造滤色片，则能以高成品率稳定地制造没有斑点的高品质的滤色片，同时能有效地适应产品规格的变更。
(其他实施例)本发明不限定于上述的实施例，各种应用都有可能。
例如构成滤色片的着色部不限定于在玻璃基板上形成，在像素电极上形成着色部，也具有作为滤色片的功能。为了在像素电极上形成着色部，有这样两种情况在像素电极上形成墨容纳层，将墨供给该容纳层的情况；以及用混入了色材料的树脂墨使像素电极着色的情况。
另外，本发明不限定于上述的滤色片的制造，例如，也能适用于EL(电致发光)显示元件的制造等。EL显示元件有利用阴极和阳极将含有荧光性的无机及有机化合物的薄膜夹在中间的结构，将电子及空穴(孔)注入上述薄膜中，通过再结合，生成激子，是一种利用该激子失激时释放的荧光或磷光而发光的元件。用本发明的制造装置(包括上述喷液头及上述图18中的喷出控制电路，包括能执行图21或图29至图34等中的流程的液体供给装置的制造装置)，利用喷墨法使这样作成的EL显示元件中使用的荧光性材料中呈现发红、绿、蓝色光的材料在TFT等元件基板上构成图形，能制造自发光全色EL显示元件。本发明中也包括这样的EL显示元件、给显示元件的制造方法及其制造装置等。
本发明的制造装置也可以是这样的装置为了使EL材料容易附着，而有对树脂抗蚀剂、像素电极及成为下层的层的表面执行等离子体处理、UV处理、配合(coupling)处理等表面处理工序用的部件。
用本发明的制造方法制造的EL显示元件能用于段显示或全面同时发光的静止画显示等行信息领域，还能作为具有点·线·面形状的光源利用。另外，以无源驱动的显示元件为主，通过将TFT等有源元件用于驱动，能获得亮度大、响应性好的全色显示元件。
以下，给出利用本发明制造的有机EL元件的一例。图37表示有机EL元件的层叠结构剖面图。图37所示的有机EL元件备有透明基板3001、隔板(隔离构件)3002、发光层(发光部)3003、透明电极3004及金属层3006。另外，3007表示由透明基板3001和透明电极3004构成的部分，将它称为驱动基板。
作为透明基板3001只要有作为EL显示元件的透明性和机械强度等必要的特性，就没有特别限定，例如能使用玻璃基板或塑料基板等透光性的基板。
隔板(隔离构件)3002是为了在从供液头供给构成发光层3003的材料时该材料不致在相邻的像素之间混合，而具有将像素和像素之间隔开的功能的构件。即，隔壁3002具有作为混合防止壁的功能。另外，通过在透明基板3001上设置该隔壁3002，能在基板上形成至少一个凹部(像素区)。另外，隔壁3002即使是对该材料呈亲合性不同的多层结构，也没问题。
发光层3003这样构成使用通过使电流流过而发光的材料、例如聚亚苯基亚乙烯(PPV)等众所周知的有机半导体材料，层叠成能获得足够的光量的厚度、例如0.05微米至0.2微米左右。采用喷墨方式将薄膜材料液(自发光材料)填充在用隔壁3002包围的凹部中，进行加热处理，形成发光层3003。
透明电极3004由具有导电性而且具有透光性的材料、例如ITO等构成。为了以像素为单元进行发光，在每个像素区中独立地设置透明电极3004。
金属层3006是将具有导电性的金属材料、例如铝锂(Al-Li)层叠0.1微米至1.0微米左右构成的。与透明电极3004相对地形成金属层3006，具有作为公用电极的作用。
驱动基板3007这样构成层叠图中未示出的薄膜晶体管(TFT)、布线膜及绝缘膜等多层，能以像素为单元将电压加在金属层3006及各透明电极3004之间。采用众所周知的薄膜工艺，能制造驱动基板3007。
