阵列基板检测头及检测装置、阵列基板检测方法
【专利摘要】本发明提供了一种阵列基板检测头及检测装置、阵列基板检测方法，属于阵列电路检测领域。其中，该阵列基板检测头用于对阵列基板上的多个阵列电路进行检测，所述阵列基板检测头包括：检测头本体；设置在所述检测头本体上、用于向所述阵列电路的信号端点加载测试信号的探针组件；设置在所述检测头本体上、用于检测所述阵列电路传递的测试信号的检测电路。本发明的技术方案能够对基板上的阵列电路进行全方位的测试，并且避免了检测头与探针框架发生碰撞造成的损失。
【专利说明】
阵列基板检测头及检测装置、阵列基板检测方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及阵列电路检测领域，特别是指一种阵列基板检测头及检测装置、阵列基板检测方法。
【背景技术】
[0002]在薄膜晶体管液晶显示装置的制造工艺中，通过半导体中常用的掩膜-曝光工艺，在玻璃基板上形成薄膜晶体管阵列电路，阵列电路的优劣直接决定了薄膜晶体管液晶显示装置的品质，因此对阵列电路的检测也就成为制造工艺中的重要工序。
[0003]如图1所示，现有技术在对阵列电路进行检测时，带有阵列电路的玻璃基板即阵列基板5放在测试机台4上，测试机台4上设置有检测框架3，检测框架3上设置有探针框架2，探针框架2上安装的探针与阵列电路中的信号输入端接触，测试信号通过探针框架2的探针加载到阵列电路中，之后如图2所示的检测头8对阵列电路进行检测。
[0004]在实际生产中，由于不同液晶显示产品排列分布不同，需要购买不同型号的探针框架来实现测试，在不同液晶显示产品进行测试切换时需要更换相应型号的探针框架来满足检测需要，工作量较大；并且部分阵列电路会被检测框架覆盖，导致无法进行检测；另外检测时检测头与探针框架的距离有时会很近，容易发生检测头与探针框架的干涉，造成价格昂贵的检测头的损坏或其他部件的损坏。
【发明内容】
[0005]本发明要解决的技术问题是提供一种阵列基板检测头及检测装置、阵列基板检测方法，能够对基板上的阵列电路进行全方位的测试，并且避免了检测头与探针框架发生碰撞造成的损失。
[0006]为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下:
[0007]一方面，提供一种阵列基板检测头，用于对阵列基板上的多个阵列电路进行检测，所述阵列基板检测头包括:
[0008]检测头本体；
[0009]设置在所述检测头本体上、用于向所述阵列电路的信号端点加载测试信号的探针组件；
[0010]设置在所述检测头本体上、用于检测所述阵列电路传递的测试信号的检测电路。
[0011]进一步的,所述探针组件由至少一个探针模块组成,每个探针模块包括:
[0012]用于获取测试信号的信号获取单元；
[0013]与所述信号获取单元连接的预设数量的探针结构。
[0014]进一步的,所述探针结构包括:
[0015]设置有气管接口的气缸；
[0016]位于所述气缸内部的活塞，所述活塞与所述气缸之间形成一封闭空间；
[0017]位于所述封闭空间内的弹簧，所述弹簧的一端固定在活塞上，另一端固定在所述气缸的端部；
[0018]设置在所述活塞上、位于所述封闭空间外的探针头，所述探针头通过信号引线与所述信号获取单元连接。
[0019]另一方面，提供一种阵列基板检测装置，包括上述的阵列基板检测头，所述检测装置还包括:
[0020]用于放置待测试的阵列基板的测试机台；
[0021]设置在所述测试机台上、用于控制所述阵列基板检测头在设备X轴、设备Y轴和设备Z轴上移动的移动控制组件。
[0022]进一步的,所述移动控制组件包括:
[0023]沿设备Y轴方向设置在所述测试机台上的支架；
[0024]沿设备X轴方向设置在所述支架上、能够在所述支架上沿设备Y轴方向移动的支撑杆；
[0025]沿设备Z轴方向设置、第一端与所述支撑杆可移动连接的伸缩杆，所述伸缩杆能够沿所述支撑杆移动；
[0026]其中，所述阵列基板检测头固定在所述伸缩杆的第二端。
[0027]进一步的，所述支架上设置有沿设备Y轴方向排布、相对的第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨上分别设置有第一滑块和第二滑块；
[0028]所述支撑杆的第一端固定在所述第一滑块上，所述支撑杆的第二端固定在所述第二滑块上。
