喷墨印刷装置的制作方法

本发明涉及喷墨印刷装置，详细而言涉及使油墨循环的喷墨印刷装置。

背景技术：

以往，提出有以使供给于喷墨头的油墨循环的方式构成的喷墨印刷装置。

例如，图16是喷墨印刷装置的油墨循环机构的说明图。如图16所示，通过供给泵135，从以能够拆装的方式构成的墨盒130向第一盒140供给油墨。以使第一盒140的油墨经由第一泵162、第二盒150、喷墨头114、第二泵161而返回第一盒140的方式构成油墨路径。第一盒140内的油墨的液面的位置通过两组传感器142的上部浮标bh与下部浮标bl的位置来检测。第二盒150内的油墨的液面的位置通过两组浮标式的传感器152的上部浮标sh与下部浮标sl的位置来检测。在第一盒140与第二盒150设置有大气连通口141、151。喷墨头114固定于壳体的内部，在壳体的内部被输送、移动的片材上进行印刷处理(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2011-240628号公报

然而，图16的构成存在以下那样的课题。

第一课题是在墨盒与第一盒之间无法使油墨循环。滞留部存在于油墨的路径，因此在使用包含粒子的颜料系油墨的情况下，产生油墨的粒子沉降的问题。

第二课题是由于无法使喷墨头移动，所以导致印刷节奏变慢。必须使印刷工作台还要移动喷墨头移动的量，因此印刷节奏变慢。

第三课题是若使喷墨头移动则油墨的排出不稳定。假定在使喷墨头移动的情况下，第二盒不动，通过柔软的配管连接喷墨头与第二盒之间。若使喷墨头移动，则喷墨头与第二盒之间的配管变形，对内部的油墨施加压力，油墨的排出不稳定。第三课题是欲以使喷墨头移动的方式构成而新发现的课题，课题本身是新颖的。

第四课题是使第二盒与喷墨头一同移动较困难。即，为了解决第三课题，若欲使第二盒与喷墨头一同移动，则存在第二盒内的油墨晃动而产生波纹，油墨的液面从水平的状态被扰乱的情况。在液面被扰乱的状态下传感器的检测值变动，若基于该错误的检测值而进行油墨循环的控制，则油墨的排出不稳定。另外，第二盒必须设置于在喷墨头处于任意位置的情况下均不会发生油墨从喷墨头的喷嘴垂下及气体流入喷嘴等情况的位置。由于该制约，使第二盒与喷墨头一同移动较困难。第四课题是欲以使第二盒与喷墨头一同移动的方式构成而新发现的课题，课题本身是新颖的。

第五课题是在油墨的供给、回收中使用泵的情况下，泵的脉动传递于喷墨头，对油墨的排出产生负面影响。第五课题是新发现的课题，课题本身是新颖的。

技术实现要素：

本发明鉴于上述的实际情况，至少为了解决第一至第三课题而提供一种喷墨印刷装置，该喷墨印刷装置供所有的油墨循环，能够使喷墨头移动，并且即使喷墨头移动，油墨的排出也难以变得不稳定。

本发明为了解决上述课题，提供如以下方式构成的喷墨印刷装置。

喷墨印刷装置具备：(a)喷墨头，其具有油墨的入口以及出口，并相对于印刷工作台独立地移动；(b)第一盒，其具有第一注入口以及第一排出口；(c)第二盒，其为柱状的盒，且以轴向一端为重力方向上侧而轴向另一端为重力方向下侧的方式配置，在上述轴向一端侧具有第二注入口，在上述轴向另一端侧具有直接或者经由配管与上述喷墨头的上述入口连接的第二排出口，该第二盒与上述喷墨头的相对位置被固定，从而与上述喷墨头一同移动；(d)液面传感器，其检测上述第二盒内的上述油墨的液面；(e)第一油墨路径，其连接上述第一盒的上述第一排出口与上述第二盒的上述第二注入口；(f)第一泵，其设置于上述第一油墨路径，使上述油墨从上述第一盒向上述第二盒流动；(g)第二油墨路径，其连接上述喷墨头的上述出口与上述第一盒的上述第一注入口；以及(h)第二泵，其设置于上述第二油墨路径，使上述油墨从上述喷墨头向上述第一盒流动。

在上述构成中，能够使油墨依次按照第一盒、第一泵、第二盒、喷墨头、以及第二泵的循序循环。

根据上述构成，构成为所有的油墨循环，且在油墨的路径不存在滞留部，从而能够防止油墨内的粒子的沉降，由此解决第一课题。喷墨头相对于印刷工作台独立地移动，因此与喷墨头被固定而仅印刷工作台移动的情况相比，能够加快印刷节奏，由此解决第二课题。喷墨头与第二盒一同移动，因此通过防止连接第二盒的第二排出口与喷墨头的入口的配管的变形、或者取消该配管本身，则即使喷墨头移动，也能够使油墨的排出难以变得不稳定，由此解决第三课题。

喷墨印刷装置优选进一步具备：(i)气压传感器，其对在上述第二盒内与上述油墨的上述液面接触的气体的压力进行检测；以及(j)气压调整部，其调整上述气体的上述压力。

该情况下，使用气压传感器和气压调整部，同第二盒内的油墨的液面与喷墨头之间的阶梯差对应地调整第二盒内的气体的压力，能够使喷墨头内的油墨的压力最佳化，因此能够更自由地设定第二盒的设置位置。其结果是，容易使第二盒与喷墨头一同移动，由此解决第四课题。

优选上述液面传感器是电容式的传感器。

该情况下，在伴随着喷墨头的移动而第二盒内的油墨的液面摇晃并产生波纹时，与浮标式的传感器相比，难以产生液面传感器的检测值的紊乱。其结果是，容易使第二盒与喷墨头一同移动，由此解决第四课题。