在具有上述的层结构的有机EL元件中，在将电压加在透明电极3004和金属层3006之间的像素区中，电流流过发光层3003，产生电致发光现象，光通过透明电极3004及透明基板3001射出。
这里，说明有机EL元件的制造工序。
图38A-D是表示有机EL元件的制造工序之一例的图。以下，按照图38说明各工序A～D。
工序A首先，用玻璃基板作为透明基板3001，将图中未示出的薄膜晶体管(TFT)、布线膜及绝缘膜等层叠成多层，形成透明电极3004，能将电压加在像素区上。
工序B其次，在各像素之间的位置上形成隔壁3002。隔壁3002只要是在用喷墨法供给构成发光层的EL材料时，EL材料液不致在像素之间混合用的具有作为混合防止壁的功能的隔壁即可。这里，虽然用添加了黑色材料的抗蚀剂，采用光刻法形成，但本发明不限于此，各种材料、颜色、形成方法等都能使用。
工序C其次，采用喷墨方式将EL材料填充在用隔壁3002包围的凹部中，然后经过加热处理形成发光层3003。
工序D再在发光层3003上形成金属层3006。
经过这样的工序A～D，能用简单的工序形成全色的EL元件。特别是在形成彩色的有机EL元件的情况下，由于有必要形成能发出红、绿以及蓝等不同颜色的光的发光层，所以采用能在任意的位置喷出所希望的EL材料的喷墨方式是有效的。
另外，在本发明中，通过将液体材料填充在用隔壁包围的凹部内，形成固体形态部，如果是滤色片，则着色部相当于上述固体形态部，如果是EL元件，则发光部相当于上述固体形态部。包括上述着色部和发光部的固体形态部是信息显示用的部分(显示部)，也是在视觉上识别颜色用的部分。
另外，滤色片的着色部和EL元件的发光部也可以说是产生颜色(发生颜色)的部分用的发色部。例如，在滤色片的情况下，由背照光产生的光通过着色部，能发出RGB各色光，另外，在EL元件的情况下，通过发光部自行发光，能发出RGB各色光。
另外，由于上述墨和发光材料是形成上述发光部用的材料，所以也可以称为产生色的材料。而且，将具有喷出这些液体的多个喷嘴的头定义为喷液头或喷墨方式头。
另外，不限于上述的滤色片和EL元件的制造，例如，也能适用于在基板上形成导电性薄膜而成的电子释放元件或使用该电子释放元件的电子源基板、电子源、显示面板的制造等。
这里，说明作为本发明的另一应用例的电子释放元件、使用该元件的电子源基板、电子源、显示面板的制造方法。另外，这些电子释放元件、使用该元件的电子源基板、电子源及显示面板例如是进行电视显示用的部件。
电子源基板、电子源、显示面板等中使用的电子释放元件(例如，表面传导型电子释放元件)是利用在基板上形成的小面积的导电性薄膜中，通过使电流平行于膜面流过而产生电子释放的现象的元件。详细地说，是通过在导电性薄膜的一部分上发生龟裂，将电压加在导电性薄膜上，流过电流，从上述龟裂(以下称电子释放部)释放出电子的元件。图39中示出了这样的表面传导型电子释放元件的结构例。图39A、B是表示用本发明的制造装置(包括上述喷液头及上述图18中的喷出控制电路，包括能执行图21或图29～图34等中的流程的液体供给装置的装置)制造获得的电子释放元件(表面传导型电子释放元件)的一例的模式图，图40A-D是表示制造表面传导型电子释放元件的工序的一例的图。
在图39A、B、图40A-D中，5001是基板，5002及5003是元件电极，5004是导电性薄膜，5005是电子释放部，5007是包括上述喷液头及上述图18中的喷出控制电路、而且能执行图21或图29～图34等中的流程的液体供给装置，5024是从液体供给装置喷出的导电性薄膜材料液的液滴，5025是通电形成前的导电性薄膜。