[0029]进一步的，所述支撑杆上设置有沿设备X轴方向排布的第三导轨，所述第三导轨上设置有第三滑块，所述伸缩杆的第一端固定在所述第三滑块上。
[0030]再一方面提供一种阵列基板检测方法，应用于上述的检测装置，所述检测方法包括:
[0031]将待测试的阵列基板放置在所述测试机台上；
[0032]利用所述阵列基板检测装置对所述阵列基板的多个阵列电路一一进行测试。
[0033]进一步的，所述利用所述阵列基板检测装置对所述阵列基板的多个阵列电路一一进行测试包括:
[0034]步骤a:通过所述移动控制组件将所述阵列基板检测头移动至一未检测的阵列电路上方，并通过所述移动控制组件使所述阵列基板检测头与所述阵列电路相接触；
[0035]步骤b:通过所述探针组件向所述阵列电路上的信号端点加载测试信号；
[0036]步骤c:通过所述检测电路检测所述阵列电路传递的测试信号；
[0037]重复上述步骤a_c，直至对所述阵列基板上的所有阵列电路完成检测。
[0038]进一步的，所述步骤a包括:
[0039]控制所述支撑杆在设备Y轴方向上的移动，使所述支撑杆移动至所述阵列电路正上方；
[0040]控制所述伸缩杆在设备X轴方向上的移动，使所述伸缩杆移动至所述阵列电路正上方；
[0041]控制所述伸缩杆的伸缩，位于所述伸缩杆端部的阵列基板检测头与所述阵列电路相接触。
[0042]本发明的实施例具有以下有益效果:
[0043]上述方案中，阵列基板检测头包括设置在检测头本体上、用于向阵列电路的信号端点加载测试信号的探针组件，还包括设置在检测头本体上、用于检测阵列电路传递的测试信号的检测电路，本发明不再使用设置在检测框架上的探针给阵列电路加载信号，而是通过设置在检测头本体上的探针组件向阵列电路加载信号，解决了在不同液晶显示产品进行测试切换时需要更换相应型号的探针框架、部分阵列电路被检测框架覆盖导致无法进行检测的问题，能够对基板上的阵列电路进行全方位的测试，并且避免了检测头与探针框架发生碰撞造成的损失。
【专利附图】
【附图说明】
[0044]图1为现有阵列基板检测装置的结构示意图；
[0045]图2为现有检测头的结构示意图；
[0046]图3为本发明实施例阵列基板检测装置的结构示意图；
[0047]图4为本发明实施例阵列基板检测头的结构示意图；
[0048]图5为本发明实施例探针结构的示意图。
[0049]附图标记
[0050]I设备Y轴；2探针框架；3检测框架；4测试机台；5阵列基板；6设备X轴；7设备Z轴；8现有技术中的检测头；81本发明实施例的检测头；9探针结构；10探针组件；11探针结构上的信号引线；12探针结构内的弹簧；13气管接口 ；14活塞；15探针头；16检测头本体；17检测电路。
【具体实施方式】
[0051]为使本发明的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0052]本发明的实施例提供一种阵列基板检测头及检测装置、阵列基板检测方法，能够对基板上的阵列电路进行全方位的测试，并且避免了检测头与探针框架发生碰撞造成的损失。
[0053]本发明实施例提供了一种阵列基板检测头，用于对阵列基板上的多个阵列电路进行检测，如图3所示，所述阵列基板检测头包括:
[0054]检测头本体16 ；
[0055]设置在所述检测头本体16上、用于向所述阵列电路的信号端点加载测试信号的探针组件10 ；
[0056]设置在所述检测头本体16上、用于检测所述阵列电路传递的测试信号的检测电路17。
[0057]本发明的阵列基板检测头包括设置在检测头本体上、用于向阵列电路的信号端点加载测试信号的探针组件，还包括设置在检测头本体上、用于检测阵列电路传递的测试信号的检测电路，本发明不再使用设置在检测框架上的探针给阵列电路加载信号，而是通过设置在检测头本体上的探针组件向阵列电路加载信号，解决了在不同液晶显示产品进行测试切换时需要更换相应型号的探针框架、部分阵列电路被检测框架覆盖导致无法进行检测的问题，能够对基板上的阵列电路进行全方位的测试，并且避免了检测头与探针框架发生碰撞造成的损失。
[0058]进一步地，因实际产品设计时需要将不同的信号加载到阵列电路，因此可以将探针做成模块，以便应对更多型号的产品，具体地，探针组件由至少一个探针模块组成，如图3所示，每个探针模块10包括:
[0059]用于获取测试信号的信号获取单元；
[0060]与信号获取单元连接的预设数量的探针结构9。
