丝网印刷系统、丝网印刷装置以及部件安装线的制作方法_3

文档序号:9209161阅读:来源:国知局
印刷的情况下,在印刷头16移动到前面使得后刮板42R在掩模13的第一图案形成区域Rl滑动(图9A所示的箭头Cl)之后,印刷头16反过来又移动到后面,使得前刮板42F在掩模13的第一图案形成区域Rl滑动。另一方面,在与第二图案形成区域R2接触的第二基板2b上进行丝网印刷的情况下,在印刷头16移动到后面使得前刮板42F在掩模13的第二图案形成区域R2滑动(图9B所示的箭头C2)之后,印刷头16反过来又移动到前面,使得后刮板42R在掩模13的第二图案形成区域R2滑动。
[0043]因此,在本实施例的丝网印刷装置6中,印刷头16将膏Pst印刷在与所选择的图案形成区域(第一图案形成区域Rl或第二图案形成区域R2)接触的基板(第一基板2a或第二基板2b)上。
[0044]在掩模13的图案的内部填充有膏Pst之后,基板保持部移动机构22向下移动基板保持部21,并且将基板2与掩模13分开(离网)。因此,在每片基板2的丝网印刷工作完成之后,夹持器33被打开以释放基板2的保持,并且搬送输送机31和搬出输送带15互锁,且被致动以将基板2搬出到下游处理侧。
[0045]接下来,参照图10至15,对用于将基板2供给到丝网印刷装置6的第一基板供给装置4和第二基板供给装置5的操作和配置进行说明。在图10中,第一基板供给装置4在接收用于请求从丝网印刷装置6供给第一基板2a的信号(第一基板请求信号)的情况下将以直接层叠状态所贮存的第一基板2a输送至下游处理侧(即至丝网印刷装置6)。第二基板供给装置5在接收用于请求从丝网印刷装置6供给第二基板2b的信号(第二基板请求信号)的情况下将以逐步层叠状态贮存在盒MG中的第二基板2b输送至下游处理侧(即至第一基板供给装置4)。
[0046]在图10、IIA和IlB中,第一基板供给装置4包括具有前后侧壁部61a的基座61、以及形成在前后侧壁部61a之间以便沿X轴方向延伸的成对基板供给输送带62 (搬送机构)。由形成在侧壁部61a中的升降机构63进行向上和向下移动(图10和IlB所示的箭头D)的支撑构件64布置在前后侧壁部61a之间的空间中,支撑构件64的上端设置有直接层叠的第一基板2a放置于其上的基板放置部65。
[0047]一个侧壁部61a设置有伸出于基板放置部65的向上位置的托架66,该托架66设置有缸67,其姿势为活塞杆67a朝下。在下表面上包括多个吸附垫68a的基板取出部68连接到活塞杆67a的下端。基板供给输送带62由输送带驱动部69驱动,形成在侧壁部61a中的输送带宽度调整部70沿Y轴方向(图1lA和IlB所示的箭头E)移动每个基板供给输送带62,由此,可以改变成对的基板供给输送带62之间的距离(输送带宽度)。一个基板供给输送带62的基板2的搬出侧(丝网印刷装置6侧)的端部设置有基板检测传感器71,用于检测由基板供给输送带62输送的基板2并且输出基板检测信号。
[0048]升降机构63向上和向下移动支撑构件64,从而以总是以恒定高度放置在基板放置部65上的直接层叠状态定位第一基板2a的最高基板。基板取出部68由缸67向上和向下移动,并且与放置在由吸附垫68a所吸附的基板放置部65上的基板2的第一最高基板2a一起向上移动,以及从上方侧将基板放置在成对的基板供给输送带62上。输送带宽度调整部70被构造成使得通过在由基板取出部68取出的基板2从下方侧在成对的基板供给输送带62之间向上移动时调整输送带宽度比基板2宽度更宽以及在放置基板2时调整输送带宽度比基板2宽度稍微更宽由成对的基板供给输送带62在Y轴方向上支撑基板2的两端。以这种方式将基板2放置在基板供给输送带62上之后,输送带驱动部69驱动基板供给输送带62,并且将基板2输送至丝网印刷装置6。
[0049]在图12中,由第一基板供给装置4包括的第一基板供给装置控制部72执行上述的升降机构63、缸67、输送带驱动部69以及输送带宽度调整部70的致动控制。通知装置73比如灯连接到第一基板供给装置控制部72,由基板检测传感器71输出的基板检测信号被输入到第一基板供给装置控制部72。