在本例中，首先在基板5001上以相隔某一程度的距离L1形成元件电极5002及5003(图40A)。其次，利用喷液头(喷墨式的头)5007喷出形成导电性薄膜5004用的作为液体材料的导电性薄膜材料液(详细地说，含有金属元素的液体)5024(图40B)，接触在元件电极5002、5003上形成导电性薄膜5004(图40C)。其次，例如通过后面所述的形成处理，使导电性薄膜中产生龟裂，形成电子释放部5005(图40D)。
通过采用这样的液体供给方法，能只在所希望的位置(规定的区域)有选择地形成含有金属元素的液体的微小液滴，所以不会浪费构成电子释放元件部的材料。另外不需要采用必须使用昂贵的装置的真空工艺、包括多个工序的光刻进行的构图，能降低生产成本。
如果列举液体供给装置5007的具体例，则只要是能喷出任意的液滴的装置，不管什么样的装置都没关系，但能控制在从十几ng到数十ng的范围内而且能容易地喷出数十ng微小量的液滴的喷墨方式的装置特别好。另外，特开平11-354015号公报中记载了使用喷墨方式的液体供给装置，制作表面传导型电子释放元件的方法。
为了获得良好的电子释放特性，用微粒构成导电性薄膜5004的微粒膜特别好，该膜的厚度可以根据元件电极5002及5003上的分步敷层、元件电极5002·5003之间的电阻值及后面所述的通电形成条件适当地设定，但最好为数埃至数千埃，10埃至500埃特别好。该薄片电阻值为103～107Ω/□。
构成导电性薄膜5004的材料，能举出Pd、Pt、Ru、Ag、Au、Ti、In、Cu、Cr、Fe、Zn、Ta、W、Pb等金属，PdO、SnO2、In2O3、PbO、Sb2O3等氧化物，HfB2、ZrB2、LaB6、CeB6、YB4、GdB4等硼化物，TiC、ZrC、HfC、TaC、SiC、WC等碳化物，TiN、ZrN、HfN等氮化物，Si、Ge等半导体，碳等。
这里所说的微粒膜，是多个微粒集合的膜，作为其微细结构，指不仅微粒呈一个个地分散配置的状态，而且微粒呈互相相邻或重合的状态(也包括岛状)的膜，微粒的粒径为数埃至数千埃，最好为10埃至200埃。
形成液滴5024的液体，能举出将上述的导电性薄膜的构成材料溶解在水或溶剂等中的液体或有机金属溶液等。
作为基板5001，能使用石英玻璃、Na等杂质的含量少的玻璃、钠钙玻璃、表面上形成了SiO2的玻璃基板及氧化铝等陶瓷基板。
作为元件电极5002及5003的材料，能使用一般的导电体，例如能从Ni、Cr、Au、Mo、W、Pt、Ti、Al、Cu、Pd等金属或合金、以及由Pd、Ag、Au、RuO2、Pd-Ag等金属或金属氧化物和玻璃等构成的印刷体、In2O3-SnO2等透明导电体及多晶硅等半导体材料等中适当地选择。
电子释放部5005是在导电性薄膜5004的一部分上形成的高电阻龟裂，由形成通电等形成。另外，有的在龟裂内有粒径为数埃至数百埃的导电性微粒。该导电性微粒包含构成导电性薄膜5004的物质的至少一部分元素。另外，电子释放部5005及其附近的导电性薄膜5004有的含有碳及碳化物。
通过对形成了导电性薄膜5004及元件电极5002、5003的元件进行称为通电形成的通电处理，形成电子释放部5005。如特开平2-56822号公报所述，通电形成是由图中未示出的电源在元件电极5002·5003之间进行通电，使导电性薄膜5004局部地发生破坏、变形或变质，形成结构变化了的部位。将该局部结构变化了的部位称为电子释放部5。通电形成的电压波形最好呈脉冲波形，有这样两种情况连续地施加脉冲峰值一定的电压脉冲的情况；以及一边增加脉冲峰值，一边施加电压脉冲的情况。
