液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置与流程

文档序号:12039905阅读:来源:国知局
技术总结
本发明在形成导电膜(8)后通过磨削法形成电极图案,通过简便的方法制造液体喷射头(1)。本发明包括:槽形成工序,在致动器基板(2)的表面(TP)的后端(RE)附近构成端子区域(R),从表面(TP)的前端(FE)朝向端子区域(R)形成并列的多个吐出槽(4);浅槽形成工序,在端子区域(R)形成浅槽;导电膜形成工序,在表面和吐出槽(4)及浅槽(6)的侧面及底面形成导电膜(8);磨削工序,磨削并除去形成于表面的导电膜(8);盖板接合工序,以使端子区域(R)露出并覆盖吐出槽(4)的方式将盖板(10)接合至表面;以及喷嘴板粘接工序,将喷嘴板(12)粘接至致动器基板(2)的吐出槽(4)开口的侧面。

技术研发人员:小关修
受保护的技术使用者:精工电子打印科技有限公司
文档号码:201310125995
技术研发日:2013.04.12
技术公布日:2016.12.28

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