优选在上述第二油墨路径中的、上述喷墨头的上述出口与上述第二泵之间，设置有使上述油墨的脉动衰减的衰减部。

该情况下，能够减少由第二泵传递于喷墨头的脉动。其结果是，减弱了在油墨的供给及回收使用了泵的情况下，泵的脉动传递于喷墨头而对油墨的排出产生负面影响的第五课题。

优选上述第二注入口构成为从上述第二盒内的上述油墨离开。

该情况下，能够减少由第一泵传递于喷墨头的脉动。其结果是，减弱了在油墨的供给及回收使用了泵的情况下，泵的脉动传递于喷墨头而对油墨的排出产生负面影响的第五课题。

喷墨印刷装置优选进一步具备：(k)控制部，其基于上述液面传感器的输出来控制上述第一泵的流量。

该情况下，通过控制第一泵的流量以使第二盒内的油墨的液面的位置成为恒定，由此能够难以通过喷墨头来传递因第二盒内的油墨的液面的位置变化、流量变化而产生的脉动。其结果是，减弱了在油墨的供给及回收使用了泵的情况下，泵的脉动传递于喷墨头而对油墨的排出产生负面影响的第五课题。

具体的一个方式中，上述控制部执行如下步骤，即：(i)第一步骤，在上述液面传感器检测出上述第二盒内的上述油墨的上述液面达到规定位置或者超过上述规定位置时，控制上述第一泵的流量以使上述第一泵的流量与上述第二泵的流量相等；(ii)第二步骤，在上述液面传感器持续第一规定时间以上的时间检测出上述第二盒内的上述油墨的上述液面达到上述规定位置或者超过上述规定位置时，控制上述第一泵的流量以使上述第一泵的流量成为零；以及(iii)第三步骤，在上述液面传感器持续第二规定时间以上的时间检测出上述第二盒内的上述油墨的上述液面未达到上述规定位置时，控制上述第一泵的流量以使上述第一泵的流量比上述第二泵的流量更多。

另外，本发明提供形成如下那样构成的印刷物的方法。

形成印刷物的方法使用喷墨印刷装置来形成印刷物，该喷墨印刷装置具备：(a)喷墨头，其具有油墨的入口以及出口，并相对于印刷工作台独立地移动；(b)第一盒，其具有第一注入口以及第一排出口；(c)第二盒，其为柱状的盒，且以轴向一端为重力方向上侧而轴向另一端为重力方向下侧的方式配置，在上述轴向一端侧具有第二注入口，在上述轴向另一端侧具有直接或者经由配管与上述喷墨头的上述入口连接的第二排出口，该第二盒与上述喷墨头的相对位置被固定，从而与上述喷墨头一同移动；(d)液面传感器，其检测上述第二盒内的上述油墨的液面；(e)第一油墨路径，其连接上述第一盒的上述第一排出口与上述第二盒的上述第二注入口；(f)第一泵，其设置于上述第一油墨路径，使上述油墨从上述第一盒朝向上述第二盒流动；(g)第二油墨路径，其连接上述喷墨头的上述出口与上述第一盒的上述第一注入口；以及(h)第二泵，其设置于上述第二油墨路径，并使上述油墨从上述喷墨头向上述第一盒流动。形成印刷物的方法具备(i)第一工序，使上述油墨依次按照在上述第一盒、上述第一泵、上述第二盒、上述喷墨头、上述第二泵的顺序循环；(ii)第二工序，通过在上述第一工序中，在上述印刷工作台上一边使上述喷墨头移动一边使上述油墨从上述喷墨头排出，从而形成上述印刷物。在上述第一工序中，使上述第二泵的流量成为恒定，并且基于上述液面传感器的输出来控制上述第一泵的流量。

根据上述方法，能够防止油墨内的粒子的沉降，由此解决第一课题。能够加快印刷节奏，由此解决第二课题。即使喷墨头移动也能够使油墨的排出难以变得不稳定，由此减弱第三课题。能够难以将为了使第二盒内的油墨的液面的位置成为恒定的流量变化而产生的脉动传递于喷墨头，由此减弱第五课题。

上述印刷物优选为电子部件的一部分或者全部。

该情况下，能够使用喷墨印刷装置来制造电子部件。

另外，本发明提供通过形成上述的印刷物的方法来制造电子部件的电子部件的制造方法。

对于电子部件的制造方法，在形成上述的印刷物的方法的上述第二工序中，作为上述油墨，使用包含绝缘材料的第一油墨、和包含电极材料的第二油墨，来形成具有包含上述绝缘材料的层和包含上述电极材料的层的未烧制的上述印刷物。电子部件的制造方法具备：对未烧制的上述印刷物的上述绝缘材料与上述电极材料一同进行烧制的第三工序。

根据上述方法，能够使用喷墨印刷装置来形成电子部件的全部或者一部分。

另外，本发明提供通过形成上述的印刷物的方法来制造电子部件的电子部件的制造方法。

对于电子部件的制造方法，在形成上述的印刷物的方法的上述第二工序中，使用包含电极材料的上述油墨，在包括绝缘材料的未烧制的片材形成上述印刷物。电子部件的制造方法具备：(iii)第三工序，形成未烧制的层叠体，该层叠体包含形成有上述印刷物的未烧制的上述片材；和(iv)第四工序，对未烧制的上述层叠体的上述电极材料与上述绝缘材料进行烧制。

根据上述方法，能够使用喷墨印刷装置来形成电子部件的全部或者一部分。

根据本发明，所有的油墨循环，能够使喷墨头移动，并且即使使喷墨头移动，油墨的排出也难以变得不稳定。

附图说明

图1是喷墨印刷装置的整体结构图。(实施例1)

图2是印刷工作台以及喷墨头的说明图。(实施例1)

图3是喷墨头的剖视图。(实施例1)

图4是第一盒的说明图。(实施例1)

图5是第二盒以及喷墨头的说明图。(实施例1)

图6是第二盒以及喷墨头的示意图。(实施例1)

图7是第二盒的压力调整结构的说明图。(实施例2)

图8是电容式的液面传感器的示意图。(实施例3)

图9是衰减部的示意图。(实施例4)

图10是配管阻力式的衰减部的示意图。(实施例4)

图11是第二盒的说明图。(实施例5)

图12是控制部的动作的流程图。(实施例6)

图13是喷墨印刷装置的整体结构图。(实施例1)