一边增加脉冲峰值，一边施加电压脉冲时的脉冲峰值(通电形成时的峰值电压)例如以每台阶0.1V的大小增加，在适当的真空气氛下施加。
这时的通电形成处理这样进行采用对导电性薄膜5004不会造成局部地发生破坏、变形大小的电压、例如0.1V左右的电压，测定元件电流，求电阻值，例如呈现出1MΩ以上的电阻时，使通电形成结束。
其次，最好对通电形成结束了的元件进行称为激活工序的处理。所谓激活工序，是用10-4～10-5Torr左右的真空度，与通电形成同样，反复施加脉冲峰值一定的电压脉冲的处理，是使真空中存在的有机物质引起的碳及碳化物淀积在导电薄膜上，使元件电流If、释放电流Ie显著变化的处理。测定元件电流If和释放电流Ie，例如在释放电流Ie达到饱和的时刻，使激活工序结束。
另外，这里所谓碳及碳化物，是指石墨(指单晶及多晶两种)非晶体碳(指非晶体碳及多晶石墨的混合物)而言，其厚度最好在500埃以下，若在300埃以下就更好。
将这样制作的电子释放元件放置在比通电形成工序、激活工序中的真空度高的真空度的气氛下进行工作驱动即可。另外，最好在更高的真空度的气氛下，加热到80℃～150℃后进行工作驱动。
另外，所谓比通电形成工序、激活处理的真空度高的真空度，是例如大约10-6Torr以上的真空度，最好是超高真空系统，是新的碳及碳化物几乎不淀积在导电薄膜上的真空度。通过这样处理，能使元件电流If、释放电流Ie稳定。
如上处理后，能制造平面型表面传导型电子释放元件。
图41是表示包括制造表面传导型电子释放元件用的液体喷出装置的制造装置的外观图。在图41中，5101是收容制造装置的框体，5102是收容在框体中的个人计算机的监视器，5103是个人计算机键盘或操作盘，5104是放置基板5106的台，5105是将液体喷射到基板5106上用的喷液头(喷墨式的头)，5106是在其上面形成表面传导型电子释放元件的基板，5107是为了能将液滴供给基板5106上的任意位置，而能沿纵横两个方向自由运动的XY台，5108是保持液体喷出装置的平台，5109是进行基板5107上的液滴的喷出位置的定位用的调准摄像机。这样构成的制造装置基本上与用图1说明的滤色片制造装置同样地工作。另外，基板的调准方法、导电性薄膜的形成方法、通电形成方法能采用特开平11-354015号公报中记述的方法。
其次，通过将多个如上制造的表面传导型电子释放元件排列在基板上，形成显示面板。图42是表示包括这样的多个表面传导型电子释放元件5004的显示面板5091的图。设置在该显示面板上的多个表面传导型电子释放元件例如被配置成m行n列的呈行列状的矩阵。而且，根据图像信号(例如，NTSC方式的电视信号)，驱动显示面板内的表面传导型电子释放元件，能进行电视显示。另外，关于显示面板的制造，能采用特开平11-354015号公报中记述的方法。
而且，通过进行本发明的上述喷出量均匀化控制，能使显示面板中包含的全部电子释放元件的导电性薄膜的形状一定。因此，如果按照本发明制造显示面板的电子释放元件，则能均匀地配置构成电子释放元件的导电性薄膜，所以能实现图像品质高的显示面板的制造。
如上所述，如果采用上述的实施例，则能使喷液头的各喷嘴的液体喷出量均匀。另外，能独立地改变各喷嘴的液体喷出量。
另外，由于能将对基板上的规定区域(例如像素)的液体供给量简单地控制成规定量，所以能制造规定区域(例如像素)的液体供给量能均匀化的高品位的滤色片或EL显示元件等显示装置用面板、电子释放元件及包括该元件的显示面板。
在不脱离本发明的精神和范围的前提下，可以有许多不同的实施方案。应当理解，本发明并不限于以上的具体实例，其范围应由所附权利要求书确定。