[0050]在图10中,第二基板供给装置5包括其中上述的盒MG被放置在基座部81上的放置台82、用于向上和向下移动放置台82的提升器83、以及用于突出并致动按压部84a至下游处理侧(第一基板供给装置4侧)的推动器84。供给之前的第二基板被容纳在其中的盒MG (使用前的盒MGa)可以在使用基座部81之前被放置在盒放置部81a上,在供给基板2之后的空盒MG (使用后的盒MGb)可以在使用基座部81之后被放直在盒放直部81b上。图12所示的盒转移机构85将使用前的盒MGa从使用前的盒放置部81a转移至提升器83,并且将使用后的盒MGb从提升器83转移至使用后的盒放置部81b。
[0051]在第二基板供给装置5中,当推动器84的按压部84a在其中处于盒MG内的最高位置的第二基板2b通过向上和向下移动盒MG由提升器83被置于其上的放置台82 (图10所示的箭头F)被定位在第一基板供给装置4的基板供给输送带62的高度的状态下突出到下游处理侧(图10所示的箭头G)时,处于盒MG内的最高位置的第二基板2b被输送到第一基板供给装置4的基板供给输送带62。如图12所示,由第二基板供给装置5包括的第二基板供给装置控制部86执行提升器83、推动器84以及盒转移机构85的每个控制。
[0052]在图12中,丝网印刷装置6通过第一信号传输线91连接到第一基板供给装置4,丝网印刷装置6通过第二信号传输线92连接到第二基板供给装置5。
[0053]在请求从第一基板供给装置4供给第一基板2a的情况下,丝网印刷装置6通过第一信号传输线91将第一基板请求信号从印刷装置控制部50的基板请求部50b发送到第一基板供给装置控制部72 (图13的步骤STl)。另一方面,在请求从第二基板供给装置5供给第二基板2b的情况下,丝网印刷装置6通过第二信号传输线92将第二基板请求信号从基板请求部50b发送到第二基板供给装置控制部86 (图13的步骤ST2),并且还通过第一信号传输线91将传递信号从基板请求部50b发送到第一基板供给装置控制部72 (图13的步骤ST3)。此处,传递信号是指用于命令第一基板供给装置4来执行操作的信号,其中第一基板供给装置4接收第二基板2b,其由第二基板供给装置5、由基板供给输送带62输送到下游处理侧,并且输送和传递该第二基板2b到丝网印刷装置6(也就是说,第二基板2b被传递到丝网印刷装置6)。
[0054]第二基板供给装置5判定第二基板请求信号是否从处于待机状态(图14的步骤ST11)的丝网印刷装置6接收(步骤ST12),并且在判定第二基板请求信号从丝网印刷装置6接收的情况下,第二基板2b被输送到第一基板供给装置4 (步骤ST13)。
[0055]第一基板供给装置4判定信号(第一基板请求信号或传递信号)是否从处于待机状态(图15的步骤ST21)的丝网印刷装置6接收(步骤ST22),并且在判定信号从丝网印刷装置6接收的情况下,判定所接收的信号是否是第一基板请求信号或传递信号(步骤ST23)。然后,当所接收的信号是第一基板请求信号时,第一基板供给装置4将第一基板2a输送到丝网印刷装置6 (步骤ST24),并且当所接收的信号是传递信号时,第一基板供给装置4驱动基板供给输送带62 (步骤ST25),并且输送(传递)从第二基板供给装置5所接收的第二基板2b并将第二基板2b传递到丝网印刷装置6。
[0056]第一基板供给装置4判定基板检测传感器71是否在驱动基板供给输送带62在步骤ST25中被启动之后检测到基板2 (第二基板2b)(步骤ST26)。然后,当基板检测传感器71检测到基板2时,基板供给输送带62在经过预定的时间(完成将基板2传递到丝网印刷装置6的搬入输送带14所采取的时间)之后停止(步骤ST27)。另一方面,当基板检测传感器71没有检测
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