图14是表示电子部件的制造工序的剖视图。(实施例1)

图15是表示电子部件的制造工序的剖视图。(实施例1)

图16是油墨循环机构的说明图。(以往例)

附图标记的说明

3...气体；4...油墨；5...液面；10、10a...喷墨印刷装置；12...印刷工作台；20...喷墨头；21a...油墨端口(入口)；21b...油墨端口(出口)；30...第一盒；30s...第一注入口；30t...第一排出口；31...第一油墨路径；32...第二盒；32...气压传感器；32a...液面传感器；32b...气压传感器；32c...气压调整部；32s...第二注入口；32t...第二排出口；33...第三油墨路径；33p...配管；33x...衰减部；34...第一泵；35...第二油墨路径；35x...衰减部；36...第二泵；38...控制部；50...液面传感器；60...空气室(衰减部)；62...储液器(衰减部)；64...衰减部；70...未烧制的层叠体；80...电子部件(陶瓷电子部件)。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

＜实施例1＞参照图1～图6对实施例1的喷墨印刷装置10进行说明。

图1是喷墨印刷装置10的整体结构图。如图1所示，在喷墨印刷装置10，以相对于未图示的基台能够移动的方式配置有对工件2进行载置的印刷工作台12和排出油墨的喷墨头20，且印刷工作台12和排出油墨的喷墨头20隔开间隔地相互对置。印刷工作台12通过驱动装置14被驱动，喷墨头20通过驱动装置16被驱动。印刷工作台12与喷墨头20彼此能够向不同方向独立地移动。控制装置18对驱动装置14、16的动作以及喷墨头20的油墨的排出进行控制。

喷墨印刷装置10构成为使油墨按箭头4x所示的方向循环。即，在连接第一盒30的第一排出口30t与第二盒32的第二注入口32s的第一油墨路径31，设置有使油墨从第一盒30向第二盒32流动的第一泵34。在连接喷墨头20的出口21b与第一盒30的第一注入口30s的第二油墨路径35，设置有使油墨从喷墨头20向第一盒30流动的第二泵36。第二盒32的第二排出口32t经由第三油墨路径33与喷墨头20的入口21a连接，或者直接与喷墨头20的入口21a连接。

由点划线围起的喷墨头20、第二盒32以及液面传感器32a以相对位置恒定的方式移动。即，第二盒32以及液面传感器32a以与喷墨头20的相对位置固定的方式而与喷墨头20一同移动。由于第二盒32移动，因此优选比第一盒30小。第一盒30是主盒，第二盒32是副盒。

控制部38基于对第二盒32内的油墨的液面进行检测的液面传感器32a的检测值来控制第一泵34与第二泵36的流量。

图2是表示印刷工作台12以及喷墨头20的构成的说明图。如图2所示，印刷工作台12向箭头8所示的x方向移动，喷墨头20向箭头9所示的y方向移动。在印刷工作台12与喷墨头20相对移动期间，使油墨7从喷墨头20排出，从而向载置于印刷工作台12的工件2进行印刷。

图2中，图示出在喷墨头20仅形成有一个排出油墨7的喷嘴的情况，但优选在喷墨头20形成一列或者多列的多个喷嘴。喷嘴列的方向可以是x方向、y方向、以及xy平面上的任意的方向。

此外，喷墨头20也可以具备多个。也可以将油墨的种类不同的喷墨头20组合。也可以构成为从一个喷墨头排出种类不同的油墨。该情况下，针对每个油墨的种类在喷墨头内形成独立的流路，与各自的油墨路径连接。

工件2也可以是沿与喷墨头20的移动方向交叉(优选正交)的方向被输送的长条的片状。该情况下，也可以取代印刷工作台12，而使用带、辊等来输送工件。在为容易弯曲的工件的情况下，也可以使工件沿着辊，使工件的输送路径弯曲。

例如，喷墨头20以最高移动速度为100mm/s以上且200mm/s以下往复移动，以2s以上且3s以下为一次往复。

若在工件2与喷墨头20双方移动的期间进行印刷，则与在工件2相对于静止的喷墨头20移动的期间进行印刷的情况相比，能够加快印刷节奏。

图3是示意性地示出喷墨头20的结构的剖视图。如图3所示，喷墨头20具有：通过过滤器23x在相互结合的歧管22与促动器单元24之间进行了划分的预过滤器室23a以及后过滤器室23b。在歧管22的两端部设置有油墨端口21a、21b。一个油墨端口21a是油墨的入口，形成有与预过滤器室23a的一个端部连通的孔。另一个油墨端口21b是油墨的出口，形成有与预过滤器室23a的另一个端部连通的孔。

从油墨端口21a进入预过滤器室23a的油墨的全部或者大部分在预过滤器室23a流动而从油墨端口21b流出。例如，预过滤器室23a的流路剖面(图3中纸面垂直方向的剖面)的面积为20mm²以上且30mm²以下，预过滤器室23a的容量为2ml以上且3ml以下。

在促动器单元24形成有一端与后过滤器室23b连通的多个促动器室25，促动器室25的另一端被喷嘴板26覆盖。在喷嘴板26，在与各促动器室25对置的位置，形成有贯通喷嘴板26的未图示的喷嘴。

通过设置于促动器单元24的压电元件、加热机构，将促动器室25内的油墨压出，从而将油墨7从喷嘴板26的喷嘴排出。例如，一个喷嘴每次的油墨的排出量、即从喷嘴排出的一滴油墨7的量为数至数百pl(微微升)。

喷嘴的数量优选从数十个到数百数千个左右。喷嘴间的间距宽至1mm左右为止。喷嘴的排列可以是一列也可以是多列，不需要全部连续地排列。

图4是示意性地示出第一盒30的结构的说明图。如图4的(a)所示，第一盒30从圆筒形的能够封闭的金属的盒主体30a的上部将两根管插入盒，形成第一注入口30s以及第一排出口30t。盒主体30a的材质优选为不锈钢。盒主体30a例如使用内径180mm、高度200mm、容量5升的部件。