权利要求
1.一种液体喷出装置，用具有用来喷出液体的多个喷嘴的喷液头，将上述液体喷射到媒体上，该液体喷出装置的特征在于具有能分别对上述多个喷嘴个别地变更上述喷液头的多个喷嘴各自的液体喷出量的喷出量可变部件，上述喷出量可变部件包括能变更分别供给上述多个喷嘴的驱动脉冲的驱动电压值的电压控制部件。
2.根据权利要求1所述的液体喷出装置，其特征在于上述喷出量可变部件伴随所使用的喷嘴的组合、使用的喷嘴个数、不良喷嘴的有无、头和媒体的相对移动方向、以及头和媒体的相对移动速度中的至少一个条件的变更，进行上述驱动电压值的变更。
3.一种液体喷出方法，用具有用来喷出液体的多个喷嘴的喷液头，将上述液体喷射到媒体上，该液体喷出方法的特征在于具有使用具有只与喷出量可变部件连接的喷嘴的喷液头，从该喷液头喷出液体的工序，上述喷出量可变部件通过变更供给上述喷嘴的驱动脉冲的驱动电压值，能变更上述喷嘴的液体喷出量。
4.一种显示装置用面板的制造装置，用具有用来喷出液体的多个喷嘴的喷液头，将液体从该喷液头喷射到基板上，制造显示装置用面板，该显示装置用面板的制造装置的特征在于具有能分别对上述多个喷嘴个别地变更上述喷液头的多个喷嘴各自的液体喷出量的喷出量可变部件，上述喷出量可变部件包括能变更分别供给上述多个喷嘴的驱动脉冲的驱动电压值的电压控制部件。
5.根据权利要求4所述的显示装置用面板的制造装置，其特征在于上述喷出量可变部件伴随所使用的喷嘴的组合、使用的喷嘴个数、不良喷嘴的有无、头和媒体的相对移动方向、以及头和媒体的相对移动速度中的至少一个条件的变更，进行上述驱动电压值的变更。
6.一种显示装置用面板的制造方法，用具有用来喷出液体的多个喷嘴的喷液头，将液体从该喷液头喷射到基板上，制造显示装置用面板，该显示装置用面板的制造方法的特征在于使用具有只与能变更供给喷嘴的驱动脉冲的驱动电压值的喷出量可变部件连接的喷嘴的喷液头，从该喷液头喷出液体，制造显示装置用面板。
7.一种液体喷出装置，备有喷液头，该喷液头具有包含能变更液体喷出量的喷嘴的多个喷嘴，该液体喷出装置的特征在于具有伴随与能变更液体喷出量的规定喷嘴相邻的相邻喷嘴的喷出条件的变更，对包括供给上述规定喷嘴的驱动脉冲的电压值及脉冲宽度中的至少一个条件的喷出量控制值进行变更的喷出量控制部件。
8.根据权利要求7所述的液体喷出装置，其特征在于上述喷出量控制部件根据是否与上述规定喷嘴的喷出时刻大致同时从相邻喷嘴进行喷出，来变更上述规定喷嘴的喷出量控制值。
9.根据权利要求7所述的液体喷出装置，其特征在于将上述规定喷嘴作为喷嘴B，将其两侧相邻的喷嘴分别作为喷嘴A、喷嘴C时，在关于从喷嘴A及喷嘴C中的至少一个与喷嘴B大致同时进行驱动喷出、或者在接近对喷嘴B的喷出量产生影响的程度附近的时刻从喷嘴A及喷嘴C中的至少一个进行驱动喷出、或者在喷嘴B喷出的时刻附近的时刻从喷嘴A及喷嘴C两者中的任意一者不进行喷出的喷出条件中的任意一个条件被变更时，上述喷出量控制部件变更喷嘴B的喷出量控制值。
10.根据权利要求7所述的液体喷出装置，其特征在于上述喷出量控制部件在上述相邻喷嘴的喷出条件被变更时，为了使上述规定喷嘴的喷出量不变而切换该规定喷嘴的喷出量控制值。
11.根据权利要求7所述的液体喷出装置，其特征在于在上述喷液头使用的喷嘴个数被变更时，上述喷出量控制部件切换所使用的喷嘴中位于端部的端部喷嘴的喷出量控制值。
12.根据权利要求7所述的液体喷出装置，其特征在于在上述喷液头使用的喷嘴组合被变更时，上述喷出量控制部件切换相邻喷嘴的使用状况变化了的上述规定喷嘴的喷出量控制值。