[0061]探针结构可设计成由气体加弹簧控制的可伸缩的探针，具体地，如图4所示，探针结构包括:
[0062]设置有气管接口 13的气缸；
[0063]位于气缸内部的活塞14，活塞14与气缸之间形成一封闭空间；
[0064]位于封闭空间内的弹簧12,弹簧12的一端固定在活塞14上,另一端固定在气缸的端部；
[0065]设置在活塞14上、位于封闭空间外的探针头15，探针头15通过信号引线11与信号获取单元连接。
[0066]本发明实施例还提供了一种阵列基板检测装置，如图5所述，该阵列基板检测装置包括上述的阵列基板检测头81，该检测装置还包括:
[0067]用于放置待测试的阵列基板5的测试机台4 ；
[0068]设置在测试机台4上、用于控制阵列基板检测头在设备X轴6、设备Y轴I和设备Z轴7上移动的移动控制组件。
[0069]本发明的阵列基板检测装置中，阵列基板检测头包括设置在检测头本体上、用于向阵列电路的信号端点加载测试信号的探针组件，还包括设置在检测头本体上、用于检测阵列电路传递的测试信号的检测电路，本发明不再使用设置在检测框架上的探针给阵列电路加载信号，而是通过设置在检测头本体上的探针组件向阵列电路加载信号，解决了在不同液晶显示产品进行测试切换时需要更换相应型号的探针框架、部分阵列电路被检测框架覆盖导致无法进行检测的问题，能够对基板上的阵列电路进行全方位的测试，并且避免了检测头与探针框架发生碰撞造成的损失。
[0070]具体地，移动控制组件包括:
[0071]沿设备Y轴方向设置在测试机台4上的支架18 ；
[0072]沿设备X轴方向设置在支架18上、能够在支架18上沿设备Y轴方向移动的支撑杆19 ；
[0073]沿设备Z轴方向设置、第一端与支撑杆19可移动连接的伸缩杆20，伸缩杆20能够沿支撑杆19移动；
[0074]其中，所述阵列基板检测头81固定在所述伸缩杆20的第二端。
[0075]进一步地，所述支架上可以设置有沿设备Y轴方向排布、相对的第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨上分别设置有第一滑块和第二滑块；所述支撑杆的第一端固定在所述第一滑块上，所述支撑杆的第二端固定在所述第二滑块上。
[0076]进一步地，所述支撑杆上可以设置有沿设备X轴方向排布的第三导轨，所述第三导轨上设置有第三滑块，所述伸缩杆的第一端固定在所述第三滑块上。
[0077]本发明实施例还提供了一种阵列基板检测方法，应用于上述的检测装置，所述检测方法包括:
[0078]将待测试的阵列基板放置在所述测试机台上；
[0079]利用所述阵列基板检测装置对所述阵列基板的多个阵列电路一一进行测试。
[0080]进一步地，所述利用所述阵列基板检测装置对所述阵列基板的多个阵列电路一一进行测试包括:
[0081]步骤a:通过所述移动控制组件将所述阵列基板检测头移动至一未检测的阵列电路上方，并通过所述移动控制组件使所述阵列基板检测头与所述阵列电路相接触；
[0082]步骤b:通过所述探针组件向所述阵列电路上的信号端点加载测试信号；
[0083]步骤c:通过所述检测电路检测所述阵列电路传递的测试信号；
[0084]重复上述步骤a_c，直至对所述阵列基板上的所有阵列电路完成检测。
[0085]进一步地,所述步骤a包括:
[0086]控制所述支撑杆在设备Y轴方向上的移动，使所述支撑杆移动至所述阵列电路正上方；
[0087]控制所述伸缩杆在设备X轴方向上的移动，使所述伸缩杆移动至所述阵列电路正上方；
[0088]控制所述伸缩杆的伸缩，位于所述伸缩杆端部的阵列基板检测头与所述阵列电路相接触。
[0089]以TFT-1XD (薄膜晶体管液晶显示器)5代生产线的玻璃基板为例，一张大的玻璃基板上印有多个小的显示面板，显示面板内部带有阵列电路；每个阵列电路边缘在设计时均设有小的信号端点。本发明实施例中，在对其中一阵列电路进行测试时，通过移动控制组件将阵列基板检测头移动至一未检测的阵列电路上方，并通过移动控制组件使阵列基板检测头与阵列电路相接触，通过阵列基板检测头上的探针组件向阵列电路边缘的信号端点加载测试信号，加载测试信号之后，通过阵列基板检测头上的检测电路检测阵列电路传递的测试信号，实现对阵列电路的检测；在检测完一个显示面板的阵列电路后，移动控制组件带着阵列基板检测头及探针组件升起，移动到下一个显示面板完成同样的动作进行测试，重复上述过程，直到完成对所有阵列电路的测试。