如图4的(b)所示，也可以从盒主体30b的上部插入形成第一注入口30s的管，在盒主体30b的下部设置第一排出口30t。

如图4的(a)以及(b)所示，在第一盒30的盒主体30a、30b的上部设置有从外部吸入油墨4减少的量的气体的单向阀30c。在单向阀30c的前端，为了确保盒主体30a、30b内的清洁度而安装有空气过滤器30f。

也可以在第一盒30安装搅拌装置30m，其中，该搅拌装置30m使用了用于对盒主体30a、30b内的油墨4进行搅拌的搅拌叶片等。也可以以防止盒主体30a、30b的内侧的受到污染的目的、使少量的油墨循环的目的，而在盒主体30a、30b的内部放入其它的内容器。

图5是示意性地示出第二盒32以及喷墨头20的结构的说明图。如图5所示，第二盒32是柱状，优选为圆筒形的盒，且以轴向一端为重力方向上侧、轴向另一端为重力方向下侧的方式配置，并且在轴向一端具有第二注入口32s，在轴向另一端具有第二排出口32t。第二盒32优选以使第二盒32的轴向与重力方向平行的方式配置，但也可以相对于重力方向倾斜地配置。

对于第二盒32，从油墨4的液面5的假定位置朝向第二排出口32t，若第二盒32的内部空间的水平剖面为相同的形状·尺寸或变窄的形状，则不存在油墨4滞留的部分，从而优选。但是，即使存在相对于收纳于第二盒32的油墨的整体的量而足够少的量的油墨滞留的部分，也是没有问题的。

第二盒32的材质优选对油墨的成分有耐受性。例如，第二盒32使用内径25mm、全长100mm、内容量20ml(毫升)的聚丙烯制的盒。

在第二盒32设置有对第二盒32的内部的油墨4的液面5进行检测的液面传感器32a。第二盒32的第二排出口32t与喷墨头20的入口21a(参照图3)之间通过配管33p连接。配管33p是第三油墨路径33(参照图1)。

本实施例中，通过固定喷墨头20与第二盒32的相对位置并使用软质的配管33p以最短距离进行连接，使得配管33p以无法移动的方式固定。

图6是第二盒32以及喷墨头20的示意图。如图6所示，在固定有喷墨头20的基座部件27结合有支持部件28。在支持部件28固定有第二盒32。基座部件27通过驱动装置14(参照图1)被驱动而进行移动，同时，第二盒32与喷墨头20的相对位置被固定，从而与喷墨头20一同移动。

配管33p只要为对油墨4的成分有耐受性的材质即可。在配管33p为软质的情况下，配管33p需要以喷墨头20与第二盒32成为一体而进行移动时不变形的方式固定。为了使配管33p不变形，也可以使用硬质的树脂、金属的配管。

若在第二盒32～配管33p～喷墨头20之间没有油墨流动沉淀的部分，则第二盒32也可以与喷墨头20一体化。第二盒32的第二排出口32t与喷墨头的入口21a也可以直接连接。

作为图1所示的第一泵34和第二泵36，本实施例使用管泵。作为管泵的驱动源使用步进电机。泵的流量例如为20ml/min以上，且与油墨的种类、油墨的排出量相匹配地进行设定，以使得不从喷墨头20的喷嘴吸入气体。泵例如使用具有能够追随在1s以内所规定的设定流量的响应性的泵。若满足上述的性能，则泵的种类是旋转泵、往复泵等种类均无妨。另外，作为泵的动力源，只要满足上述的性能，电动马达、压缩空气等都可以，不限定泵的驱动源的种类。

驱动第一泵34、第二泵36来进行油墨的循环。在进行油墨的循环时，控制部38以一边反馈设置于第二盒32的液面传感器32a的检测值一边对第一泵34与第二泵36的流量设置差值的方式进行控制，从而在排出油墨期间，将第二盒32内的油墨的液面高度保持为一定范围内，并将施加于喷墨头20内的油墨的压力保持为一定范围内。本实施例中，将第二盒32内的油墨4的液面5的高度例如维持为设定值±3mm的范围。

图1所示的第一油墨路径31、第二油墨路径35使用对油墨的成分有耐受性的管来构成。例如，使用内径为2mm以上且6mm以下的管。

如以上那样，实施例1的喷墨印刷装置10构成为所有的油墨循环，在油墨的路径不存在滞留部，从而能够防止油墨内的粒子的沉降，从而解决第一课题。喷墨头20相对于印刷工作台12独立地移动，因此与喷墨头20固定而仅印刷工作台12移动的情况相比，能够加快印刷节奏，由此解决第二课题。喷墨头20与第二盒30一同移动，因此通过防止连接第二盒32的第二排出口32t与喷墨头20的入口21a的配管33p的变形或者通过将该配管33p本身取消，从而即使喷墨头20移动也难以使油墨的排出变得不稳定，由此减弱第三课题。

＜实施例2＞

参照图7对实施例2的喷墨印刷装置进行说明。实施例2的喷墨印刷装置具备对第二盒32内的气体3的压力进行调整的压力调整机构。其它的构成与实施例1相同。以下，实施例2以后，对与实施例1相同的构成标注相同的附图标记，并以与实施例1的不同点为中心进行说明。

图7是第二盒32的压力调整机构33的说明图。如图7所示，在气密地构成的第二盒32的内部空间，气压传感器32b与气压调整部32c的调整部32n经由配管32u连接。气压传感器32b对在第二盒32内与油墨4的液面5接触的气体3的压力进行检测。

气压调整部32c的控制部32m输入有如箭头32x所示那样从气压传感器32b反馈的气体3的压力的测定值、以及如箭头32y所示那样从上位系统11指示的压力目标值，并将两者进行比较，而后如箭头32z所示那样对调整部32n输出控制信号。调整部32n根据控制信号将压力源32p与第二盒32连接，对第二盒32内的气体3的压力进行调整。

气压传感器32b只要能够检测第二盒32内的气体3的压力(表压)即可，可以是应变式、半导体压阻式、电容式、硅谐振式等，不限定检测的原理。

第二盒32内的气体3的压力例如被维持为表压-1kpa以下且-5kpa以上的负压状态。第二盒32内的气体3的压力根据油墨的比重、从喷墨头20的喷嘴板26的高度至第二盒32的液面的高度(水头差)来决定。

