专利名称：三色有机发光材料图形化的制作技术的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在彩色有机发光显示屏的制作中蒸镀三基色有机物发光层的技术。
与液晶显示器相比有机电致发光器件具有自发光、视角宽、响应速度快、低能耗、低成本等优点，是很有竞争力的下一代平板显示器件。对于单色有机小分子矩阵发光显示屏，有机物可均匀地蒸镀在整个显示区域，靠相互垂直分布正负电极进行寻址显示。而彩色有机小分子矩阵显示屏的制作有多种方法，有机白光加滤色片是方法之一，但是长寿命的高亮度有机白光目前还没有很好地解决；三基色叠层结构是制作高分辨彩色有机小分子矩阵显示屏的一种有前途的方法，但该方法工艺复杂，电极的引出较困难。另一种方法是将三基色的有机发光材料分别蒸镀在衬底相应的电极位置上，彩色象素或成“一”字形排列，或成“品”字形排列。该方法工艺简单，且与单色有机小分子矩阵发光显示屏的制作工艺基本兼容，只需稍做改进。
本发明的目的是提供一种在真空室内采用掩模板与衬底相对移动技术使三基色的有机发光材料分别蒸镀在衬底相应的电极位置上，从而在衬底上形成三基色有机发光材料的图形，实现有机发光屏的彩色显示。此种方法利用单倍分辨率的掩模板获得了三倍亚象素分辨率的三基色有机发光材料图形。
本发明的目的是这样实现的首先利用薄的金属板制作单倍分辨率的掩模板，然后利用光刻的方法将铟锡氧化物(ITO)透明导电玻璃刻蚀成三倍分辩率的电极图形，将掩模板的第一条线与ITO图形的第一条线对准，将掩模板的第二条线与ITO图形的第四条线对准，依此类推。此位置即可蒸镀第一种颜色的有机发光材料。待蒸镀第二种颜色的有机发光材料时，利用真空室中的机械臂，在真空条件下原位调节掩模板定位框一端上的微动螺丝，使掩模板平行ITO衬底移动一定距离，使得掩模板的第一条线与ITO图形的第二条线对准，掩模板的第二条线与ITO图形的第五条线对准，依此类推，此位置即可蒸镀第二种颜色的有机发光材料。同样，当掩模板的第一条线与ITO图形的第三条线对准，掩模板的第二条线与ITO图形的第六条线对准，依此类推，该位置即可蒸镀第三种颜色的有机发光材料。这样，三种颜色的有机发光材料便被分别蒸镀到相应的电极位置上。
采用上述方案，三种颜色的有机发光材料的蒸镀可在真空室内原位完成，不必打开真空室进行掩模板的定位，利用单倍分辨率的掩模板获得了三倍亚象素分辨率的三基色有机发光材料图形。
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
以彩色象素成“一”字形直线排列为例。
图1是薄的金属板制作的单倍分辨率的掩模板。
图2是在铟锡氧化物(ITO)透明导电玻璃上刻蚀成的三倍分辩率的电极图形。
图3是蒸镀第一种颜色有机发光材料的位置。
图4是蒸镀第二种颜色有机发光材料的位置。
图5是蒸镀第三种颜色有机发光材料的位置。
在图1中，1是薄的金属片；2是镂空部分，用于蒸镀时形成有机物图形，其形状、大小、间距以及个数由所设计的器件图形决定。
在图2中，3是玻璃衬底，4是刻蚀出的ITO图形，ITO条宽应与掩模板的镂空部分宽度相一致，其分辨率是掩模板的三倍。
在图3中，将图1的掩模板置于图2的ITO电极图形上方并可沿掩模板定位框5平行于ITO图形移动，其位置可由微动螺丝6调节。将掩模板左边的第一条线与ITO图形左边的第一条线对准，掩模板左边的第二条线与ITO图形左边的第四条线对准，依此类推，此位置即可蒸镀第一种颜色的有机发光材料。
在图4中，利用真空室中的机械臂，在真空条件下原位调节微动螺丝6至确定位置，使掩模板左边的第一条线与ITO图形左边的第二条线对准，掩模板左边的第二条线与ITO图形左边的第五条线对准，依此类推，此位置即可蒸镀第二种颜色的有机发光材料。
在图5中，同样利用真空室中的机械臂，在真空条件下原位调节微动螺丝6至确定位置，使掩模板左边的第一条线与ITO图形左边的第三条线对准，掩模板左边的第二条线与ITO图形左边的第六条线对准，依此类推，此位置即可蒸镀第三种颜色的有机发光材料。
这样，利用单倍分辨率的掩模板获得了三倍亚象素分辨率的三基色有机发光材料图形。
只要是采用掩模板与衬底相对移动(衬底不动而掩模板移动或掩模板不动而衬底移动)在衬底上获得三色有机发光材料图形的技术均属于本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种在彩色有机发光显示屏的制作中采用掩模板与衬底相对移动依次蒸镀三基色有机物发光层的技术，其特征是采用金属掩模板实现有机发光材料的图形化，并且利用真空室内的微移动装置，在真空条件下使掩模板与衬底之间发生相对的定量移动，完成三基色有机发光材料的定位蒸镀。
2.根据权利要求1所述的三色有机发光材料图形化的制作技术，其特征是将掩模板指定的第一条线依次与铟锡氧化物(ITO)图形指定的第一、二、三条线对准，同时掩模板指定的第二条线将依次与ITO图形指定的四、五、六条线对准，依此类推。这样，三基色有机发光材料便可被依次蒸镀到衬底的指定位置上。
全文摘要
一种在彩色有机发光显示屏的制作中采用掩模板与衬底相对移动依次蒸镀三基色有机物发光层的技术。它是利用薄的金属板作为掩模板,采用在真空室内掩模板与衬底的相对移动将掩模板的第一条线依次与铟锡氧化物(ITO)图形的第一、二、三条线对准,同时掩模板的第二条线将依次与ITO图形的四、五、六条线对准,依此类推。这样,三基色有机发光材料便可被依次蒸镀到衬底的指定位置上。
文档编号G02F1/23GK1326176SQ0111414
公开日2001年12月12日 申请日期2001年6月26日 优先权日2001年6月26日
发明者赵毅, 鲁少昕, 程刚, 高文宝, 李传南, 侯晶莹, 刘式墉 申请人:吉林大学