13.根据权利要求7所述的液体喷出装置，其特征在于在上述喷液头的多个喷嘴中，在上述规定喷嘴成为不良喷嘴，不使用该成为不良喷嘴的上述规定喷嘴而变更使用喷嘴的组合时，上述喷出量控制部件切换上述规定喷嘴两侧的相邻喷嘴的喷出量控制值。
14.根据权利要求7所述的液体喷出装置，其特征在于在上述喷液头的多个喷嘴中，使上述规定喷嘴的喷出时序错开后，上述喷出量控制部件切换使上述喷出时序错开了的上述规定喷嘴及其两侧的相邻喷嘴的喷出量控制值。
15.一种液体喷出方法，用具有包含能变更液体喷出量的喷嘴的多个喷嘴的喷液头，将液体喷射到媒体上，该液体喷出方法的特征在于具有伴随使用的喷嘴的组合、使用的喷嘴的个数、不良喷嘴的有无、喷嘴和基板的相对移动方向、以及喷嘴和基板的相对移动速度中的至少一个条件的变更，对包括供给上述规定喷嘴的驱动脉冲的电压值及脉冲宽度中的至少一个条件的喷出量控制值进行变更的喷出量控制工序。
16.根据权利要求3所述的液体喷出方法，其特征在于上述媒体是具有由黑矩阵隔开的像素区的媒体，上述喷液头是从上述喷嘴喷出墨的喷液头，从上述喷液头将墨喷射到上述媒体上的像素区上，制造滤色片。
17.根据权利要求3所述的液体喷出方法，其特征在于上述媒体是具有构成发光部的像素区的媒体，上述喷液头是从上述喷嘴喷出电致发光材料的喷液头，从上述喷液头将电致发光材料喷射到上述媒体上的像素区上，制造电致发光元件。
18.根据权利要求3所述的液体喷出方法，其特征在于上述媒体是具有作为导电性薄膜部的区域的媒体，上述喷液头是从上述喷嘴喷出导电性薄膜材料的喷液头，从上述喷液头将导电性薄膜材料喷射到上述媒体上的区域上，制造有上述导电性薄膜部的电子释放元件。
19.根据权利要求3所述的液体喷出方法，其特征在于上述媒体是具有作为导电性薄膜部的区域的媒体，上述喷液头是从上述喷嘴喷出导电性薄膜材料的喷液头，从上述喷液头将导电性薄膜材料喷射到上述媒体上的区域上，制造包括多个有上述导电性薄膜部的电子释放元件的显示面板。
20.一种显示装置用面板的制造方法，用具有包含能变更液体喷出量的喷嘴的多个喷嘴的喷液头，将液体从该喷液头喷射到基板上，制造显示装置用面板，该显示装置用面板的制造方法的特征在于具有伴随使用的喷嘴的组合、使用的喷嘴的个数、不良喷嘴的有无、喷嘴和基板的相对移动方向、以及喷嘴和基板的相对移动速度等至少一个条件的变更，对包括供给上述规定喷嘴的驱动脉冲的电压值及脉冲宽度中的至少一个条件的喷出量控制值进行变更的喷出量控制工序。
21.根据权利要求6所述的显示装置用面板的制造方法，其特征在于上述显示装置用面板是滤色片。
22.根据权利要求6所述的显示装置用面板的制造方法，其特征在于上述显示装置用面板是电致发光元件。
23.根据权利要求6所述的显示装置用面板的制造方法，其特征在于上述显示装置用面板是包含多个具有导电性薄膜部的电子释放元件的显示面板。
全文摘要
提供使喷液头的喷嘴的液体喷出量均匀化的液体喷出装置及方法、显示装置用面板的制造装置及制造方法。该液体喷出装置用具有喷出液体用的多个喷嘴的喷液头，将液体喷射到媒体上，具有能分别对多个喷嘴个别地变更喷液头的多个喷嘴各自的液体喷出量的喷出量可变部件，上述喷出量可变部件包括能变更分别供给上述多个喷嘴的驱动脉冲的驱动电压值的电压控制部件。
文档编号B41J2/05GK1480327SQ031453
公开日2004年3月10日 申请日期2003年7月8日 优先权日2002年7月8日
发明者小山慶博, 里村誠一郎, 赤平誠, 藤村秀彦, 一郎, 小山 博, 彦 申请人:佳能株式会社