也可以构成为：除了负压的压力源32p之外，还设置基于压缩气体的正压的压力源，通过调整部32n切换流路，从而在第二盒32连接正压的压力源，从而具备将第二盒32和喷墨头20的油墨排出的功能。

通过气压调整部32c来调整第二盒32内的气体3的压力，通过控制施加于油墨4的压力来提高油墨的排出的稳定性，从而能够防止油墨从喷墨头的喷嘴的垂下，以及防止气体被吸入。

同第二盒32与喷墨头的阶梯差相对应地来调整第二盒32内的气体3的压力，从而能够使喷墨头内的油墨的压力最佳化，因此能够更自由地设定第二盒32的设置位置。其结果是，容易使第二盒32与喷墨头一同移动，由此解决第四课题。

＜实施例3＞

参照图8对实施例3的喷墨印刷装置进行说明。对于实施例3的喷墨印刷装置，设置于第二盒32的液面传感器是电容式的液面传感器50。其它的构成与实施例1或2相同。

图8是电容式的液面传感器50的示意图。如图8的(a)所示，液面传感器50以使检测电极52与参比电极54在第二盒32的外侧相互对置的方式安装，在检测电极52与参比电极54之间构成电容c的平板电容器。

在将相对介电常数ε的油墨4放入了第二盒32时，如图8的(b)所示，液面传感器50能够认为是在电极56间配置有气体3的电容ca的平板电容器与在电极58间配置有油墨4的电容cb的平板电容器以并联的方式连接的等效电路。电容式的液面传感器50通过对以下电容进行比较，即：对检测电极52与参比电极54相互对置的区域没有油墨4时的平板电容器的电容c、与检测电极52与参比电极54相互对置的区域进入有油墨4时的ca和cb的合成电容进行比较，能够检测出液面5的高度。

对于电容式的液面传感器50，与存在于检测电极52与参比电极54相互对置的区域内的相对介电常数ε的油墨4的量建立对应关系来检测油墨4的液面5的高度。根据该检测原理，若在检测电极52与参比电极54相互对置的区域内存在油墨4的液面5，则即使液面5摇晃而产生波纹，在存在于检测电极52与参比电极54相互对置的区域内的油墨4本身的量不变化的情况下，检测出的合成电容、换句话说液面高度的检测值不变化。

若使第二盒与喷墨头一同移动，则有时第二盒内的油墨的液面摇晃而产生波纹。浮标式的传感器由于液面的晃动而使检测值容易变动。因此，油墨循环的控制容易变得不稳定。

与此相对，电容式的液面传感器50在第二盒内的油墨的液面摇晃而产生波纹时，与浮标式的传感器相比，难以产生检测值的紊乱，因此油墨循环的控制难以变得不稳定。其结果是，使第二盒与喷墨头一同移动变容易，由此解决第四课题。

＜实施例4＞

参照图9以及图10对实施例4的喷墨印刷装置进行说明。实施例4的喷墨印刷装置追加有衰减部。其他的构成与实施例1、2或者3相同。

图9是表示衰减部的构成的示意图。作为衰减部一般使用图9的(a)所示的空气室60、图9的(b)所示的储液器62。这些装置60、62在从液体61的入口60a直至出口60b的流路的中途连接有储存液体61的部分。作为实施例4的衰减部，也可以使用这些装置60、62。

但是，对于图9的(a)所示的空气室60，与液体61接触的气体63溶于液体61而变少，因此需要对空气室60内定期补充气体63。

图9的(b)所示的储液器62通过橡胶膜62x将液体61与气体63分隔，因此气体63不会溶于液体61。但是，橡胶膜62x会因液体61而老化。

与此相对，通过配管阻力使脉动衰减的配管阻力式的衰减装置不需要维护，难以老化，因此更优选作为实施例4的衰减部。

图10是表示配管阻力式的衰减部64的结构的示意图。如图10所示，对于衰减部64，将液体的入口64a与出口64b之间连接起来的配管66被收纳于箱体65。箱体65内的配管66以锯齿形折回、或者以螺旋状、螺旋状卷绕，以使配管阻力变大的方式构成。

凭借液体从入口64a流动至出口64b的期间在通过配管66的折回部或卷绕的弯曲部时的配管阻力，能够使经由在配管66流动的流体而传播的脉动衰减。

若配管66使用与喷墨印刷装置的配管相同的材料，即使用对油墨的成分具有耐受性的材料，则不会产生因油墨的成分而引起的老化。配管66为软质、硬质等都可以，但若使用软质的配管，则存在配管的厚度较薄的情况下也能够期待储液器的橡胶膜那样的效果的可能性。

图9或图10的衰减部设置于第二油墨路径35中的第二泵36与喷墨头20的出口21b之间，或设置于第三油墨路径33(参照图1)。由此，能够减少因第二泵而传递于喷墨头的脉动。其结果是，能够减弱在油墨的供给及回收而使用泵的情况下，泵的脉动传递于喷墨头而对油墨的排出产生负面影响的第五课题。

＜实施例5＞

参照图11对实施例5的喷墨印刷装置进行说明。实施例5中，第二注入口以从第二盒内的油墨离开的方式构成。其它的构成与实施例1、2、3或者4相同。

图11是示意性地示出第二盒32的结构的说明图。如图11所示，构成为第二注入口32s从第二盒32内的油墨4的液面5离开，第二盒32的第二注入口32s不与第二盒32内的油墨4接触。

因此，从第一泵被输送至第二盒32的第二注入口32s的油墨与第二盒32内的油墨4一旦被切断，因第一泵34的脉动而产生的压力变动也不会直接传递于第二盒32内的油墨4。