[0090]本发明的阵列基板检测装置中不使用检测框架，从而避免了部分阵列电路被检测框架覆盖导致无法进行检测的问题，阵列基板检测头包括设置在检测头本体上、用于向阵列电路的信号端点加载测试信号的探针组件，还包括设置在检测头本体上、用于检测阵列电路传递的测试信号的检测电路，解决了在不同液晶显示产品进行测试切换时需要更换相应型号的探针框架的问题，并且避免了检测头与探针框架发生碰撞造成的损失。
[0091]以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种阵列基板检测头，用于对阵列基板上的多个阵列电路进行检测，其特征在于，所述阵列基板检测头包括: 检测头本体； 设置在所述检测头本体上、用于向所述阵列电路的信号端点加载测试信号的探针组件； 设置在所述检测头本体上、用于检测所述阵列电路传递的测试信号的检测电路。
2.根据权利要求1所述的阵列基板检测头，其特征在于，所述探针组件由至少一个探针模块组成，每个探针模块包括: 用于获取测试信号的信号获取单元； 与所述信号获取单元连接的预设数量的探针结构。
3.根据权利要求2所述的阵列基板检测头，其特征在于，所述探针结构包括: 设置有气管接口的气缸； 位于所述气缸内部的活塞，所述活塞与所述气缸之间形成一封闭空间； 位于所述封闭空间内的弹簧，所述弹簧的一端固定在活塞上，另一端固定在所述气缸的端部; 设置在所述活塞上、位于所述封闭空间外的探针头，所述探针头通过信号引线与所述信号获取单元连接。
4.一种阵列基板检测装置，其特征在于，包括如权利要求1-3中任一项所述的阵列基板检测头，所述检测装置还包括: 用于放置待测试的阵列基板的测试机台； 设置在所述测试机台上、用于控制所述阵列基板检测头在设备X轴、设备Y轴和设备Z轴上移动的移动控制组件。
5.根据权利要求4所述的阵列基板检测装置，其特征在于，所述移动控制组件包括: 沿设备Y轴方向设置在所述测试机台上的支架； 沿设备X轴方向设置在所述支架上、能够在所述支架上沿设备Y轴方向移动的支撑杆； 沿设备Z轴方向设置、第一端与所述支撑杆可移动连接的伸缩杆，所述伸缩杆能够沿所述支撑杆移动； 其中，所述阵列基板检测头固定在所述伸缩杆的第二端。
6.根据权利要求5所述的阵列基板检测装置，其特征在于， 所述支架上设置有沿设备Y轴方向排布、相对的第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨上分别设置有第一滑块和第二滑块； 所述支撑杆的第一端固定在所述第一滑块上，所述支撑杆的第二端固定在所述第二滑块上。
7.根据权利要求5所述的阵列基板检测装置，所述支撑杆上设置有沿设备X轴方向排布的第三导轨，所述第三导轨上设置有第三滑块，所述伸缩杆的第一端固定在所述第三滑块上。
8.—种阵列基板检测方法，其特征在于，应用于如权利要求4-7中任一项所述的检测装置，所述检测方法包括: 将待测试的阵列基板放置在所述测试机台上； 利用所述阵列基板检测装置对所述阵列基板的多个阵列电路一一进行测试。
9.根据权利要求8所述的阵列基板检测方法，其特征在于，所述利用所述阵列基板检测装置对所述阵列基板的多个阵列电路一一进行测试包括: 步骤a:通过所述移动控制组件将所述阵列基板检测头移动至一未检测的阵列电路上方，并通过所述移动控制组件使所述阵列基板检测头与所述阵列电路相接触； 步骤b:通过所述探针组件向所述阵列电路上的信号端点加载测试信号； 步骤c:通过所述检测电路检测所述阵列电路传递的测试信号； 重复上述步骤a-c，直至对所述阵列基板上的所有阵列电路完成检测。
10.根据权利要求9所述的阵列基板检测方法，其特征在于，所述步骤a包括: 控制所述支撑杆在设备Y轴方向上的移动，使所述支撑杆移动至所述阵列电路正上方； 控制所述伸缩杆在设备X轴方向上的移动，使所述伸缩杆移动至所述阵列电路正上方； 控制所述伸缩杆的伸缩，位于所述伸缩杆端部的阵列基板检测头与所述阵列电路相接触。
【文档编号】G09G3/00GK104280904SQ201410505974
【公开日】2015年1月14日 申请日期:2014年9月26日 优先权日:2014年9月26日
【发明者】林金升, 赵海生, 田超, 范晓帅, 温召虎 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方光电科技有限公司