另外，气密地构成第二盒32。由此，第二盒32内的气体3通过发挥与图9的(a)的空气室60的气体63相同的效果，能够使传递于喷墨头内的油墨的脉动衰减。

若气密地构成第二盒32，则与图9的(a)的空气室60相同，需要定期地补充气体。

因此，与实施例3相同，在第二盒32的上部设置配管32u，设置对第二盒32内的气体3的压力进行调整的压力调整机构33(参照图7)。从该配管32u供给将第二盒32内的气体3的压力(负压)保持为恒定而所需要的气体，因此不需要定期补充气体。

本实施例中，例如使用容量20ml的第二盒32，并为油墨10ml、气体10ml的比例。

若如以上那样构成，则能够减少由第一泵而传递于喷墨头的脉动。其结果是，能够减弱在油墨的供给及回收使用了泵的情况下，泵的脉动传递于喷墨头而对油墨的排出产生负面影响的第五课题。

＜实施例6＞

参照图12对在实施例1、2、3、4或者5的喷墨印刷装置中控制部使第二泵的流量恒定并基于液面传感器的输出对第一泵的流量进行控制的实施例6进行说明。

图12是表示控制部的动作的流程图。如图12所示，控制部首先起动第二泵。此时，以使第二泵的流量q2成为恒定的方式设定第二泵的输出(s10)。

接下来，使计时器复位后(s12)，对液面传感器是否接通(on)进行判定(s14)。液面传感器在第二盒内的油墨的液面达到规定位置、或者超过规定位置时接通。

若液面传感器接通(s14为y)，则以使第一泵的流量q1与第二泵的流量q2相同的方式设定第一泵的输出(s16)，直至计时器达到第一规定时间t1为止(s18为＜)，返回步骤s14，对液面传感器是否继续接通进行监视(s14)。

即，在液面传感器检测出第二盒内的油墨的液面达到规定位置或者超过规定位置时(s14为y)，以使第一泵的流量q1与第二泵的流量q2相等的方式控制第一泵的流量(s16)。这是控制部执行的第一步骤。

若计时器经过第一规定时间t1(s18为≥)，则以使第一泵的流量q1成为零的方式控制第一泵的流量(s20)，返回步骤s12。

即，液面传感器持续第一规定时间t1以上的时间检测出第二盒内的油墨的液面达到规定位置或者超过规定位置时(s18为≥)，以使第一泵的流量q1成为零的方式控制第一泵的流量(s20)。这是控制部执行的第二步骤。

步骤s14中，若判定为液面传感器未接通(s14为n)，则使计时器复位后(s22)，对液面传感器是否接通进行判定(s23)，直至计时器达到第二规定时间t2为止(s24为＜)，对液面传感器是否持续接通进行监视(s23)。若监视中液面传感器接通on(s23为y)，则返回步骤s12。若计时器经过第二规定时间t2(s24为≥)，则以使第一泵的流量q1比第二泵的流量q2增加的方式设定第一泵的输出(s26)。

即，在液面传感器持续第二规定时间t2以上的时间检测出第二盒内的油墨的液面未达到规定位置时(s24为≥)，以使第一泵的流量为比第二泵的流量更多的方式控制第一泵的流量(s26)。这是控制部执行的第三步骤。

接下来，使计时器复位(s28)，直至计时器达到第三规定时间t3为止(s32为＜，)，对液面传感器是否持续未接通的状态进行监视(s30)。若监视中液面传感器接通(s30为y)，则返回步骤s12。在计时器达到第三规定时间t3时(s32为y)，产生漏液警告显示(s34)。例如，使设置于喷墨印刷装置的警告灯点亮或闪烁，对上位系统发送警告信号。

通过如上述那样控制，能够将第二盒内的液面相对于液面传感器的接通(on)/断开(off)切换的规定位置上下变动的范围限制于规定范围内。即，能够防止油墨从第二盒溢出，以及防止第二盒变空而气体混入喷墨头等情况。

在限制液面高度的情况下，一般在使用上限用和下限用的合计两个液面传感器的部位仅使用一个液面传感器，能够将油墨的液面高度的变动限制于规定范围内。

如以上那样，通过以使第二盒内的油墨的液面的位置成为恒定的方式控制第一泵的流量，由此不需要控制第二泵的流量，能够减少由第二泵的流量变化而产生的脉动传递于喷墨头的机会。其结果是，能够减弱在油墨的供给及回收使用了泵的情况下，泵的脉动传递于喷墨头而对油墨的排出产生负面影响的第五课题。

＜实施例7＞

参照图13对实施例7的喷墨印刷装置10a进行说明。实施例7是在实施例1组合了实施例2～6的构成。

图13是喷墨印刷装置10a的整体结构图。如图13所示，第二盒32与实施例2相同，追加用于对第二盒32内的气体的压力进行调整的气压传感器32b以及气压调整部32c，与实施例5相同，第二注入口以从第二盒内的油墨离开的方式构成。在第二盒32与实施例3相同地设置有电容式的液面传感器50。在第一油墨路径35与实施例4相同地设置有衰减部35x。

另外，在第三油墨路径33也设置有衰减部33x。该衰减部33x与实施例4的衰减部相同。

控制部38与实施例6相同，一边使第二泵的流量恒定一边控制第一泵34的流量。

实施例7的喷墨印刷装置通过组合实施例1～5的构成要素，能够实现没有油墨的沉淀部分的流路，以及实现一边使喷墨头20移动一边印刷。另外，通过组合实施例1～6的构成要素，即使通过泵使油墨循环，也能够减少因泵引起的脉动传递于喷墨头20。

＜实施例8＞

参照图14以及图15对实施例8的电子部件的制造法进行说明。实施例8中，使用与实施例1～7相同构成的一台或者两台以上的喷墨印刷装置，形成电子部件的全部或者一部分。也可以使用在实施例1组合了实施例2～6的两个以上的特征部分的喷墨印刷装置。

图14以及图15是示意性地示出电子部件80的制造工序的剖视图。使用喷墨印刷装置制成图15的(g)所示的未烧制的层叠体70，并对制成的未烧制的层叠体70进行烧制，由此得到图15的(h)所示的电子部件80。以下，列举电子部件80为陶瓷电子部件的情况而详细地进行说明。

(1)首先，如图14的(a)所示，一边使喷墨印刷装置的绝缘材料用喷墨头70a与载置有基材78的印刷工作台相对移动，一边使绝缘材料油墨70x从绝缘材料用喷墨头70a排出，在基材78上形成第一层绝缘材料图案72a。

(2)接下来，如图14的(b)所示，一边使喷墨印刷装置的外部电极用喷墨头70b与载置有基材78的印刷工作台相对移动，一边使外部电极用油墨70y从外部电极用喷墨头70b排出，在与绝缘材料图案72a的两端部邻接的基材78上的区域(未形成有绝缘材料图案72a的区域)以与绝缘材料图案72a的两端部接触的方式形成第一层一对外部电极图案74a。

(3)接下来，如图14的(c)所示，一边使喷墨印刷装置的绝缘材料用喷墨头70a与载置有基材78的印刷工作台相对移动，一边使绝缘材料油墨70x从绝缘材料用喷墨头70a排出，形成与第一层绝缘材料图案72a重叠的第二层绝缘材料图案72b。

(4)接下来，如图14的(d)所示，一边使喷墨印刷装置的外部电极用喷墨头70b与印刷工作台上的基材78相对移动，一边使外部电极用油墨70y从外部电极用喷墨头70b排出，在第一层外部电极图案74a上以与第二层绝缘材料图案72b的两端部接触的方式形成第二层外部电极图案74b。

(5)接下来，如图15的(e)所示，一边使喷墨印刷装置的内部电极用喷墨头70c与载置有基材78的印刷工作台相对移动，一边使内部电极用油墨70z从内部电极用喷墨头70c排出，在第二层绝缘材料图案72b的规定的区域以与第二层外部电极图案74b的一方(图中左侧)连接并从第二层外部电极图案74b的另一方(图中右侧)离开的方式形成第一层内部电极图案76a。第一层内部电极图案76a形成为比绝缘材料图案72a、72b、外部电极图案74a、74b的厚度薄。另外，内部电极图案76a形成于比绝缘材料图案72a、72b的宽度方向(图15的(e)的纸面垂直方向)的两边缘更靠内侧。

(6)接下来，如图15的(f)所示，一边使喷墨印刷装置的绝缘材料用喷墨头70a与载置有基材78的印刷工作台相对移动，一边使绝缘材料油墨70x从绝缘材料用喷墨头70a排出，以与第二层绝缘材料图案72b重叠并覆盖内部电极图案76a的方式形成第三层绝缘材料图案72c。

(7)以下，同样，按顺序形成第三层外部电极图案74c、与第三层外部电极图案74c的另一方(图15中左侧)连接的内部电极图案76b、第四层绝缘材料图案72d、第四层外部电极图案74d、第五层绝缘材料图案72e、第五层外部电极图案74e，从而得到图15的(g)所示的未烧制的层叠体70。

(8)接下来，使层叠体70从基材78分离，对未烧制的层叠体70整体同时进行烧制。

烧制后，得到图15的(h)所示的电子部件80。如图15的(h)所示，电子部件80是层叠陶瓷电容器，在作为层叠构造体的陶瓷胚体82的两端形成有一对外部电极84a、84b，与一方的外部电极84a连接的内部电极86a和与另一方的外部电极84b连接的内部电极86b以隔开间隔的方式形成在陶瓷胚体82的内部。

通过以需要次数反复进行上述(2)～(6)的工序，能够得到想要的层叠数的层叠陶瓷电容器。

此外，也可以变更形成图案的顺序。例如，也可以是形成第一层和第二层绝缘材料图案72a、72b，接下来形成第一层和第二层外部电极图案74a、74b。另外，也可以在使形成的图案干燥后，在其上形成下一个图案。

对于内部电极用油墨70z，(a)颜料体积浓度优选为70％以上且95％以下的金属颜料油墨，(b)固体含量浓度优选为9vol％以上且20.5vol％以下，(c)作为内部电极的电极材料，优选包含ni、fe、al、ag、w、pd、au、cu、c等的至少一个的材料或者以这些为主成分的合金，(d)优选使金属颜料的平均粒径为200nm～300nm。内部电极图案76a～76b的各层的成形厚优选为1μm以上且25μm以下。

对于绝缘材料油墨70x，(a)颜料体积浓度(pigmentvolumeconcentration)优选为60％以上且95％以下，(b)固体含量浓度优选为10vol％以上且27vol％以下，(c)颜料优选使cati、zro3、srzro3、batio3、bati、cao3、bati、zro3中的至少一个成为主成分，(d)优选使平均粒径为120nm～400nm左右。绝缘材料图案72a～72e的各层的成形厚优选为1μm以上且25μm以下。此外，根据制造的电子部件的种类，作为绝缘材料油墨70x所包含的绝缘材料，例如能够使用铁素体等磁性体材料、锆钛酸铅(pzt)等压电体材料。

外部电极用油墨70y优选与内部电极用油墨70z相同，但也可以与内部电极用油墨70z不同。外部电极图案74a～74e的各层的成形厚优选为1μm以上且25μm以下。

在上述(8)中对未烧制的层叠体70进行烧制时，例如，在280℃进行除去有机成分的脱脂，接下来，为了使陶瓷胚体82与内部电极86a烧结而在约1300℃进行烧制。脱脂时间例如为13.5小时。

若使内部电极用油墨70z所包含的内部电极材料的粒径更小，则由于纳米尺寸效应导致熔点下降。若内部电极材料的熔点下降，则产生由于起鼓而覆盖率下降等问题，难以使内部电极材料与陶瓷材料一同烧制。在与陶瓷材料一同烧制的情况下，内部电极材料的粒径不得不一定程度增大，因此容易在内部电极用油墨内产生内部电极材料的粒子的沉降。这样的情况下，需要本发明那样的油墨沉降抑制对策。

此外，制成没有外部电极图案而具有绝缘材料图案和内部电极图案的未烧制的层叠体，将未烧制的层叠体的绝缘材料与内部电极材料一同烧制，也能够制造电子部件。该情况下，外部电极形成于烧制前的层叠体，也可以形成于烧制后的层叠体。

如上述那样，使用包含绝缘材料的第一油墨和包含电极材料的第二油墨来形成具有包含陶瓷材料的层和包含电极材料的层的未烧制的印刷物，接下来，通过对未烧制的印刷物的陶瓷材料和电极材料一起进行烧制，能够制造各种电子部件。

例如，利用在包含陶瓷材料的层间夹设包含电极材料的层的印刷物能够制造层叠类型的电子部件(电容器、线圈、压电元件、热敏电阻、多层基板等)。另外，利用在包含陶瓷材料的层的表面配置包含电极材料的层的印刷物能够制造层叠类型以外的电子部件(电容器、线圈、压电元件、热敏电阻、单层基板等)。为了形成这些电子部件的非导电层，使用包含电介质、磁性体、压电材料、热敏电阻材料等中的至少一个的油墨。另外，为了形成内部电极、外部电极的导电层，使用包含ni、ag、pd、au、cu、或以这些为主成分的合金等中的至少一个的油墨。油墨的粘度优选以1000s^-1为40mpa·s以下的低粘度，特别优选为10mpa·s以上且25mpa·s以下的粘度。

实施例8能够使用喷墨印刷装置来形成电子部件的全部或者一部分。另外，与实施例1相同，能够防止油墨内的粒子的沉降，能够加快印刷节奏，即便喷墨头移动也能够使油墨的排出难以变得不稳定，能够使为了将第二盒内的油墨的液面的位置成为恒定的流量变化所引起的脉动难以传递于喷墨头。因此，特别是即便使用包含与绝缘材料一起烧制的电极材料那样的容易沉降的粒子的油墨，也能够在短期间制造品质偏差小的电子部件。

＜实施例9＞

对实施例9的电子部件的制造方法进行说明。实施例9中，使用与实施例1～7相同结构的喷墨印刷装置来形成电子部件的一部分。可以使用在实施例1组合了实施例2～6的两个以上的特征部分的喷墨印刷装置。以下，将制造陶瓷电子部件的情况为例而列举进行说明。

首先，作为绝缘材料准备陶瓷基片。详细而言，使用成膜装置制成陶瓷片，并通过干燥装置干燥而得到陶瓷基片。

成膜装置通过将陶瓷浆料涂覆于支承体而制成陶瓷片。陶瓷浆料是在陶瓷粉末中添加树脂成分，并通过有机溶剂(也可以是水性溶剂)分散的材料。支承体能够使用长条或者短条的树脂膜、金属辊、金属鼓、金属带或金属板等。作为成膜装置，例如适当地使用模头涂布机、刮刀、辊式涂布机、喷墨式涂布机。

干燥装置通过热风、支承体的加热、或者真空干燥等方法使陶瓷片干燥。使陶瓷片适度干燥而得到陶瓷基片。只要是适于溶剂的性质的方法，可以通过任意的方法干燥。陶瓷基片存在从支承体剥离而进行处理的情况，也存在保持被支承体支承的状态而进行处理的情况。

接下来，使用实施例1～7的喷墨印刷装置，在陶瓷基片(即，包含陶瓷材料的未烧制的绝缘材料片材)作为印刷物而印刷内部电极图案。即，使陶瓷基片载置于喷墨印刷装置的印刷工作台，一边使喷墨头与印刷工作台相对移动，一边使包含用于形成内部电极的电极材料的油墨从喷墨头排出，使油墨附着于陶瓷基片。

接下来，制成层叠了形成有内部电极图案的陶瓷基片(即，形成有印刷物的上述未烧制的片材)的未烧制的层叠体。详细而言，对形成有内部电极图案的陶瓷基片进行层叠、压接。该工序中，除了一般的层叠机之外，也可以使用日本特开2005‐217278号公报或日本特开2011-258928号公报所记载的装置。此外，在直至未烧制的层叠体完成为止的期间的适当的时机，从陶瓷基片剥离支承体。

接下来，对制成的未烧制的层叠体进行加压冲压后，切割为所希望的尺寸。

接下来，对被压接切割的未烧制的层叠体的电极材料和陶瓷材料一起进行烧制。

接下来，若在烧制后的层叠体形成外部电极，根据需要实施外部电极的电镀，由此陶瓷电子部件完成。

如以上那样，利用喷墨印刷装置，并使用含有电极材料的油墨，在包含绝缘材料的未烧制的片材形成印刷物，接下来，形成包括形成有印刷物的未烧制的片材的未烧制的层叠体，接下来，对未烧制的层叠体的电极材料和陶瓷材料一起进行烧制，由此能够制造各种电子部件。

例如，通过在包含陶瓷材料的层间夹持包含电极材料的层的印刷物，能够制造层叠类型的电子部件(电容器、线圈、压电元件、热敏电阻、多层基板等)。另外，通过在包含陶瓷材料的层的表面配置有包含电极材料的层的印刷物，能够制造层叠类型以外的电子部件(电容器、线圈、压电元件、热敏电阻、单层基板等)。为了形成这些电子部件的非导电层，使用包含电介质、磁性体、压电材料、热敏电阻材料等中的至少一个的未烧制的片材。另外，为了形成内部电极、外部电极的导电层，使用包含ni、ag、pd、au、cu、以这些为主成分的合金等中的至少一个的油墨。油墨的粘度优选以1000s^-1为40mpa·s以下的低粘度，特别优选为10mpa·s以上且25mpa·s以下的粘度。

实施例9使用喷墨印刷装置，能够形成电子部件的一部分。另外，与实施例1相同，能够防止油墨内的粒子的沉降，能够加快印刷节奏，即便喷墨头移动也能够使油墨的排出难以变得不稳定，能够使为了使第二盒内的油墨的液面的位置恒定的流量变化所产生的脉动难以传递于喷墨头。

＜小结＞

如以上说明的那样，能够提供一种喷墨印刷装置，其使所有的油墨循环，能够使喷墨头移动，并且即便喷墨头移动也难以使油墨的排出变得不稳定。

此外，本发明不限定于上述实施方式，能够施加各种变更来实施。

例如，也可以在实施例1组合实施例2～7的两个以上的特征部分。